驱动装置的制作方法

1.本实用新型涉及机械设备技术领域，尤其涉及一种驱动装置。


背景技术：

2.在机械制造及电子设备生产行业中，常用到驱动装置，例如在基板搬送设备中，基板通常是采用腔室内多个传送轴进行传送，驱动传送轴转动通常采用电机驱动，即电机通过某种形式将输出的扭矩传递给驱动轴，驱动轴通过齿轮或者同步带再将扭矩传递给所有的传送轴，这样就可以实现传送轴同步转动，从而将基板按照设定的速度向前传送。
3.目前电机通过同步带或者链传动将扭矩传递给驱动轴，一般情况下是在腔室的侧面开一个方口，将电机固定在腔室的外部，然后将同步带或者链条一头穿过侧面的方口和电机轴进行连接，另一头和腔室内部的驱动轴连接，这样当电机转动的时候，就可以将扭矩传递给驱动轴了。但是上述解决方案存在以下缺点：
4.(1)同步带运转一段时间后，需要定期张紧，张紧时间不好掌握。
5.(2)链传动磨损比较严重，磨损的碎屑会有污染基板的风险。
6.(3)由于在腔室侧面开口，当腔室内部具有水蒸气时，很容易导致腔室内部的水蒸气侵蚀电机轴。


