一种炉管超温报警延时跳闸系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种炉管超温报警延时跳闸系统，该系统包括：用于测量炉管的温度的热电偶；用于将所述温度与设定温度比较，如果超过了所述设定温度，则输出超温信号的测温控制电路；用于接收所述测温控制电路输出的超温信号并开始计时，计时结束后发出控制信号的计时电路；及用于根据所述控制信号控制温度主开关跳闸保护的跳闸控制电路；其中所述热电偶、所述测温控制电路、所述计时电路及所述跳闸控制电路电连接。本实用新型的方案，减少产品报废率，提升设备的过程监控，且保证监控电路超温控制的有效性及稳定性。
【专利说明】一种炉管超温报警延时跳闸系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体设备的改造领域，特别涉及一种炉管超温报警延时跳闸系统。
【背景技术】
[0002]在集成电路的制造中，Bruce系列的卧式炉管广泛应用于当前国内6 "集成电路生产线。炉管是一种在高温环境下对硅晶片进行扩散、氧化或低压化学气相沉积的设备，生产过程会根据工艺要求对炉管内温度进行控制，通常温度范围控制在400?1200摄氏度，如温度控制出现异常，温度明显高出工艺需求温度，在炉管温度升到设备耐温极限之前，应有独立监控电路控制加热开关及时断电以保护设备和附近人员的安全；自动断电跳闸功能虽然能及时保护设备安全但会对炉管内产品造成较大影响，严重的会引起产品报废，故还要排除机台误报警造成的误跳闸情况，对机台进行有效的超温监控。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种炉管超温报警延时跳闸系统，对炉管内产品质量减小了影响，提升了设备的过程监控功能。
[0004]为了达到上述目的，本实用新型提供了一种炉管超温报警延时跳闸系统，包括:
[0005]用于测量炉管的温度的热电偶；
[0006]用于将所述温度与设定温度比较，如果超过了所述设定温度，则输出超温信号的测温控制电路；
[0007]用于接收所述测温控制电路输出的超温信号并开始计时，计时结束后发出控制信号的计时电路 '及
[0008]用于根据所述控制信号控制温度主开关跳闸保护的跳闸控制电路；
[0009]其中所述热电偶、所述测温控制电路、所述计时电路及所述跳闸控制电路电连接。
[0010]其中，所述的炉管超温报警延时跳闸系统，还包括:
[0011]用于接收所述测温控制电路输出的超温信号，并输出报警信号的报警锁定电路；
[0012]用于根据所述报警信号，并发出报警的报警电路。
[0013]其中，所述报警锁定电路与所述报警电路电连接。
[0014]其中，所述报警锁定电路具有用于停止报警信号输出的复位键。
[0015]其中，所述热电偶电路包括:第一热电偶电路、第二热电偶电路、第三热电偶电路；
[0016]其中，所述第一热电偶电路设置于所述炉管管口 ；
[0017]所述第二热电偶电路设置于所述炉管管中；
[0018]所述第三热电偶电路设置于所述炉管管尾。
[0019]其中，所述测温控制电路包括:第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路，所述第一测温控制电路与所述第一热电偶电路连接，所述第二测温控制电路与所述第二热电偶电路连接，所述第三测温控制电路与所述第三热电偶电路连接。
[0020]其中，所述计时电路分别与所述第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路连接，所述计时电路接收到第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路任一路的超温信号开始计时，计时完成后输出控制信号。
[0021]其中，所述报警锁定电路分别与所述第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路连接，所述报警锁定电路接收到第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路任一路的超温信号时，输出报警信号。
[0022]本实用新型的上述方案的有益效果如下:
[0023]本实用新型的炉管超温报警延时跳闸系统，能够排除误信号造成的错误跳闸，减少产品报废率，提升设备的过程监控，且保证监控电路超温控制的有效性及稳定性。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]图1表示本实用新型实施例炉管超温报警延时跳闸系统的电路硬件结构图；
[0025]图2表示本实用新型实施例炉管超温报警延时跳闸系统的电路信号走向图。
[0026]附图标记说明:
[0027]1-热电偶；2_测温控制电路；3_报警锁定电路；4_报警电路；5_计时电路；6_跳闸控制电路。
【具体实施方式】
[0028]为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0029]本实用新型的实施例针对BRUCE炉管生产过程所面临的问题，提供了一种炉管超温报警延时跳闸系统。
[0030]如图1所示，本实用新型实施例提供了一种炉管超温报警延时跳闸系统，包括:
[0031]用于测量炉管的温度的热电偶I ;
[0032]用于将温度与设定温度比较，如果超过了设定温度，则输出超温信号的测温控制电路2 ;
[0033]用于接收测温控制电路2输出的超温信号并开始计时，计时结束后发出控制信号的计时电路5 ;
[0034]用于根据控制信号控制温度主开关跳闸保护的跳闸控制电路6 ；
[0035]其中热电偶1、测温控制电路2、计时电路5及跳闸控制电路6电连接。
[0036]用于接收测温控制电路2输出的超温信号，并输出报警信号的报警锁定电路3 ；
[0037]用于接收报警锁定电路3输出的报警信号，并发出报警的报警电路4，具体可以是声光报警电路。
