专利名称：晶圆片固定机构的制作方法
技术领域：
本实用新型是为一种晶圆片固定机构，尤其是有关于一种利用连杆机构，以对储存、收藏的晶圆片作定位及固定，使之保存完善，不易破损毁坏；其主要的组成，乃是包括一对晶圆片固定机构、晶圆盒盖、晶舟、晶圆盒底盘，藉由上述组件的搭配，可对晶圆片作妥善的收藏及固定，以便在取出使用时，获得一完好如初的晶圆片，以供使用。
随着集成电路技术的进步，最近集成度越来越高，处理速度也越来越快，而且机能也愈来愈多，尤其随着集成电路逐渐被应用于所有领域，举凡电子计算机、通讯机器、工业计测机器以及应用于消费用途等；使得集成电路的制造业，已经成为和钢铁一样的基干产业。也就是说，集成电路已经成为所有产业不可缺少的东西，显然今后集成电路的重要性将越来越受到重视。
集成电路的制造方法和晶体管的制造方法一样，适合于大量生产，这是因为采用所谓整批处理方式，可以将多数个构成集成电路的基本晶片本身，同时形成于一块晶圆片之中的缘故，由一块晶圆片所获得的晶片的数目越多时，其经济性也就相对的提高。
现今的晶圆片制作技术已相当地成熟，使得工业上的应用相当普遍及便利；然就晶圆片的储存及收藏方面，便是晶圆片应用领域上极其重要的一个课题；晶圆片固定的目的，在确保晶圆片的收藏完整，不致有缺损、断裂的情形；收藏的目的乃在于确保晶圆片不受粉尘的污染。
习知的处理晶圆片收藏、储存的相关创作，仅简短叙述如下习知1．是申请案号为83200533的专利案，该创作是为一“晶圆包装保护盒”，其创作的功用乃在于提供一晶圆片的收藏保护盒，晶圆片是置放入内盒体内部，而内盒体外缘切有数条沟槽，以供置设及取出晶圆片之用；内盒体容置于外盒体内，上端有一盖体，藉由其密封的型式来保存、储藏晶圆片，此法虽相当简单，然就晶圆片置入后的定位及固定并未加以保护，使得晶圆片虽于保护盒内有防止外部尘埃污染的功效，但易于因振动、摇晃，造成内部晶圆片的破损，或因晶圆片间的摩擦而生成粉尘，故而极不理想。
另有一习知的相关创作，习知2．是申请案号为4815912的专利案，该案是以一四连杆为主架构的机构；该创作是将置入于晶圆盒内的晶圆片，以设置于晶圆盒盖内的四连杆机构，将之定位并固定的；由于该四连杆机构是于晶圆盒盖罩盖晶圆盒底盘时，同步推移出四连杆组，而藉由四连杆组的面板，以面接触形式推移未至定位的晶圆片，使晶圆片得以装置至定位并固定的；但是面板与凸出的晶圆片接触，是为晶圆片外缘的最高点，面板与晶圆片的间距较小，易于晶圆盒盖罩合时，面板碰触至凸出的晶圆片，造成晶圆片刮伤或损毁，颇不理想；同时，四连杆机构与晶圆盒底盘接触的两连杆底端，各设有一滚轮，以帮助连杆的推移，当连杆下端的滚轮因应晶片固定的需求而滑移，滑移过程中，于接触端部，易产生出粉尘，将会对收藏固定的晶片造成不良的影响。
习见的晶圆片固定盒及装置，其各类的型式，由下列陈述，足证至今仍存在显著缺点。
有鉴于此，本实用新型的目的在于，提供一种针对上述缺点，对晶圆片固定机构作一崭新设计改良，改良以连杆机构应用之，发展出一新型的晶圆片固定机构。
本实用新型晶圆片固定机构，其设置的目的是为使晶圆盒内的晶圆片固定不晃动，该动作是在晶圆盒与晶圆盒底盘合上时，同时作动以固定晶圆片；除必需具备固定晶圆片不晃动的功能外，也必需避免产生粉尘，污染晶圆盒内收藏的晶圆片。
