专利名称：供电系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域的供电系统。
背景技术：
半导体产品的制造厂区主要包括制造厂房(FAB，Fabrication Bui lding)、中央 动力厂房(CUB, Center Utility Building)、支援厂房(SB, Supply Building)和电力供应 厂房(PSB, Power Supply Building)等。FAB是产品的制造中心，里面为无尘室，晶圆、芯片等都在FAB的无尘室里生产； CUB供应制造工艺所需要的能源和动力，例如水、空调、电以及一些化学药剂或者气体；SB 对CUB提供的能源和动力进行分配和整合，并提供给FAB ；FAB, CUB和SB里都有独立的电 站，各电站的电力由PSB分配。SB是连接CUB和FAB的枢纽，SB电站运行的稳定性对半导 体产品制造有着重要作用。请参考图1，由于环境和条件的限制，现有的SB电站通常仅包括两套供电单元， 即交流供电单元Al和直流供电单元A2 ；SB电站的转换单元A3将交流供电单元Al提供的 380V三相交流电转换为SB的工作设备10所需的直流电。交流供电单元Al为工作设备10 的主供电，直流供电单元A2为工作设备10的备用供电，当交流供电单元Al出现供电故障 时，即切换直流供电单元A2向工作设备10供电。然而，由于上述SB电站只有两套供电单元，其供电可靠性和运行稳定性并不高； 而且，现有SB电站的直流供电系统也没有放电功能测试，其存在的故障隐患也较大，一旦 交流供电单元断电并且直流供电单元也出现故障，SB电站就处于关闭状态，这将对SB和 FAB的工作设备造成较大的影响。为提高SB电站的可靠性的稳定性，可以增加一套交流供电单元或直流供电单元， 然而，受现有SB的空间限制，增加一套交流供电单元会比较困难；并且增加一套交流供电 单元或直流供电单元不仅费用成本高，而且还会增加系统预防性维护(PM—Preventive Maintenance)的工作量。
实用新型内容本实用新型解决的问题是，提供一种供电系统，以提高供电可靠性和运行稳定性。为解决上述问题，本实用新型提供一种供电系统，其包括给两组工作设备中的一 组供电的第一交流供电单元、第一直流供电单元、切换供电单元的第一切换单元以及给另 外一组工作设备供电的第二交流供电单元、第二直流供电单元、切换供电单元的第二切换 单元，所述第一直流供电单元与第二直流供电单元并联在一起，所述第一、第二切换单元控 制第一、第二直流供电单元同时对两组工作设备或任意一组工作设备供电。与现有技术相比，上述技术方案将SB电站的直流供电单元和FAB电站的直流供电 单元并联，既不需要增加其他单元，也不需要改变其他单元，就可以给SB电站增加一套备 用供电，因而提高了 SB电站的供电可靠性和运行稳定性。[0010]同样地，上述技术方案也给FAB电站增加了一套备用供电，因而也提高了 FAB电站 的供电可靠性和运行稳定性。另外，上述技术方案相比于增加一套交流供电单元或直流供电单元来说，还具有 实现简单，成本低和效率高等优点。
图1是现有的SB电站的结构示意图；图2是本实用新型实施方式的供电系统的结构示意图；图3是本实用新型实施例的供电系统的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型实施方式的供电系统将SB电站的直流供电单元和FAB电站的直流供 电单元并联，在不增加或改变其他装置的情况下就可以提高电站的供电可靠性和运行稳定 性。在半导体产品的制造厂区中，SB是将CUB提供的能源和动力进行分配和整合，并 提供给FAB，即SB是对FAB的支援，其距离FAB非常近，一般为几十米；并且SB和FAB的直 流供电单元提供的是相同的直流电，一般为103V 121V，因此将SB的直流供电单元和FAB 的直流供电单元并联是可行的，并且易于实现。图2是本实用新型实施方式的供电系统的结构示意图，所述供电系统包括SB电 站1和FAB电站2，其中，SB电站1包括可向SB电站1的工作设备10供电的第一直流供电 单元12，FAB电站2包括第二直流供电单元22，所述SB电站1的第一直流供电单元12和 FAB电站2的第二直流供电单元22并联。另外，SB电站1还包括第一交流供电单元11和第一转换单元13，第一转换单元13 将第一交流供电单元11提供的交流电转换成直流电，并可将所述转换的直流电提供给SB 电站1的工作设备10。
以下结合附图和实施例对本实用新型的具体实施方式
做详细的说明。图3是本实 施例的供电系统的结构示意图，所述供电系统包括SB电站1和FAB电站2。SB电站1包括第一交流供电单元11、第一直流供电单元12、第一转换单元13、第 一交流开关单元14、第一直流开关单元15和第一切换单元16。FAB电站2包括第二交流供电单元21、第二直流供电单元22、第二转换单元23、 第二交流开关单元24、第二直流开关单元25和第二切换单元26。其中，第一直流供电单元12和第二直流供电单元22并联，第一直流供电单元12 为提供IlOV电压的电池或电池组，第二直流供电单元22为提供IlOV电压的电池或电池组。