[0038]其中，报警锁定电路3与报警电路4电连接。
[0039]其中，报警锁定电路3具有用于停止报警信号输出的复位键。
[0040]其中，热电偶I电路包括:第一热电偶电路、第二热电偶电路、第三热电偶电路；
[0041]其中，第一热电偶电路设置于炉管管口，测量炉管管口的温度；
[0042]第二热电偶电路设置于炉管管中，测量炉管管中的温度；[0043]第三热电偶电路设置于炉管管尾，测量炉管管尾的温度。
[0044]其中，测温控制电路2包括:第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路，第一测温控制电路与第一热电偶电路连接，第二测温控制电路与第二热电偶电路连接，第三测温控制电路与第三热电偶电路连接。
[0045]其中，计时电路5分别与第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路连接，计时电路5接收到第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路任一路的超温信号开始计时，计时完成后输出控制信号。
[0046]其中，报警锁定电路3分别与第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路连接，报警锁定电路3接收到第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路任一路的超温信号时，输出报警信号。
[0047]本实施例中，该监控电路由六个主要部分组成:用于测温用的热电偶1，分别测量炉管口、中、尾三个区域的温度；测温控制电路2，用于接收热电偶I信号并转换成对应温度值与设定温度进行比较，如超过设定温度，则输出信号给报警锁定电路3和计时电路5 ;报警锁定电路3接收到任何一路测温控制电路2的超温信号后会输出稳定的报警信号给报警电路4，期间即使测温控制电路2的超温信号中断也不在影响报警锁定电路3的报警信号输出，直到报警锁定电路3内部的复位键按下才能清除报警；计时电路5接收到任何一路测温控制电路2的超温信号就开始计时，期间如超温信号中断，则计时清零并等待下次超温信号到才重新计时，计时完成后输出信号到跳闸控制电路6;跳闸控制电路6收到信号后控制温度主开关跳电保护。
[0048]如图2所示，三路热电偶分别测量炉管口、中、尾三部分温度，只要有其中一路温度超过设定温度就发出超温信号，监控电路检测到超温信号就会锁定此信号并发出报警，此时即使超温信号消失(误报警情况)，报警也不会停止，直到人为复位；监控电路发出报警同时开始计时(计时时间根据机台情况可从零到数分钟内设定)，计时时间到则控制加热主开关跳闸，如果计时期间超温信号消失(误报警情况)，则计时器清零，等待下次超温信号触发重新计时，有效排除误信号造成的错误跳闸动作并及时提醒维修人员处理误信号产生的原因，如热电偶接触不良或断裂等情况，保证监控电路超温控制的有效性及稳定性。
[0049]上述实施例的炉管超温报警延时跳闸系统，能够排除误信号造成的错误跳闸，减少产品报废率，提升设备的过程监控，且保证监控电路超温控制的有效性及稳定性。
[0050]以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种炉管超温报警延时跳闸系统，其特征在于，包括: 用于测量炉管的温度的热电偶； 用于将所述温度与设定温度比较，如果超过了所述设定温度，则输出超温信号的测温控制电路； 用于接收所述测温控制电路输出的超温信号并开始计时，计时结束后发出控制信号的计时电路；及 用于根据所述控制信号控制温度主开关跳闸保护的跳闸控制电路； 其中所述热电偶、所述测温控制电路、所述计时电路及所述跳闸控制电路电连接。
2.根据权利要求1所述的炉管超温报警延时跳闸系统，其特征在于，还包括: 用于接收所述测温控制电路输出的超温信号，并输出报警信号的报警锁定电路； 用于根据所述报警信号，并发出报警的报警电路； 其中，所述报警锁定电路与所述报警电路电连接。
3.根据权利要求2所述的炉管超温报警延时跳闸系统，其特征在于，所述报警锁定电路具有用于停止报警信号输出的复位键。
4.根据权利要求2所述的炉管超温报警延时跳闸系统，其特征在于，所述热电偶电路包括:第一热电偶电路、第二热电偶电路、第三热电偶电路； 其中，所述第一热电偶电路设置于所述炉管管口 ； 所述第二热电偶电路设置于所述炉管管中； 所述第三热电偶电路设置于所述炉管管尾。
5.根据权利要求4所述的炉管超温报警延时跳闸系统，其特征在于，所述测温控制电路包括:第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路，所述第一测温控制电路与所述第一热电偶电路连接，所述第二测温控制电路与所述第二热电偶电路连接，所述第三测温控制电路与所述第三热电偶电路连接。
6.根据权利要求5所述的炉管超温报警延时跳闸系统，其特征在于，所述计时电路分别与所述第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路连接，所述计时电路接收到第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路任一路的超温信号开始计时，计时完成后输出控制信号。
7.根据权利要求5所述的炉管超温报警延时跳闸系统，其特征在于，所述报警锁定电路分别与所述第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路连接，所述报警锁定电路接收到第一测温控制电路、第二测温控制电路、第三测温控制电路任一路的超温信号时，输出报警信号。
【文档编号】H02H5/04GK203774754SQ201420167506
【公开日】2014年8月13日 申请日期:2014年4月8日 优先权日:2014年4月8日
【发明者】陈春河, 林伟旺, 葸天俊 申请人:北大方正集团有限公司, 深圳方正微电子有限公司