等离子体设备的制作方法

本技术涉及等离子体处理，尤其是涉及一种等离子体设备。

背景技术：

1、在半导体制造过程中，通常先利用主等离子体设备进行沉积作业，继而再将远程等离子体设备与主等离子体设备对接以进行尾气清洗等后续作业。其中，远程等离子体设备包括腔室，且远程等离子体设备中设有线圈，线圈通电后会产生相应磁场而将供给到腔室中的气体转化为等离子体，再传输至其它设备腔室内进行相应的等离子体处理。

2、其中，远程等离子体设备通常是内置电源和匹配器的一体性设备，其内的电源和匹配器可以相互配合为远程等离子体设备中的负载提供电力。而由于远程等离子体设备内置有电源和匹配器，因此远程等离子体设备的内部腔室较小，且设备体积大而笨重，实用性较差，设备维修成本也较高。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种等离子体设备，以缓解现有技术中存在的远程等离子体设备内置有电源和匹配器，导致远程等离子体设备的内部腔室较小，且设备体积大而笨重，实用性较差，设备维修成本也较高的技术问题。

2、第一方面，本实用新型提供一种等离子体设备，包括电源装置、匹配装置、主等离子体装置和远程等离子体装置；

3、所述主等离子体装置内和所述远程等离子体装置内分别形成有腔室，所述电源装置和所述匹配装置均位于所述远程等离子体装置的腔室外；

4、所述匹配装置内设有切换开关，所述电源装置与所述切换开关连接；所述主等离子体装置上设有第一通电端，所述远程等离子体装置上设有第二通电端，所述切换开关用于择一导通所述第一通电端和所述第二通电端。

5、在可选的实施方式中，还包括第一分支导线和第二分支导线，所述第一分支导线和所述第二分支导线均包括输入端和输出端；

6、所述第一分支导线的输出端与所述第一通电端连接，所述第二分支导线的输出端与所述第二通电端连接，所述切换开关择一连接所述第一分支导线的输入端和所述第二分支导线的输入端。

