一种运用于微波等离子的气旋组件的制作方法

1.本实用新型涉及微波等离子体运用技术领域，具体为一种运用于微波等离子的气旋组件。


背景技术：

2.在工业运用过程中，现有目前通常使用单进气口进气的形式，在进行等离子处理时，通常是先进行混气后再通过单进气口进入处理腔进行处理，目的是为了在处理腔体里产生气旋，便于在处理腔体壁周围产生温度保护层，及往处理腔体中心汇聚等离子能量，采用单进气口进气气体进气单一，气体在处理腔内部保护不够严密，影响使用效果，因此，本实用新型提出一种运用于微波等离子的气旋组件。


技术实现要素：

3.本实用新型提供一种运用于微波等离子的气旋组件，本实用新型采用多级多旋进气方式，并增加了不同气体的旋转进气通路，使处理腔体壁的气旋保护更加严密，提高了温度保护的效果，同时，不同的气体旋转进气后，可以产生一定的气体分层，有利于气体集中在处理腔体中心的等离子区域处理，为处理工艺拓展提供了新的手段。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种运用于微波等离子的气旋组件，包括旋转主体以及进气头，所述旋转主体为阶梯型圆筒结构，旋转主体上安装有多个进气头，旋转主体顶部安装有进气法兰，远离进气法兰一面开设有出气口，进气法兰上设置有位于其中间部位的进气口。
5.进一步地，所述进气法兰上开设可拆卸进气通路，通过可拆卸进气通路与四氟化碳的进气管口相连。
6.进一步地，所述进气头上连接端设置有vcr对接口，进气头通过vcr对接口与旋转主体通过vcr螺纹相连。
7.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
8.1、本实用新型通过多层旋转进气结构形成的气旋可以相互弥补单进气结构中的产生的气旋螺距空挡，使对处理腔体壁的温度保护性得到提高。
9.2、本实用新型通过旋转主体采用多层旋转进气结构可以产生不同气体的气旋层，对保护气与处理气体的隔离，产生一定的作用，从而提高处理效果，丰富了处理工艺。
附图说明
10.1-旋转主体、2-进气口、3-vcr螺纹、4-vcr对接口、5-进气头、6-进气法兰、7-出气口。
11.图1为本实用新型一种运用于微波等离子的气旋组件的结构示意图；
12.图2为本实用新型一种运用于微波等离子的气旋组件的俯视图；
13.图3为本实用新型一种运用于微波等离子的气旋组件的正视图。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.根据本实用新型的一实施方式结合图1-图3示出：一种运用于微波等离子的气旋组件，包括旋转主体1以及进气头5，旋转主体1为阶梯型圆筒结构，通过阶梯型圆筒结构，构成多层旋转进气，产生一定的气体分层，旋转主体1上安装有多个进气头5，旋转主体1顶部安装有进气法兰6，远离进气法兰6一面开设有出气口7，进气法兰6上设置有位于其中间部位的进气口2。
16.进气法兰6上开设可拆卸进气通路，通过可拆卸进气通路与四氟化碳的进气管口相连，通过可拆卸进气通路，方便与处理腔进气通路进行连接，进气头5上连接端设置有vcr对接口4，进气头5通过vcr对接口4与旋转主体1通过vcr螺纹3相连，通过vcr螺纹3拆装方便提高提高密封性。
17.作为本实用新型的一个实施例，气旋组件在进行使用时，可对进气法兰6处的进气管口通入四氟化碳，通过进气头5不同的进气层数分别通入氧气和氩气，通过氩气进行气体保护，使得氧气与四氟化碳可在等离子中心区域进行反应，可以使处理腔体壁的气旋保护更加严密，提高了温度保护及离子保护的效果，不同的气体旋转进气后，可以产生一定的气体分层，有利于处理腔体中心等离子区域的处理，为处理工艺拓展提供了新的手段。
18.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。


技术特征：
1.一种运用于微波等离子的气旋组件，其特征在于，包括旋转主体(1)以及进气头(5)，所述旋转主体(1)为阶梯型圆筒结构，旋转主体(1)上安装有多个进气头(5)，旋转主体(1)顶部安装有进气法兰(6)，远离进气法兰(6)一面开设有出气口(7)，进气法兰(6)上设置有位于其中间部位的进气口(2)。2.根据权利要求1所述的一种运用于微波等离子的气旋组件，其特征在于：所述进气法兰(6)上开设可拆卸进气通路，通过可拆卸进气通路与四氟化碳的进气管口相连。3.根据权利要求1所述的一种运用于微波等离子的气旋组件，其特征在于：所述进气头(5)上连接端设置有vcr对接口(4)，进气头(5)通过vcr对接口(4)与旋转主体(1)通过vcr螺纹(3)相连。

技术总结
本实用新型公开了一种运用于微波等离子的气旋组件，包括旋转主体以及进气头，旋转主体为阶梯型圆筒结构，旋转主体上安装有多个进气头，旋转主体顶部安装有进气法兰，远离进气法兰一面开设有出气口，进气法兰上设置有位于其中间部位的进气口，本实用新型采用多级多旋进气方式，并增加了不同气体的旋转进气通路，使处理腔体壁的气旋保护更加严密，提高了温度保护的效果，同时，不同的气体旋转进气后，可以产生一定的气体分层，有利于处理腔体中心等离子区域的处理。子区域的处理。子区域的处理。


技术研发人员：黄嘉杰 邬明旭 于洪威 欧阳浩 张钦
受保护的技术使用者：合肥优飞材料科技有限公司
技术研发日：2021.11.29
技术公布日：2022/5/4