用于产生太赫兹波、微波的双共振垂直腔面发射激光器结构的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及光电子器件领域中垂直腔面发射激光器的结构及其制备方法，特别涉 及一种用于产生太赫兹波或者微波的双共振垂直腔面发射激光器的结构及其制备方法。
【背景技术】
[0002] 太赫兹（Terahertz，简称THz)波通常是指频率为0.1 THz~lOTHz的电磁波，这一 频段在电磁波谱中处于电子学与光子学交汇的位置，长期以来由于缺乏有效的产生和探测 技术，因而被称为"THz空白"。目前太赫兹波技术过于复杂、过于昂贵，特别是太赫兹波辐 射源的问题，限制了太赫兹波技术的广泛应用。
[0003] 微波的频率范围在300MHz~300GHz范围，在雷达、微波炉、等离子发生器、无线网 络系统、传感器系统上均有广泛的应用。
[0004] 根据太赫兹波辐射产生机理，主要分为两类：一种是利用电子学方法，一种是利用 光学方法，目前电子学方法产生太赫兹波光源依然面临制备尺度等限制，而光电子学的方 法，例如基于飞秒脉冲激光器的时域谱系统光源，虽然得到广泛的重视，但是系统庞大、复 杂、昂贵。产生太赫兹波的光学方法就是光混频的方法，其基本原理是，两束频率相近的激 光（《i，《 2)，形成拍频信号时，拍频频率《 = ?「《2在太赫兹波范围。由于不存在非线 性晶体吸收的问题，光混频法产生的太赫兹波辐射最主要的特点就是损耗小，是近年来光 学方法产生太赫兹波辐射的研宄热点，而光混频法的关键就是如何获得两个频率相近的相 干光束。
[0005] 微波的产生方法主要有电学和光学两种方法，电学的方法根据
【主权项】
1.用于产生太赫兹波、微波的双共振垂直腔面发射激光器结构， 从下至上依次包括下金属电极、n型衬底、下分布反馈布拉格反射镜、n型相位匹配层、 增益区、P型相位匹配层、上分布反馈布拉格反射镜、纯化层、上金属电极，其特征在于；n型 相位匹配层与增益区、P型相位匹配层的光学厚度与激光在下布拉格反射镜和上布拉格反 射镜中的能量穿透深度一起构成激光谐振腔长d，谐振腔的长度d要求满足d = c/2 ?，其 中如果0. iraz< ? <l〇raz，则为太赫兹波；如果300M化< ? <300GHz，则为微波。
【专利摘要】用于产生太赫兹波、微波的双共振垂直腔面发射激光器结构涉及光电子器件领域。本发明从下至上依次包括下金属电极、n型衬底、下分布反馈布拉格反射镜、n型相位匹配层、增益区、p型相位匹配层、上分布反馈布拉格反射镜、钝化层、上金属电极，其特征在于：n型相位匹配层与增益区、p型相位匹配层的光学厚度与激光在下布拉格反射镜和上布拉格反射镜中的能量穿透深度一起构成激光谐振腔长d，谐振腔的长度d要求满足d＝c/2ω，其中如果0.1THz<ω<10THz，则为太赫兹波；如果300MHz<ω<300GHz，则为微波。本发明与现有的太赫兹光源相比，具有集成化、小型化、室温工作、易形成二维阵列的优点。
【IPC分类】H01S5-06, H01S5-183
【公开号】CN104682194
【申请号】CN201410602844
【发明人】郭霞, 刘白, 李冲
【申请人】北京工业大学
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2014年11月2日