弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中公开了利用板波的弹性波装置的一例。在该弹性波装置中，在支承体上设置有linbo3基板。在支承体设置有贯通孔。在linbo3基板中的面向上述贯通孔的部分设置有idt(interdigitaltransducer，叉指换能器)电极。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：国际公开第2013/021948号

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1所记载的弹性波装置中，linbo3基板等的压电层中的在俯视下与空洞部重叠的部分可能由于压电层的表背的压力差而容易变形。因此，可能会导致idt电极的电极指的前端部从压电层剥离或者电极指发生断裂。

3、本发明的目的在于，提供一种能够抑制idt电极的破损及idt电极从压电层的剥离的弹性波装置。

4、用于解决问题的手段

5、本发明的弹性波装置具备：支承构件，其具有支承基板；压电层，其设置在所述支承构件上；idt电极，其设置在所述压电层上，具有相对置的第一汇流条及第二汇流条以及多个电极指；以及第一绝缘膜，其设置在所述压电层上，并且覆盖与所述第一汇流条对置的所述多个电极指的前端部，在所述支承构件及所述压电层的层叠体中，在比所述压电层靠所述支承构件侧的位置设置有空洞部，在俯视下，所述idt电极的至少一部分与所述空洞部重叠，在将所述多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向时，在俯视下，所述空洞部的外周缘包括在所述电极指延伸方向上相对置的第一外周缘部及第二外周缘部，所述第一外周缘部及所述第二外周缘部中的所述第一外周缘部位于所述第一汇流条侧，所述第一绝缘膜在所述第一汇流条侧延伸，并且在俯视下，与所述空洞部的所述第一外周缘部重叠。

6、发明效果

7、根据本发明的弹性波装置，能够抑制idt电极的破损及idt电极从压电层的剥离。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求2或3所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求2或3所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求2至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求2至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1至9中任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1至9中任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求11或12所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求11至13中任一项所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求1至13中任一项所述的弹性波装置，其中，

技术总结
提供一种弹性波装置，能够抑制IDT电极的破损及IDT电极从压电层的剥离。弹性波装置(10)具备支承构件(13)、压电层(14)、具有第一、第二汇流条(26、27)及多个第一、第二电极指(28、29)的IDT电极(25)以及设置在压电层(14)上且覆盖多个第二电极指(29)的前端部的第一绝缘膜(17A)。在支承构件(13)及压电层14的层叠体中，在比压电层(14)靠支承构件(13)侧的位置设置有空洞部(13c)。在将多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向时，在俯视下，空洞部(13)的外周缘包括在电极指延伸方向上相对置的第一、第二外周缘部(13d、13e)，第一外周缘部(13d)位于第一汇流条(26)侧，第一绝缘膜(17A)在第一汇流条(26)侧延伸，并且在俯视下，与空洞部(13c)的第一外周缘部(13d)重叠。

技术研发人员：井上和则
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15