一种中空二维压电惯性冲击驱动平台

文档序号:25535114发布日期:2021-06-18 20:28阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种中空二维压电惯性冲击驱动平台,其特征在于:包括方形平台(1)、封装盖板(2)和固定底座(3);所述方形平台(1)由方形外框(4)、方形内框(5)、位移放大机构(6)和压电驱动器(7)组成;所述封装盖板(2)中心镂空,安装于方形平台(1)的上表面;所述固定底座(3)中心镂空,设置于方形平台(1)的下表面;

所述方形外框(4)的四个内侧面和方形内框(5)的四个外侧面分别通过位移放大机构(6)连接,位移放大机构(6)的内部分别设置压电驱动器(7);所述压电驱动器(7)作用位移放大机构(6)产生形变,分别推动方形外框(4)和方形内框(5)之间产生平面正交方向上的相对位移;

所述封装盖板(2)的四角部分和中间部分之间分别设置柔性机构(8),封装盖板(2)的四角部分分别通过螺钉(9)和垫片(10)安装于方形外框(4)的四角部位上表面,封装盖板(2)的中间部分通过螺钉(9)和垫片(10)安装于方形内框(5)的上表面;

所述方形外框(4)的四角部位下表面与固定底座(3)的上表面摩擦耦合,方形外框(4)的四角部位与中间部位之间分别设置弯曲铰链(11),通过弯曲铰链(11)调整四角部位的高度,保证方形外框(4)和固定底座(3)均匀接触。

2.根据权利要求1所述的一种中空二维压电惯性冲击驱动平台,其特征在于:所述位移放大机构(6)为三角放大机构,所述压电驱动器(7)为压电陶瓷叠堆,所述柔性机构(8)为l型悬臂梁,所述弯曲铰链(11)为矩形截面梁。

3.根据权利要求1所述的一种中空二维压电惯性冲击驱动平台,其特征在于:所述方形外框(4)的四角部位下表面分别对称设置通孔和半球沉孔,通孔内安装磁铁(12),半球沉孔内安装摩擦小球(13);所述固定底座(3)的四角部位上表面分别设置下层的铁磁层(14)和上层的摩擦层(15),铁磁层(14)与磁铁(10)产生吸引磁力,施加摩擦层(15)与摩擦小球(13)之间的预压力。


技术总结
本发明公开一种中空二维压电惯性冲击驱动平台,包括方形平台、封装盖板和固定底座,方形平台由方形外框、方形内框、位移放大机构和压电驱动器组成,封装盖板设置柔性机构并安装在方形平台的上表面,方形平台通过方形外框的四角部位与下表面的固定底座摩擦耦合,在压电驱动器锯齿波激励电压下实现惯性冲击运动。本发明采用中心镂空的结构设计提供观测孔径,采用摩擦耦合调整机构保证冲击驱动的稳定性,可进一步提高多自由度跨尺度精密驱动定位在SEM等显微成像系统中的应用效果。

技术研发人员:潘成亮;胡民港;夏豪杰;李维诗;于连栋;石超;丰安辉;吴家豪
受保护的技术使用者:合肥工业大学
技术研发日:2021.02.08
技术公布日:2021.06.18
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