可监测防静电支架及具有其的转塔式设备的制作方法

本公开一般涉及半导体测试，具体涉及一种可监测防静电支架及具有其的转塔式设备。

背景技术：

1、静电是电荷在物质系统中不平衡分布所产生的现象，其会对工业生产造成巨大危害，比如引起电子设备故障或误动作，以及击穿集成电路和精密电子元件，降低产品良率等。

2、目前，相关技术通过在转塔式设备的转塔与主塔之间连接金属片来释放静电，但金属片长期使用会因磨损而导致静电传导失败，且无法被检测，具有极大的安全隐患。

技术实现思路

1、鉴于相关技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可监测防静电支架及具有其的转塔式设备，不仅能够传导静电，还能够实时监测设备的防静电功能，确保安全。

2、第一方面，本公开提供一种可监测防静电支架，所述可监测防静电支架包括：

3、传导组件，所述传导组件与转塔式设备的转塔相接触，所述传导组件用于将所述转塔产生的静电传输至地端；

4、监测组件，所述监测组件与所述传导组件之间绝缘，所述监测组件与所述转塔相接触，所述监测组件用于检测所述转塔的阻值，并当所述阻值大于预设阈值时触发报警。

5、可选地，在本公开一些实施例中，所述监测组件包括监测本体、信号连接线和报警器；所述监测本体位于所述传导组件上，且与所述传导组件之间设置有绝缘垫片，并与所述转塔相接触；所述信号连接线的一端连接所述监测本体，另一端连接所述报警器。

6、可选地，在本公开一些实施例中，所述监测本体上设置有弹性件，所述弹性件与所述转塔相接触。

7、可选地，在本公开一些实施例中，所述弹性件包括弹簧。

8、可选地，在本公开一些实施例中，所述报警器包括阈值设定模块、接口模块和报警模块；所述阈值设定模块用于设定所述预设阈值，所述接口模块用于分别接入电源和所述信号连接线，所述报警模块用于报警提示。

9、可选地，在本公开一些实施例中，所述报警模块包括指示灯和蜂鸣器中的至少一种。

10、可选地，在本公开一些实施例中，所述报警器还包括显示模块；所述显示模块用于显示触发报警的转塔式设备所对应的编号。

11、可选地，在本公开一些实施例中，所述传导组件包括支架基座和位于所述支架基座上的传导本体，所述传导本体与所述转塔相接触。

12、可选地，在本公开一些实施例中，所述传导本体上设置有可拆卸铜头，所述可拆卸铜头与所述转塔相接触。

13、第二方面，本公开提供一种转塔式设备，所述转塔式设备上设置有第一方面中任意一项所述的可监测防静电支架。

14、从以上技术方案可以看出，本公开实施例具有以下优点：

15、本公开实施例提供了一种可监测防静电支架及具有其的转塔式设备，该可监测防静电支架包括传导组件和监测组件，其中传导组件与转塔式设备的转塔相接触，能够将转塔产生的静电传输至地端，而监测组件与传导组件之间绝缘，并与转塔相接触，由此能够实时检测转塔的阻值，以及当阻值大于预设阈值时触发报警，确保了安全。

技术特征：

1.一种可监测防静电支架，其特征在于，所述可监测防静电支架包括：

2.根据权利要求1所述的可监测防静电支架，其特征在于，所述监测组件包括监测本体、信号连接线和报警器；所述监测本体位于所述传导组件上，且与所述传导组件之间设置有绝缘垫片，并与所述转塔相接触；所述信号连接线的一端连接所述监测本体，另一端连接所述报警器。

3.根据权利要求2所述的可监测防静电支架，其特征在于，所述监测本体上设置有弹性件，所述弹性件与所述转塔相接触。

4.根据权利要求3所述的可监测防静电支架，其特征在于，所述弹性件包括弹簧。

5.根据权利要求2所述的可监测防静电支架，其特征在于，所述报警器包括阈值设定模块、接口模块和报警模块；所述阈值设定模块用于设定所述预设阈值，所述接口模块用于分别接入电源和所述信号连接线，所述报警模块用于报警提示。

6.根据权利要求5所述的可监测防静电支架，其特征在于，所述报警模块包括指示灯和蜂鸣器中的至少一种。

7.根据权利要求5所述的可监测防静电支架，其特征在于，所述报警器还包括显示模块；所述显示模块用于显示触发报警的转塔式设备所对应的编号。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的可监测防静电支架，其特征在于，所述传导组件包括支架基座和位于所述支架基座上的传导本体，所述传导本体与所述转塔相接触。

9.根据权利要求8所述的可监测防静电支架，其特征在于，所述传导本体上设置有可拆卸铜头，所述可拆卸铜头与所述转塔相接触。

10.一种转塔式设备，其特征在于，所述转塔式设备上设置有权利要求1至9中任意一项所述的可监测防静电支架。

技术总结
本公开提供了一种可监测防静电支架及具有其的转塔式设备，该可监测防静电支架包括传导组件和监测组件，其中所述传导组件与转塔式设备的转塔相接触，用于将所述转塔产生的静电传输至地端；所述监测组件与所述传导组件之间绝缘，并与所述转塔相接触，所述监测组件用于检测所述转塔的阻值，并当所述阻值大于预设阈值时触发报警。采用本公开的可监测防静电支架，既能够传导静电，又能够实时监测设备的防静电功能，确保安全。

技术研发人员：陈炜,刘洋,周禹彬
受保护的技术使用者：通富微电子股份有限公司
技术研发日：20221221
技术公布日：2024/1/12