一种静电吸盘的加热机构的制作方法

本技术涉及静电吸盘设备，具体为一种静电吸盘的加热机构。

背景技术：

1、静电吸盘的静电吸附技术广泛应用于半导体晶片刻蚀、光学等领域，长期使用会使陶瓷和粘接层胶水磨损腐蚀，因此需定期维护修理，由于内部有胶水粘接，常规的拆解会损伤相关部件，所以需要高温加热使内部胶水软化方便拆解。

2、而现有技术申请号为202022635404.1公开了一种静电吸盘加热器，包括用于加热静电吸盘工件的加热盘，所述加热盘通过电线与温度控制器连接；上述加热盘的设置，无需使用烘箱加热，可以对加热盘进行加热，从而可以通过加热盘与静电吸盘工件的局部接触实现对静电吸盘工件上指定部位的加热，避免静电吸盘工件的整体温度偏高，避免损伤静电吸盘其他部件，且接触式加热大大提高了产品的加热效率，同时加热盘可以适用各类型号静电吸盘尺寸规模，而温度控制器的设置，可以保证对加热盘的加热稳定，升温速率快，可以对加热盘进行恒温控制，且在对加热盘加热后可以直接进行工件拆解，从而可以降低能源的损耗，本实用新型具有加温效率高且能耗低等特点。

3、但是，现有的静电吸盘加热器一般在对吸盘加热后，需要足够的时间进行冷却，而吸盘在进行冷却的过程中需要一定的时间，进而会降低人们的工作效率，不能满足生产需求，故而提出一种静电吸盘的加热机构来解决上述中所提出的问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种静电吸盘的加热机构，具备散热效率高等优点，解决了现有的静电吸盘加热器一般在对吸盘加热后，需要足够的时间进行冷却，进而会降低人们的工作效率的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种静电吸盘的加热机构，包括放置板和静电吸盘主体，所述放置板的外部设置有固定组件，所述放置板的外部设置有加热组件，所述固定组件包括固定安装于放置板底部的伺服电机，所述伺服电机的输出轴上固定连接有螺纹转杆，所述螺纹转杆的外部螺纹连接有固定夹板，所述加热组件包括固定安装于放置板顶部的安装板，所述安装板的内部固定安装有加热盘，所述放置板的顶部固定连接有限位板，所述限位板的内部开设有安装口，所述安装口的内壁上固定连接有安装架，所述安装架的内部固定连接有风扇。

3、进一步，所述放置板的顶部固定连接有限位杆，所述固定夹板滑动连接于限位杆的外部。

4、进一步，所述固定夹板的底部固定连接有夹垫，所述放置板的内部开设有散热孔。

5、进一步，所述安装口的内部固定连接有过滤网，所述放置板的底部固定连接有底座。

6、进一步，所述限位板的俯视外形呈弧形。

7、进一步，所述安装板位于散热孔的上方。

8、进一步，所述静电吸盘主体与限位板相适配。

9、与现有技术相比，本实用新型提供了一种静电吸盘的加热机构，具备以下有益效果：

10、1、该静电吸盘的加热机构，通过启动加热盘对静电吸盘主体的指定部位进行加热，避免静电吸盘主体的整体温度偏高，避免损伤静电吸盘其他部件，通过启动风扇使静电吸盘主体的温度快速降低，便于对静电吸盘主体快速进行拆卸工作，提高了工作效率。

11、2、该静电吸盘的加热机构，通过启动伺服电机使固定夹板对静电吸盘主体进行固定，提高静电吸盘主体加热时的稳定性，解决了现有的静电吸盘加热器一般在对吸盘加热后，需要足够的时间进行冷却，进而会降低人们的工作效率的问题。

技术特征：

1.一种静电吸盘的加热机构，包括放置板(1)和静电吸盘主体(16)，其特征在于：所述放置板(1)的外部设置有固定组件，所述放置板(1)的外部设置有加热组件；

2.根据权利要求1所述的一种静电吸盘的加热机构，其特征在于：所述放置板(1)的顶部固定连接有限位杆(11)，所述固定夹板(4)滑动连接于限位杆(11)的外部。

3.根据权利要求1所述的一种静电吸盘的加热机构，其特征在于：所述固定夹板(4)的底部固定连接有夹垫(12)，所述放置板(1)的内部开设有散热孔(13)。

4.根据权利要求1所述的一种静电吸盘的加热机构，其特征在于：所述安装口(8)的内部固定连接有过滤网(14)，所述放置板(1)的底部固定连接有底座(15)。

5.根据权利要求1所述的一种静电吸盘的加热机构，其特征在于：所述限位板(7)的俯视外形呈弧形。

6.根据权利要求3所述的一种静电吸盘的加热机构，其特征在于：所述安装板(5)位于散热孔(13)的上方。

7.根据权利要求1所述的一种静电吸盘的加热机构，其特征在于：所述静电吸盘主体(16)与限位板(7)相适配。

技术总结
本技术涉及一种静电吸盘的加热机构，包括放置板和静电吸盘主体，所述放置板的外部设置有固定组件，所述放置板的外部设置有加热组件，所述固定组件包括固定安装于放置板底部的伺服电机，所述伺服电机的输出轴上固定连接有螺纹转杆，所述螺纹转杆的外部螺纹连接有固定夹板，所述加热组件包括固定安装于放置板顶部的安装板，所述放置板的顶部固定连接有限位板，所述限位板的内部开设有安装口，所述安装口的内壁上固定连接有安装架，所述安装架的内部固定连接有风扇。该静电吸盘的加热机构，通过启动加热盘对静电吸盘主体的指定部位进行加热，通过启动风扇使静电吸盘主体的温度快速降低，便于对静电吸盘主体快速进行拆卸工作，提高了工作效率。

技术研发人员：王磊
受保护的技术使用者：北京子牛亦东科技有限公司
技术研发日：20221117
技术公布日：2024/1/13