专利名称：光致伸缩膜及具有该光致伸缩膜的光致伸缩驱动器的制作方法
技术领域：
本发明涉及微光机电领域，尤其涉及一种光致伸縮膜及具有该光致伸縮膜的光致伸縮驱 动器。
背景技术：
碳纳米管具有许多庞大应用潜力的特性，如弹道电子传输，场致发光效应等。目前已有 利用碳纳米管薄膜制成的光致伸縮驱动器，该光致伸縮驱动器可直接用光线来控制机械的运 动。
请参阅图1及图2，光致伸縮驱动器1由座体2及伸縮悬臂3组成，所述伸縮悬臂3由透明高 分子弹性材料的光致伸縮薄膜制成，该伸縮悬臂3中夹杂着许多微小的半导体纳米管颗粒3a ，这些半导体纳米管颗粒3a受到特定能量的光线照射后会激发半导体纳米管颗粒3a形成电子 电洞对，当电荷重新分布后，会在伸縮悬臂3内局部区域形成静电场，半导体纳米管颗粒3a 因受静电力作用而驱使整个伸縮悬臂3产生应变。由于伸縮悬臂3—端固定于座体2上，其另 一端会沿轴向N伸縮，从而产生驱动力。
然而，所述半导体纳米管颗粒3a在伸縮悬臂3中的分布有密有疏，常常会发生大量的光 线直接穿透伸縮悬臂3，而并未照射到半导体纳米管颗粒3a上，导致光线利用率不高，因此 影响到光致伸縮驱动器l的灵敏性与应变量。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种可提高光利用率的光致伸縮膜及具有该光致伸縮膜的光致伸 縮驱动器。
一种光致伸縮膜，其包括基层及夹杂层。所述基层包括相对设置的第一表面及第二表面 ，所述基层由弹性透明材料制成。所述夹杂层内分散有光致伸縮物质，所述夹杂层平行设置 于所述基层上。所述光致伸縮膜还包括反射层，所述反射层设置于所述夹杂层光线出射的一 侧，所述反射层反射从所述夹杂层透过的光线。
一种光致伸縮驱动器，所述光致伸縮驱动器包括固定座及光致伸縮膜。所述光致伸縮膜 固定于所述固定座上，并沿远离所述固定座的方向延伸。所述光致伸縮膜包括基层及夹杂层 ，所述基层包括相对设置的第一表面及第二表面，所述基层由弹性透明材料制成。所述夹杂 层内分散有光致伸縮物质，所述夹杂层平行设置于所述基层上。所述光致伸縮膜包括反射层，所述反射层设置于所述夹杂层光线出射的一侧，所述反射层反射从所述夹杂层透过的光线
本发明的光致伸縮膜及其使用所述光致伸縮膜的光致伸縮驱动器通过设置反射层来反射 从夹杂层漏出的光线并将光线重新反射到夹杂层，对光线进行二次利用，从而提高了光线的 使用率。
图l是现有光致伸縮驱动器的示意图。
图2是沿图1中II-II线所得的剖视图。
图3是本发明实施方式提供的光致伸縮驱动器的示意图。
图4是沿图3中IV-IV线所得的剖视图。
具体实施例方式
下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。
请参阅图3及图4，为本发明实施方式提供的一种光致伸縮驱动器IO。其包括固定座100 及光致伸縮膜200。所述光致伸縮膜200从固定座100—表面101上沿远离固定座100的方向N延 伸。本实施方式中，所述光致伸縮膜200呈长片状。
所述光致伸縮膜200包括基层210、夹杂层220及反射层230。所述基层210包括相对设置 的第一表面211及第二表面212。光线L由所述第一表面211入射，所述基层210由弹性透明材 料制成。所述基层210可以采用丙烯酸酯橡胶、聚二甲基硅氧烷、聚碳酸酯或聚苯二甲酸乙 二醇酯等材料制成。本实施方式中，所述基层210采用透明的丙烯酸酯橡胶制成。
所述夹杂层220内分散有光致伸縮物质220a，所述光致伸縮物质220a可以是单壁半导体 纳米管，也可以是多壁半导体纳米管。本实施方式中，光致伸縮物质220a采用多壁碳纳米管 。所述夹杂层220与所述第一表面211相对，所述夹杂层220可以附于所述第一表面211上或位 于所述基层210内。本实施方式中，为了使第一表面211及第二表面212变化均匀，所述夹杂 层220位于所述基层210内的中心处。