7、在可选的实施方式中，所述第二分支导线上设有电容件。

8、在可选的实施方式中，所述第一分支导线的输入端和所述第二分支导线的输入端均固定于所述匹配装置内。

9、在可选的实施方式中，所述第一分支导线为射频导电带，所述第二分支导线为射频导电线。

10、在可选的实施方式中，还包括导电件，所述导电件连接于所述匹配装置的外壁和所述主等离子体装置的外壁之间。

11、在可选的实施方式中，所述导电件为多个，多个所述导电件沿所述匹配装置的与所述主等离子体装置连接的侧壁的延伸方向间隔分布。

12、在可选的实施方式中，所述匹配装置内设有总导线，所述总导线包括输入端和输出端，所述总导线的输入端与所述电源装置电连接，所述切换开关设于所述总导线的输出端；

13、所述总导线上设有第一可调电容件。

14、在可选的实施方式中，所述总导线的位于其输入端和所述第一可调电容之间的位置设有接地节点，所述接地节点处连接有接地线；

15、所述接地线上设有第二可调电容件。

16、在可选的实施方式中，所述主等离子体装置设有与其内部腔室连通的第一通口，所述第一通口处设有第一法兰；

17、所述远程等离子体装置设有与其内部腔室连通的第二通口，所述第二通口处设有第二法兰；

18、所述第一法兰和所述第二法兰对接连通。

19、本实用新型提供的等离子体设备包括电源装置、匹配装置、主等离子体装置和远程等离子体装置；主等离子体装置内和远程等离子体装置内分别形成有腔室，电源装置和匹配装置均位于远程等离子体装置的腔室外；匹配装置内设有切换开关，电源装置与切换开关连接；主等离子体装置上设有第一通电端，远程等离子体装置上设有第二通电端，切换开关用于择一导通第一通电端和第二通电端。当需要使主等离子体装置进行沉积等作业时，可以先将本实用新型提供的等离子体设备中的匹配装置内的切换开关与第一通电端连接以导通第一通电端，继而可以使得电源装置向主等离子体装置供电以保证主等离子体装置可以正常工作。其中，匹配装置可以采用现有的等离子体设备配备的匹配器，匹配装置用于使得电源装置后的负载的阻抗可以与电源装置的阻抗匹配以减小反射功率，使得电源装置的传输功率达到最大，有效保证供电效果。而需要使得远程等离子体装置进行尾气清洗等后续作业时，则可以先将远程等离子体装置的腔室与主等离子体装置的腔室对接连通，然后将匹配装置内的切换开关与第二通电端连接以导通第二通电端，此时电源装置可以向远程等离子体装置供电以保证远程等离子体装置可以正常工作。可以看出，本实用新型提供的等离子体设备通过匹配装置内的切换开关仍旧可以保证主等离子体装置和远程等离子体装置分别正常进行工作。此外，由于本实用新型提供的等离子体设备中的电源装置和匹配装置可以保证远程等离子体装置的正常工作，而电源装置和匹配装置均设于远程等离子体装置的腔室外，因此远程等离子体装置的腔室内不再配备电源装置和匹配装置，不仅远程等离子体设备的内部空间可以得到充分利用，且远程等离子体设备的体积和重量均可以有效减小，远程等离子体设备的维修成本也可以相应降低。

20、与现有技术相比，本实用新型提供的等离子体设备不仅可以通过切换开关择一向主等离子体装置和远程等离子体装置供电，保证主等离子体装置和远程等离子体装置分别可以正常工作，且本实用新型提供的等离子体设备通过将电源装置和匹配装置均外置于远程等离子体装置的腔室外，可以有效节约远程等离子体设备的内部空间、减小远程等离子体设备的体积和重量，以及降低远程等离子体设备的维修成本。

技术特征：

1.一种等离子体设备，其特征在于，包括电源装置(1)、匹配装置(2)、主等离子体装置(3)和远程等离子体装置(4)；

2.根据权利要求1所述的等离子体设备，其特征在于，还包括第一分支导线(7)和第二分支导线(8)，所述第一分支导线(7)和所述第二分支导线(8)均包括输入端和输出端；

3.根据权利要求2所述的等离子体设备，其特征在于，所述第二分支导线(8)上设有电容件(80)。

4.根据权利要求2所述的等离子体设备，其特征在于，所述第一分支导线(7)的输入端和所述第二分支导线(8)的输入端均固定于所述匹配装置(2)内。

5.根据权利要求2所述的等离子体设备，其特征在于，所述第一分支导线(7)为射频导电带，所述第二分支导线(8)为射频导电线。

6.根据权利要求1-5任一项所述的等离子体设备，其特征在于，还包括导电件，所述导电件连接于所述匹配装置(2)的外壁和所述主等离子体装置(3)的外壁之间。

7.根据权利要求6所述的等离子体设备，其特征在于，所述导电件为多个，多个所述导电件沿所述匹配装置(2)的与所述主等离子体装置(3)连接的侧壁的延伸方向间隔分布。

8.根据权利要求1-5任一项所述的等离子体设备，其特征在于，所述匹配装置(2)内设有总导线(21)，所述总导线(21)包括输入端和输出端，所述总导线(21)的输入端与所述电源装置(1)电连接，所述切换开关(20)设于所述总导线(21)的输出端；

9.根据权利要求8所述的等离子体设备，其特征在于，所述总导线(21)的位于其输入端和所述第一可调电容(210)之间的位置设有接地节点，所述接地节点处连接有接地线(22)；

10.根据权利要求1-5任一项所述的等离子体设备，其特征在于，所述主等离子体装置(3)设有与其内部腔室连通的第一通口，所述第一通口处设有第一法兰；

技术总结
本技术提供一种等离子体设备，涉及等离子体处理技术领域。该等离子体设备包括电源装置、匹配装置、主等离子体装置和远程等离子体装置；电源装置和匹配装置均位于远程等离子体装置外；匹配装置内设有切换开关，电源装置和切换开关连接；主等离子体装置设有第一通电端，远程等离子体装置设有第二通电端，切换开关用于择一导通第一通电端和第二通电端。该等离子体设备通过将电源装置和匹配装置均外置于远程等离子体装置外可以有效节约远程等离子体设备的内部空间、减小远程等离子体设备的体积和重量，且该等离子体设备通过切换开关可以择一向主等离子体装置和远程等离子体装置供电，保证主等离子体装置和远程等离子体装置分别可以正常工作。

技术研发人员：王思宇,郭东,张赛谦
受保护的技术使用者：拓荆科技股份有限公司
技术研发日：20221220
技术公布日：2024/1/12