SB电站1的第一交流供电单元11提供380V的三相交流电；第一转换单元13将 第一交流供电单元11提供的380V的三相交流电转换成IlOV直流电，第一转换单元13可 以包括整流器和变压器；第一交流开关单元14将第一交流供电单元11接入SB的工作设备 10，或断开第一交流供电单元11和SB的工作设备10的连接；第一直流开关单元15将第一 直流供电单元12接入SB的工作设备10，或断开第一直流供电单元12和SB的工作设备10的连接；第一切换单元16，在第一交流供电单元11断电或出现故障时，将第一直流供电单 元12接入SB的工作设备10，在第一交流供电单元11恢复供电或故障排除后，将第一交流 供电单元11接入SB的工作设备10。FAB电站2的第二交流供电单元21提供380V的三相交流电；第二转换单元23将第二交流供电单元21提供的380V的三相交流电转换成IlOV直流电，第二转换单元23可 以包括整流器和变压器；第二交流开关单元24将第二交流供电单元21接入FAB的工作设 备20，或断开第二交流供电单元21和FAB的工作设备20的连接；第二直流开关单元25将 第二直流供电单元22接入FAB的工作设备20，或断开第二直流供电单元22和FAB的工作 设备20的连接；第二切换单元26，在第二交流供电单元21断电或出现故障时，将第二直流 供电单元12接入FAB的工作设备20，在第二交流供电单元21恢复正常时，将第二交流供电 单元11接入FAB的工作设备20。由于FAB电站2的第二直流供电单元22并联于SB电站1的第一直流供电单元 12，相当于给SB电站1增加了一套备用供电。具体来说，SB电站1的第一交流供电单元11 作为工作设备10的主供电，即在正常状态下，第一切换单元16将第一交流供电单元11接 入工作设备10，并断开第一直流供电单元12和工作设备10的连接；SB电站1的第一直流 供电单元12和FAB电站2的第二直流供电单元22作为工作设备的备用供电，即在第一交 流供电单元11断电或出现故障时，第一切换单元16检测到了第一交流供电单元11的失电 信号，将并联的第一直流供电单元12和第二直流供电单元22接入工作设备10，并断开第 一交流供电单元11和工作设备10的连接，在此情况下，即使第一直流供电单元12和第二 直流供电单元22其中有任何一个出现故障都不会影响工作设备10的工作，并且无需额外 的电源管理来切换第一直流供电单元12和第二直流供电单元22向工作设备10进行供电。 另外，在第一交流供电单元11恢复供电或故障排除后，第一切换单元16检测到了第一交流 供电单元11的得电信号，可以将第一交流供电单元11重新接入工作设备10，并断开第一直 流供电单元12和工作设备10的连接。同理，由于SB电站1的第一直流供电单元12并联于FAB电站2的第二直流供电 单元22，相当于也给FAB电站2增加了一套备用供电。综上所述，上述技术方案将SB电站的直流供电单元和FAB电站的直流供电单元并 联，既不需要增加其他单元，也不需要改变其他单元，就可以给SB电站增加一套备用供电， 因而提高了 SB电站的供电可靠性和运行稳定性。同样地，上述技术方案也给FAB电站增加 了一套备用供电，因而也提高了 FAB电站的供电可靠性和运行稳定性。本实用新型虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本实用新型，任何 本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因 此本实用新型的保护范围应当以本实用新型权利要求所界定的范围为准。
权利要求一种供电系统，其包括给两组工作设备中的一组供电的第一交流供电单元、第一直流供电单元、切换供电单元的第一切换单元以及给另外一组工作设备供电的第二交流供电单元、第二直流供电单元、切换供电单元的第二切换单元，其特征在于所述第一直流供电单元与第二直流供电单元并联在一起，所述第一、第二切换单元控制第一、第二直流供电单元同时对两组工作设备或任意一组工作设备供电。
2.根据权利要求1所述的供电系统，其特征在于，所述第一直流供电单元为电池或电 池组。
3.根据权利要求1所述的供电系统，其特征在于，所述第二直流供电单元为电池或电 池组。
4.根据权利要求1所述的供电系统，其特征在于，所述供电系统还包括两个直流开关 单元，其分别将控制所述第一、第二直流供电单元与工作设备的电路连接。
5.根据权利要求1所述的供电系统，其特征在于，所述供电系统还包括两个分别将第 一、第二交流供电单元所提供的交流电转换成直流电的转换单元。
6.根据权利要求5所述的供电系统，其特征在于，所述供电系统还包括两个交流开关 单元，其分别将控制所述第一、第二交流供电单元与工作设备的电路连接。
7.根据权利要求1所述的供电系统，其特征在于，所述两组工作设备分别位于支援厂 房和制造厂房内。
专利摘要本实用新型提供一种供电系统，其包括给两组工作设备中的一组供电的第一交流供电单元、第一直流供电单元、切换供电单元的第一切换单元以及给另外一组工作设备供电的第二交流供电单元、第二直流供电单元、切换供电单元的第二切换单元，所述第一直流供电单元与第二直流供电单元并联在一起，所述第一、第二切换单元控制第一、第二直流供电单元同时对两组工作设备或任意一组工作设备供电。
文档编号H02J7/34GK201570890SQ20092004940
公开日2010年9月1日 申请日期2009年10月23日 优先权日2009年10月23日
发明者徐辉 申请人:无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司