所述反射层230为全反射膜。所述反射层230设置于所述夹杂层220光线出射的一侧。所 述反射层230反射从所述夹杂层220透过的光线L。所述反射层230可以设置于所述基层210内 或设置于所述第二表面212上。本实施方式中，所述反射层230镀于所述第二表面212上。
本发明的光致伸縮膜及其使用所述光致伸縮膜的光致伸縮驱动器通过设置反射层来反射 从夹杂层漏出的光线并将光线重新反射到夹杂层，对光线进行二次利用，从而提高了光线的 使用率。可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它 各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种光致伸缩膜，其包括基层及夹杂层，所述基层包括相对设置的第一表面及第二表面，所述基层由弹性透明材料制成，所述夹杂层内分散有光致伸缩物质，所述夹杂层平行设置于所述基层上，其特征在于，所述光致伸缩膜还包括反射层，所述反射层设置于所述夹杂层光线出射的一侧，所述反射层反射从所述夹杂层透过的光线。
2 如权利要求l所述的光致伸縮膜，其特征在于，所述夹杂层设置于所述基层内。
3 于所述第一表面上。
4 于所述第二表面上。
5 于所述基层内。
6 反射膜。
7 如权利要求l所述的光致伸縮膜，其特征在于，所述夹杂层设置如权利要求l所述的光致伸縮膜，其特征在于，所述反射层设置如权利要求l所述的光致伸縮膜，其特征在于，所述反射层设置如权利要求l所述的光致伸縮膜，其特征在于，所述反射层为全其特征在于，所述基层采用丙:醇酯的一种材料制成。其特征在于，所述夹杂层掺杂如权利要求l所述的光致伸縮膜， 烯酸酯橡胶、聚二甲基硅氧烷、聚碳酸酯或聚苯二甲酸乙二
8 如权利要求l所述的光致伸縮膜， 单壁或多壁半导体纳米管。
9 一种光致伸縮驱动器，其包括固定座及光致伸縮膜，所述光致伸 縮膜固定于所述固定座上，并沿远离所述固定座的方向延伸，所述光致伸縮膜包括基层及夹 杂层，所述基层包括相对设置的第一表面及第二表面，所述基层由弹性透明材料制成，所述 夹杂层内分散有光致伸縮物质，所述夹杂层平行设置于所述基层上，其特征在于，所述光致 伸縮膜包括反射层，所述反射层设置于所述夹杂层光线出射的一侧，所述反射层反射从所述 夹杂层透过的光线。
10.设置于所述基层内。
11. 设置于所述第一表面上。
12.设置于所述第二表面上。
13.设置于所述基层内。
14. 为全反射膜。
15.如权利要求9所述的光致伸縮驱动器，其特征在于，所述夹杂层 如权利要求9所述的光致伸縮驱动器，其特征在于，所述夹杂层 如权利要求9所述的光致伸縮驱动器，其特征在于，所述反射层 如权利要求9所述的光致伸縮驱动器，其特征在于，所述反射层 如权利要求9所述的光致伸縮驱动器，其特征在于，所述反射层如权利要求9所述的光致伸縮驱动器，其特征在于，所述基层采 用丙烯酸酯橡胶、聚二甲基硅氧烷、聚碳酸酯或聚苯二甲酸乙二醇酯的一种材料制成。
16.如权利要求9所述的光致伸縮驱动器，其特征在于，所述夹杂层 掺杂单壁或多壁半导体纳米管。
全文摘要
一种光致伸缩膜，其包括基层及夹杂层。所述基层包括相对设置的第一表面及第二表面，所述基层由弹性透明材料制成。所述夹杂层内分散有光致伸缩物质，所述夹杂层平行设置于所述基层上。所述光致伸缩膜还包括反射层，所述反射层设置于所述夹杂层光线出射的一侧，所述反射层反射从所述夹杂层透过的光线。本发明的光致伸缩膜通过设置反射层来反射从夹杂层漏出的光线并将光线重新反射到夹杂层，对光线进行二次利用，从而提高了光线的使用率。另，本发明还提供一种使用该光致伸缩膜的光致伸缩驱动器。
文档编号H02N11/00GK101645676SQ20081030338
公开日2010年2月10日 申请日期2008年8月5日 优先权日2008年8月5日
发明者洪新钦 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司