一种用于真空环境下的传送驱动装置的制作方法

1.本实用新型涉及驱动装置技术领域，具体涉及一种用于真空环境下的传送驱动装置。


背景技术：

2.工件的移动离不开驱动装置的驱动，对于在真空环境下移动的工件，由于真空环境为密闭空间，而普通驱动装置由于气密性较差，并不适合作为真空环境下移动工件的驱动装置。


技术实现要素：

3.针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种用于真空环境下的传送驱动装置。
4.本实用新型所采用的技术方案是：
5.一种用于真空环境下的传送驱动装置,包括电机，还包括密封传送机构、联轴器、绝缘传送机构和主驱动轴，所述密封传送机构的输入端与所述电机的输出轴连接，所述密封传送机构的输出端通过所述联轴器与所述绝缘传送机构的输入端连接，所述绝缘传送机构的输出端与所述主驱动轴连接。
6.进一步，所述密封传送机构包括密封轴和滚子链联轴器，所述密封轴的输入端通过所述滚子链联轴器与所述电机输出轴连接，所述密封轴的输出端通过所述联轴器与所述绝缘传送机构的输入端连接。
7.进一步，所述密封传送机构还包括第一套筒、第一轴承和第二轴承，所述密封轴通过第一轴承和第二轴承安装在所述第一套筒内，所述密封轴的输入端和输出端分别由所述第一套筒的两端伸出。
8.进一步，所述密封传送机构还包括压板、第二套筒和端盖，所述压板压在所述第一轴承的外侧，所述第二套筒套设在所述第一套筒外周，且所述第一套筒、第二套筒和压板通过连接件连接固定，所述端盖可拆卸连接在所述第二套筒的外周、且位于所述密封轴的另一端。
9.进一步，所述第一轴承与所述第二轴承之间设有密封圈和垫圈。
10.进一步，所述第二套筒和端盖采用聚四氟乙烯材料。
11.进一步，所述绝缘传送机构包括第三套筒、连接杆和螺钉盘；所述第三套筒的一端敞口，另一端封闭；所述螺钉盘置于所述第三套筒内，所述连接杆的一端伸入所述第三套筒内，并通过所述螺钉盘与所述第三套筒的封闭端连接，所述连接杆的另一端伸出所述第三套筒外，并通过所述联轴器与所述密封轴的输出端连接；所述主驱动轴的一端连接在所述第三套筒的封闭端外侧。
12.进一步，所述螺钉盘采用聚四氟乙烯材料。
13.本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变
得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
15.图1为本技术实施例所提供的用于真空环境下的传送驱动装置的剖视图；
16.图2为本技术实施例所提供的用于真空环境下的传送驱动装置的结构示意图；
17.图3为图1的a部放大图；
18.图4为图1的b部放大图。
19.其中，电机1、压板2、第二套筒3、第一套筒4、密封圈5、密封垫6、端盖7、密封轴8、连接杆9、螺钉盘10、主驱动轴11、支撑架12、滚子链联轴器13、键条14、第二轴承15、联轴器16、第三套筒17、第一轴承18。
具体实施方式
20.这里，要说明的是，本实用新型涉及的功能、方法等仅仅是现有技术的常规适应性应用。因此，本实用新型对于现有技术的改进，实质在于硬件之间的连接关系，而非针对功能、方法本身，也即本实用新型虽然涉及一点功能、方法，但并不包含对功能、方法本身提出的改进。本实用新型对于功能、方法的描述，是为了更好的说明本实用新型，以便更好的理解本实用新型。
21.下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
22.需要注意的是，除非另有说明，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。
23.参见图1～图4，本技术一种用于真空环境下的传送驱动装置,包括电机1，还包括密封传送机构、联轴器16、绝缘传送机构和主驱动轴11，所述密封传送机构的输入端与所述电机1的输出轴连接，所述密封传送机构的输出端通过所述联轴器16与所述绝缘传送机构的输入端连接，所述绝缘传送机构的输出端与所述主驱动轴11连接。
24.本技术通过设置密封传动机构和绝缘传送机构，在使用时，电机1可通过支撑架12固定安装在真空空间外，其密封传送机构、联轴器16、绝缘传送机构和主驱动轴11伸入真空环境内，驱动置于真空环境内的工件动作，气密性和绝缘性好。