本实用新型晶圆片固定机构，是在晶圆盒盖内部，设置有两相对称的固定机构，该固定机构是一五连杆的机构；当晶圆盒盖与晶圆盒底盘合上，进行晶圆片的保存及收藏时，两相对称的固定机构，即藉其五连杆设置的结构特性，将会推置晶舟上的晶圆片，至定位并固定之；当晶圆盒底盘与晶圆盒盖，合在一起时，晶圆盒底盘会推动固定机构中的滑杆向上升，最后会使整组五连杆机构撑开，以完成固定晶圆片的目的。
另外，本实用新型的固定机构，是装置于晶圆盒盖的内侧两相邻对称的角落，其作动时乃由角落向中央推置，因此可容许晶圆片凸出晶舟较大的距离，将减少由晶圆盒盖与晶圆盒底盘组合时，造成晶圆片打破、毁损的情形发生，争取到较大的使用空间。
本实用新型晶圆片固定机构，其结构主要包括有晶圆盒盖、固定机构、晶舟和晶圆盒底盘，其特征在于固定机构，其是为一连杆机构模组，供晶圆片的定位及固定之用，装置于晶圆盒盖的内侧；连杆机构包含有基座杆、滑杆、下连杆、前连杆、上连杆构成；当晶舟的内部，置入晶圆片储存收藏时，此时将晶圆盒盖罩合，晶圆盒盖内的固定机构的滑杆与晶圆盒底盘接触，使滑杆于基座杆内向上移，推移出下连杆，使前连杆下端，受下连杆的作动，而倾斜推出；当滑杆与前连杆同样与晶圆盒底盘接触并受力推移，致使上连杆作动，将前连杆的上端部推移，待至固定机构的连杆全部撑开，即完成晶盘上的晶圆片对齐，并定位固定之；其中晶圆盒盖内部，可设置两组或两组以上的固定机构应用；晶圆盒盖内设置的固定机构，是设置于晶圆盒盖内部的角落上；固定机构的前连杆，是与晶圆片接触，可于前连杆上设置可弃式覆板，以利有污渍时可更换之；其中基座杆内可设置一弹簧，使滑杆回复初始位置的动作能更加稳定。
为了使能更进一步了解本实用新型的特点及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的附图及详细说明，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制，其中
图1为本实用新型实施前的示意图图2为本实用新型实施后的示意图图3为本实用新型的固定机构设置与晶圆片互动的相关示意图图4为本实用新型的固定机构的动作示意图在欲收藏晶圆片，必先考虑晶圆片的固定及防尘问题；请参阅图1至图4所示，其是为本实用新型的实施示意图及固定机构的动作示意图；晶圆片60置入晶舟40内收藏，由于晶圆片60置放的顺序、角度不一，将导致晶圆片60参差排列；此时将晶圆盒盖10与晶圆盒底盘50罩合，晶圆盒盖10内的固定机构20、30，藉其五连杆机构的特性、渐次特殊的动作将晶圆片60推置入晶舟40内定位并固定的。
固定机构20、30，为更有效地利用其使用空间，增加晶圆片60凸出晶舟40的容许距离，是设置于晶圆盒盖10内部相邻的两角落；由于容许距离加大，可使晶圆片60进入晶舟40的位置要求降低，不需受限于小空间；另外由于晶圆盒盖10内部设置的固定机构20、30，其设置的位置在两角落上，可避免在晶圆盒盖10与晶圆盒底盘50罩合时，碰触到凸出而未置放妥善的晶圆片60，造成晶圆片60的破损及断裂。
请参阅图4a、图4b、图4c所示，其是为本实用新型的固定机构五连杆组的动作示意图；当晶圆盒盖10与晶圆盒底盘50罩合时，晶圆盒盖10内的固定机构与晶圆盒底盘50接触；罩合时，固定机构中的滑杆75与晶圆盒底盘50接触，使滑杆75在基座杆70的内部向上位移，并将与之枢接的下连杆80向前推出，因下连杆80的作动，驱使与下连杆80接合的前连杆85下端受下连杆80的作动而倾斜推出；待至滑杆75与前连杆85同样接触晶圆盒底盘50并受力推移，致使上连杆90作动，将前连杆85的上端部向前推移，待至固定机构的连杆全部撑开，即完成晶舟40上的晶圆片60对齐，并定位固定之。