技术实现要素：

7.为了解决现有技术中存在的问题，本技术提出了一种驱动装置，该驱动装置不存在同步带或者链传动所存在的问题，其还能够提高传动精度，以及具有很好的密封性，能够尽可能的避免腔室内部的水蒸气侵蚀电机轴。
8.为了实现上述目的，本技术提出了一种驱动装置，包括装配在第一安装板上的电机，所述电机输出轴穿过所述第一安装板上的通孔，该输出轴经联轴器与连接轴相连接，所述第一安装板经连板与第二安装板固定连接，所述连接轴穿过所述第二安装板上的通孔，所述连接轴经至少两个轴承与套管相连接，在所述套管上设有用于限制轴承移动的限位机构，所述套管固定在第三安装板上，所述第二安装板和第三安装板相互配合使用，用于将所述驱动装置装配在带有通孔的装配板处，在所述连接轴上还设有防护罩，所述防护罩随着连接轴的转动而转动，所述防护罩罩住所述套管，在所述连接轴上还设有齿轮，所述齿轮用于与待驱动的驱动轴上的齿轮相啮合。
9.在一些实施例中，在所述第三安装板处设有第一密封圈，所述第一密封圈用于将所述第三安装板与装配板的连接处进行密封；在所述第三安装板与套管之间设有第二密封圈，通过所述第二密封圈将所述第三安装板和套管的连接处进行密封。
10.在一些实施例中，所述防护罩经第三密封圈与所述连接轴过盈配合。
11.在一些实施例中，所述限位机构包括设置在所述套管两端的挡板。
12.在一些实施例中，在所述连接轴上或者在所述防护罩内设有第四密封圈，所述第四密封圈随着连接轴的转动而转动，所述第四密封圈与其中一个挡板相接触，所述第四密
封圈用于对所述挡板与连接轴或者防护罩之间的间隙进行密封；在所述连接轴上设有第五密封圈，所述第五密封圈随着连接轴的转动而转动，所述第五密封圈与另一个挡板相接触，所述第五密封圈用于对所述挡板与连接轴之间的间隙进行密封。
13.在一些实施例中，所述挡板采用耐摩擦材料制成。
14.在一些实施例中，所述套管的侧壁上设有通气孔，所述通气孔处设有气管接头，所述气管接头用于与气源相连接。
15.在一些实施例中，所述连接轴呈阶梯式，所述齿轮处的连接轴的直径最小。
16.在一些实施例中，在所述防护罩与齿轮之间的连接轴上设有垫块，所述垫块随着连接轴的转动而转动，所述垫块用于防止液体进入防护罩内，且还用于使所述防护罩与齿轮的位置相对固定。
17.在一些实施例中，在所述第一安装板和第二安装板之间还可拆卸的设有透明板，所述第一安装板、第二安装板、连板以及透明板围成一个区域，所述电机的输出轴、联轴器以及部分连接轴处在该区域内。
18.本技术的该方案的有益效果在于上述驱动装置不存在同步带或者链传动所存在的问题，其还能够提高传动精度、以及具有很好的密封性，能够尽可能的避免腔室内部的水蒸气侵蚀电机轴。
附图说明
19.图1示出了实施例中驱动装置的立体结构示意图。
20.图2示出了实施例中驱动装置的剖面结构示意图。
21.附图标记：1-电机，2-联轴器，3-连接轴，4-第一安装板，5-连板，6-第二安装板，7-透明板，8-通孔，9-第三安装板，10-第一密封圈，11-套管，12-第二密封圈，13-轴承，14-挡板，15-防护罩，16-第三密封圈，17-齿轮，18-挡块，19-第四密封圈，20-第五密封圈，21-垫块，22-通气孔。
具体实施方式
22.下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明。
23.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不是用于描述或表示特定的顺序或先后次序，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
24.如图1～2所示，本技术所涉及的驱动装置包括装配在第一安装板4上的电机1，所述电机1的输出轴穿过所述第一安装板4上的通孔，该输出轴经联轴器2与连接轴3相连接，所述第一安装板4经连板5与第二安装板6固定连接，使所述第一安装板4、连板5以及第二安装板6形成稳固的结构，所述连接轴3穿过所述第二安装板6上的通孔8，所述连接轴3经至少两个轴承13与套管11相连接，在所述套管11上设有用于限制轴承13移动的限位机构，所述套管11固定在第三安装板9上，例如在所述套管11的外壁处沿周向设有凸起连接部，通过法兰连接的方式将所述套管11与第三安装板9进行固定，所述套管11的设置能够防止所述连
接轴3发生抖动；所述第二安装板6和第三安装板9相互配合使用，用于将所述驱动装置装配在带有通孔的装配板处，在本实施例中，所述装配板为腔室的底板，使所述第二安装板6处于腔室底板的下表面，使所述第三安装板9处于腔室底板的上表面，通过法兰连接的方式将所述第二安装板6、腔室的底板以及第三安装板9固定在一起，这样便将所述驱动装置固定在腔室上，且所述连接轴3处于竖直状态。在所述连接轴3上还设有防护罩15，所述防护罩15随着连接轴3的转动而转动，所述防护罩15罩住所述套管11，当所述防护罩15随着连接轴3转动时，能够将来自腔室的水汽甩开，以避免水汽进入套管11内。在所述连接轴3上还设有齿轮17，所述齿轮17用于与待驱动的驱动轴上的齿轮相啮合。在本实施例中，所述连接轴3的末端还设有挡块18，为了进一步防止齿轮17移动。
25.为了适配某些应用场景，例如环境较差的场所，在所述第一安装板4和第二安装板6之间还可拆卸的设有透明板7，所述第一安装板4、第二安装板6、连板5以及透明板7围成一个区域，所述电机1的输出轴、联轴器2以及部分连接轴3处在该区域内，通过透明板7能够随时观察，以便能够随时了解设备的使用情况，通过所述透明板7的设置，还能够防止其他东西伸入该区域内，能够避免危险的发生。
26.在本实施例中，为了使所述驱动装置具有良好的密封性，在所述第三安装板9的下表面设有第一密封圈10，所述第一密封圈10用于将所述第三安装板9与装配板的连接处进行密封；在所述第三安装板9与套管11之间设有第二密封圈12，通过所述第二密封圈12将所述第三安装板9和套管11的连接处进行密封；所述限位机构包括设置在所述套管11上下两端的挡板14。
27.为了进一步增强装置的密封性，所述防护罩15经第三密封圈16与所述连接轴3过盈配合，在所述连接轴3上或者在所述防护罩15内设有第四密封圈19，所述第四密封圈19随着连接轴3的转动而转动，所述第四密封圈19与其中一个挡板14相接触，所述第四密封圈19用于对所述挡板14与连接轴3或者防护罩15之间的间隙进行密封；在所述连接轴3上设有第五密封圈20，所述第五密封圈20随着连接轴3的转动而转动，所述第五密封圈20与另一个挡板14相接触，所述第五密封圈20用于对所述挡板14与连接轴3之间的间隙进行密封。由于所述第四密封圈19以及第五密封圈20转动时，均会与挡板14发生摩擦，因此所述挡板14采用耐摩擦材料制成，例如peek(聚醚醚酮)材质。所述套管11的侧壁上设有通气孔22，所述通气孔22处设有气管接头，所述气管接头用于与气源相连接，使用时，通过通气孔22向所述驱动装置内输送气体，使所述驱动装置一直处于正压状态，以便使外界的气体、液体不易进入。另外，所述连接轴3可呈阶梯式，所述齿轮17处的连接轴3的直径最小，这样的设计方式能够防止液体倒灌，还能够方便其他零件(例如轴承)的安装固定。
28.在本实施例中，在所述防护罩15与齿轮17之间的连接轴3上设有垫块21，所述垫块21随着连接轴3的转动而转动，所述垫块21用于进一步防止液体进入防护罩15内，且还用于使所述防护罩15与齿轮17的位置相对固定，防止二者沿着连接轴3移动。
29.在具体的使用过程中，使所述第二安装板6处于腔室底板的下表面，使所述第三安装板9处于腔室底板的上表面，通过法兰连接的方式将所述第二安装板6、腔室的底板以及第三安装板9固定在一起，这样便将所述驱动装置固定在腔室上，且所述连接轴3处于竖直状态。此时所述驱动装置的上半部分处于腔室内，所述齿轮17正好与待驱动的驱动轴上的齿轮相啮合。当电机1动作时，能够带动连接轴3转动，进而带动齿轮17转动，通过齿轮间的
啮合，可以带动驱动轴转动。由于所述套管11的设置，能够防止所述连接轴3抖动。由于所述防护罩15、第一密封圈10、第二密封圈12、第三密封圈16、第四密封圈19、第五密封圈20、通气孔22以及挡板14等的设置，能够使所述驱动装置具有良好的密封性，能够防止腔室内的水汽通过零部件之间的间隙进入所述驱动装置内，避免水汽侵蚀电机轴。
30.本技术所涉及的驱动装置不存在同步带或者链传动所存在的问题，其还能够提高传动精度、以及具有很好的密封性，能够尽可能的避免腔室内部的水蒸气侵蚀电机轴。
31.以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。