一种用于激光器的大电流缓启动开关电路的制作方法

文档序号:35630034发布日期:2023-10-06 02:45阅读:21来源:国知局
一种用于激光器的大电流缓启动开关电路的制作方法

本技术涉及一种用于激光器的大电流缓启动开关电路,属于激光直写曝光设备。


背景技术:

1、在pcb、半导体等制造过程中,通常利用曝光设备对基材进行曝光处理,其中,曝光设备的光源通常来源于激光器。目前现有激光器最大功率通常在50w以下,采用24v供电,总电流<12a,供电线路采用开关串联方式,当开关断开时供电被切断,当开关按下后供电线路接通导电。

2、随着对曝光设备性能要求的提升,对激光器的最大功率要求也在不断提高,从而总电流也需要不断提高,一般开关接触电阻在20mω-50mω之间,根据电功率公式p=i2r(i为总电流,r为开关接触电阻),随着电流i的提高,开关的电功率p成几何倍的提高,而开关上消耗的功率会转换成热能,功率越大,会导致开关发热、损耗过大、开关触点产生电弧、融化触点导致开关无法断开供电、产生抖动、毛刺干扰影响后级电路等问题。


技术实现思路

1、为了解决上述问题,本实用新型提供一种用于激光器的大电流缓启动开关电路,包括:供电单元、控制单元、信号单元、驱动单元和输出单元;所述信号单元用于提供开关信号,控制所述供电单元是否供电;

2、所述控制单元包括:第一电阻r1、第二电阻r2、第一电容c1和第一mos管q1;所述第一电阻r1和第一电容c1跨接在所述第一mos管q1的栅极和源极,所述第二电阻r2一端与所述第一mos管q1的栅极连接,另一端与所述驱动单元的三极管q4连接;

3、所述驱动单元包括:第四电阻r4、第五电阻r5、第二电容c2和三极管q4;所述第四电阻r4一端与所述信号单元连接,另一端分别与所述三极管q4、第五电阻r5和第二电容c2连接;所述第五电阻r5和第二电容c2的另一端接地,所述三极管q4的集电极c与所述第二电阻r2连接,基极b与所述第四电阻r4相连,发射极e接地。

4、在一种实施方式中,所述第一mos管q1上还接有多个依次连接mos管,其中每个mos管的栅极、源极、漏极都并联在前一个mos管的栅极、源极、漏极上,所述mos管的个数根据电路的输出功率调整。

5、在一种实施方式中,所述信号单元包括:开关。

6、在一种实施方式中,所述电路还包括指示灯单元,用作电路输出指示灯。

7、在一种实施方式中,指示灯单元包括:led灯。

8、本实用新型的优点:

9、本实用新型提供的缓启动开关电路,通过mos管缓慢启动开关电路,使输出电压逐渐升高直至与输入电压一致,避免了传统了开关电路闭合瞬间变跳至最高电圧,大大减轻了冲击电流的干扰,减弱了因开关瞬间产生抖动、毛刺等干扰对后级电路的影响,提升了电路的安全性。



技术特征:

1.一种用于激光器的大电流缓启动开关电路,其特征在于,所述电路包括:供电单元、控制单元、信号单元、驱动单元和输出单元;所述信号单元用于提供开关信号,控制所述供电单元是否供电;

2.根据权利要求1所述的用于激光器的大电流缓启动开关电路,其特征在于,所述第一mos管q1上还接有多个依次连接mos管,其中每个mos管的栅极、源极、漏极都并联在前一个mos管的栅极、源极、漏极上,所述mos管的个数根据电路的输出功率调整。

3.根据权利要求1所述的用于激光器的大电流缓启动开关电路,其特征在于,所述信号单元包括:开关。

4.根据权利要求1所述的用于激光器的大电流缓启动开关电路,其特征在于,所述电路还包括指示灯单元,用作电路输出指示灯。

5.根据权利要求4所述的用于激光器的大电流缓启动开关电路,其特征在于,指示灯单元包括:led灯。


技术总结
本技术公开了一种用于激光器的大电流缓启动开关电路,包括:供电单元、控制单元、信号单元、驱动单元和输出单元;本技术提供的缓启动开关电路,通过MOS管缓慢启动开关电路,使输出电压逐渐升高直至与输入电压一致,避免了传统激光器的开关电路闭合瞬间变跳至最高电压,大大减轻了冲击电流的干扰,减弱了因开关瞬间产生抖动、毛刺等干扰对后级电路的影响,提升了电路的安全性。

技术研发人员:何基奎,王汉,路建军
受保护的技术使用者:江苏影速集成电路装备股份有限公司
技术研发日:20230421
技术公布日:2024/1/15
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