由于上连杆90与下连杆80上，有其特殊的动作限制设计，使得各连杆之间，相对的可转动角度受到限制，因此当机构动作完成时，各连杆间亦达其转动角度的死点，整组固定机构成一稳定结构，可承受各方向的力，而不致崩溃。
固定机构20、30单靠重力，即可使作动完毕的机构，自动回复原来初始状态，但如考虑使其动作更稳定，可加装回复弹簧72以应用之。
综上所述，本实用新型是为一解决习知相关创作的缺点，而达到晶圆片收藏、固定功能的优异创作，其所达到的功能如下1、固定机构与晶圆片或晶圆盒接触时，是以相对运动的原理，其间的相对速度将可减至最低；因此由作动中所造成影响晶圆片的粉尘，亦可减至最低。
2、由于固定机构是分置于晶圆片的两侧，因而可容许晶圆片较大的容许凸出晶舟距离，晶圆盒盖罩合时，藉固定机构的动作特性，将凸出晶舟的晶圆片推置定位、固定。
从上所述可知，本实用新型以巧思的结构设计，改善以往晶圆固定、收藏上的缺点，而能以一连杆机构的应用，达到市面上收藏、固定晶圆片的要求。
上述的具体实施例是用来详细说明本实用新型的目的、特征及功效，对于熟悉此类技艺的人士而言，根据上述说明，可能对该具体实施例作部份变更及修改，而并不脱离本实用新型的精神范畴。
权利要求1．一种晶圆片固定机构，其结构主要包括有晶圆盒盖、固定机构、晶舟和晶圆盒底盘，其特征在于固定机构，其是为一连杆机构模组，供晶圆片的定位及固定之用，装置于晶圆盒盖的内侧；连杆机构包含有基座杆、滑杆、下连杆、前连杆、上连杆构成；当晶舟的内部，置入晶圆片储存收藏时，此时将晶圆盒盖罩合，晶圆盒盖内的固定机构的滑杆与晶圆盒底盘接触，使滑杆于基座杆内向上移，推移出下连杆，使前连杆下端，受下连杆的作动，而倾斜推出；当滑杆与前连杆同样与晶圆盒底盘接触并受力推移，致使上连杆作动，将前连杆的上端部推移，待至固定机构的连杆全部撑开，即完成晶盘上的晶圆片对齐，并定位固定之。
2．按权利要求1所述的晶圆片固定机构，其特征在于，其中晶圆盒盖内部，可设置两组或两组以上的固定机构。
3．按权利要求1所述的晶圆片固定机构，其特征在于，其中晶圆盒盖内设置的固定机构，是设置于晶圆盒盖内部的角落上。
4．按权利要求1所述的晶圆片固定机构，其特征在于，其中固定机构的前连杆，是与晶圆片接触，可于前连杆上设置可弃式覆板，以利有污渍时可更换之。
5．按权利要求1所述的晶圆片固定机构，其特征在于，其中基座杆内可设置一弹簧，使滑杆回复初始位置的动作能更加稳定。
专利摘要本实用新型晶圆片固定机构,包括晶圆盒盖、固定机构、晶舟和晶圆盒底盘;固定机构是为一连杆机构模组,装于晶圆盒盖的内侧;连杆机构包含有基座杆、滑杆、下连杆、前连杆、上连杆构成;当晶舟的内部置入晶圆片时,将晶圆盒盖罩合,晶圆盒内的固定机构的滑杆与晶圆盒底盘接触,在基座杆、下连杆、前连杆和滑杆的作用下,将固定机构的连杆全部撑开,即完成晶舟上的晶圆片对齐,并定位固定。
文档编号H01L21/68GK2306570SQ9722104
公开日1999年2月3日 申请日期1997年7月8日 优先权日1997年7月8日
发明者范宏光, 黄国洲, 李志中 申请人:财团法人工业技术研究院