25.电机1可采用变频器步进电机，其可通过支撑架12固定安装在真空环境外。
26.密封传送机构包括密封轴8和滚子链联轴器13，所述密封轴8的输入端通过所述滚子链联轴器13与所述电机1输出轴连接，所述密封轴8的输出端通过所述联轴器16与所述绝缘传送机构的输入端连接。
27.具体的，电机1输出轴通过花键连接在滚子链联轴器13的一端，在滚子链联轴器13的另一端内壁设有键条14，密封轴8的输入端通过该键条14连接在滚子链联轴器13的另一
端，从而实现密封轴8与电机1输出轴的连接。
28.所述密封传送机构还包括第一套筒4、第一轴承18和第二轴承15，第一轴承18和第二轴承15均为向心球轴承，第一轴承18和第二轴承15间隔设置，所述密封轴8通过第一轴承18和第二轴承15安装在所述第一套筒4内，所述密封轴8的输入端和输出端分别由所述第一套筒4的两端伸出。
29.所述密封传送机构还包括压板2、第二套筒3和端盖7，所述压板2压在所述第一轴承18的外侧，所述第二套筒3套设在所述第一套筒4外周，且所述第一套筒4、第二套筒3和压板2通过连接件连接固定，所述端盖7可拆卸连接在所述第二套筒3的外周、且位于所述密封轴8的另一端。
30.第一套筒4和第二套筒3均为两端敞口的筒体结构，第一套筒4的一端设有向其径向延伸的第一固定部，第二套筒3的一端设有向其径向延伸的第二固定部，第二套筒3套设在第一套筒4的外周，第二固定部抵在第一固定部的内侧。压板2的一端插入第一套筒4内、并抵压在第一轴承18的外侧，压板2的另一端设有向其径向延伸的第三固定部，第三固定部压在第一固定部的外侧，第三固定部、第一固定部和第二固定部通过螺栓等紧固件连接固定。
31.第二套筒3的另一端设有外螺纹，端盖7的一端套设在第二套筒3的外周、并与第二套筒3螺纹配合，端盖7的另一端设有供密封轴8穿过的通孔，密封轴8的输出端由该通孔穿出。第二套筒3和端盖7采用聚四氟乙烯材料。
32.在第一轴承18与所述第二轴承15之间、第一固定部与第二固定部之间均设有密封圈5，在第一轴承18与第二轴承15之间还设有密封用垫圈，在第二固定部的端面也可以设置密封圈5进行密封处理。使用时，密封轴8的输出端、端盖7、第二套筒3和第一套筒4的另一端均伸入至真空环境内，第二固定部、第一固定部、压板2以及电机1等外语真空环境外，通过上述密封结构，保证了密封轴8的密封性。
33.联轴器16采用微型膜片联轴器16，密封轴8的输出端通过该微型膜片联轴器16与绝缘传送机构的输入端连接。
34.具体的，所述绝缘传送机构包括第三套筒17、连接杆9和螺钉盘10；所述第三套筒17的一端敞口，另一端封闭，其采用绝缘材料制成；所述螺钉盘10采用聚四氟乙烯材料制成，具有较好的绝缘性，其置于所述第三套筒17内，所述连接杆9的一端伸入所述第三套筒17内，并通过所述螺钉盘10与所述第三套筒17的封闭端连接，所述连接杆9的另一端伸出所述第三套筒17外，并通过所述联轴器16与所述密封轴8的输出端连接；所述主驱动轴11的一端连接在所述第三套筒17的封闭端外侧；在本实施例中，主驱动轴11可通过焊接的方式固定在第三套筒17的外侧。
35.通过采用螺钉盘10连接第三套筒17和连接杆9，实现了连接杆9与主驱动轴11之间的绝缘连接，提高了装置的绝缘性。
36.采用上述技术方案，本技术驱动装置可用于真空环境下驱动工件动作，可实现在常温-200摄氏度连续运行2000小时免维护。
37.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相
互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
38.本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、系统和技术，以便不模糊对本说明书的理解。
39.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、系统、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、系统、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
40.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。