弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。近年来，提出了像在下述的专利文献1记载的那样的使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在压电层上设置有成对的电极。成对的电极在压电层上彼此对置，并且连接于不同的电位。通过在上述电极间施加交流电压，从而激励厚度剪切模式的体波。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：美国专利第10491192号说明书

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、然而，在利用厚度剪切模式的体波的弹性波谐振器中，电极的间距容易变大，难以推进小型化。

3、本发明的目的在于，提供一种能够推进小型化的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本发明涉及的弹性波装置具备：支承构件，具有支承基板；压电层，设置在所述支承构件上，具有位于所述支承构件侧的第1主面和与所述第1主面对置的第2主面；第1idt电极，设置在所述第1主面，具有多个电极指；以及第2idt电极，设置在所述第2主面中的在俯视下与所述第1idt电极不重叠的部分，具有多个电极指，将所述压电层的厚度设为d，将相邻的所述电极指彼此的中心间距离设为p，在该情况下，在所述第1idt电极以及所述第2idt电极中，d/p为0.5以下，所述弹性波装置还具备：绝缘膜，设置在所述第2主面中的在俯视下与所述第1idt电极重叠的部分；以及布线电极，在俯视时与所述第1idt电极重叠的部分中在所述绝缘膜上穿过，并与所述第2idt电极连接。

6、发明效果

7、根据本发明涉及的弹性波装置，能够推进小型化。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，

13.一种弹性波装置的制造方法，是制造权利要求1～12中的任一项所述的弹性波装置的方法，其中，

14.根据权利要求13所述的弹性波装置的制造方法，其中，

技术总结
本发明提供一种能够推进小型化的弹性波装置。弹性波装置(10)具备：支承构件(13)；压电层(14)，具有位于支承构件(13)侧的第1主面(14a)和第2主面(14b)；第1IDT电极(11A)，设置在第1主面(14a)，具有多个第1电极指(26)、第2电极指(27)；以及第2IDT电极(11B)，设置在第2主面(14b)中的在俯视下与第1IDT电极(11A)不重叠的部分，具有多个第1电极指(28)、第2电极指(29)。将压电层(14)的厚度设为d，将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p，在该情况下，在第1IDT电极(11A)、第2IDT电极(11B)中，d/p为0.5以下。还具备：绝缘膜(17)，设置在第2主面(14b)中的在俯视下与第1IDT电极(11A)重叠的部分；以及布线电极(18)，在俯视时与第1IDT电极(11A)重叠的部分中在绝缘膜(17)上穿过，并与第2IDT电极(11B)连接。

技术研发人员：大内峰文
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14