弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

1、以往，弹性波装置广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述专利文献1中公开了声波装置、即弹性波装置的一例。在该弹性波装置中，在压电基板上设置有idt(interdigital transducer，叉指换能器)电极。在idt电极的多个电极指延伸的方向上，配置有声速不同的多个区域。具体而言，在中央区域的外侧配置有低声速区域，在低声速区域的外侧配置有高声速区域。据此，通过使活塞模式成立，从而实现了横模的抑制。

2、在上述中央区域配置有带状的电介质膜。通过电介质膜，覆盖了位于中央区域的多个电极指。由此，中央区域中的声速被提高，在中央区域与低声速区域之间设置了声速差。

3、在先技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特许第5221616号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、但是，在如专利文献1所记载的那样的用电介质膜覆盖电极指的中央区域的结构中，已知能够提高中央区域的声速的电介质膜限于氮化硅膜等，在使用了氧化硅膜等的情况下，声速变低。这样，为了使活塞模式成立，用于提高声速的材料是有限的。

3、本发明的目的在于提供能够在提高材料的自由度的同时抑制横模的弹性波装置。

4、用于解决问题的手段

5、本发明涉及的弹性波装置具备：压电性基板，其包括压电体层；idt电极，其设置在所述压电性基板上，具有多个电极指；以及电介质膜，其设置在所述压电性基板与所述idt电极之间，在所述idt电极中，在从弹性波传播方向观察时，相邻的所述电极指彼此重合的区域是交叉区域，在将所述多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向时，所述交叉区域包括在所述电极指延伸方向上位于中央的中央区域和配置为在所述电极指延伸方向上夹着所述中央区域的第1区域及第2区域，所述电介质膜的介电常数以及密度低于所述压电体层的介电常数以及密度，在俯视下，所述电介质膜设置在与所述中央区域重叠的部分，并且未设置在与所述第1区域以及所述第2区域重叠的部分。

6、发明效果

7、根据本发明涉及的弹性波装置，能够在提高材料的自由度的同时抑制横模。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求3或4所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求3或4所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的弹性波装置，其中，

技术总结
提供一种弹性波装置，能够在提高材料的自由度的同时，抑制横模。本发明的弹性波装置(1)具备包括压电体层(6)的压电性基板(2)、设置在压电性基板(2)上并且具有多个电极指的IDT电极(8)以及设置在压电性基板(2)与IDT电极(8)之间的电介质膜(7)。在IDT电极(8)中，在从弹性波传播方向观察时，相邻的电极指重合的区域是交叉区域(A)。在将多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向时，交叉区域(A)包括中央区域(C)和配置为在电极指延伸方向上夹着中央区域(C)的第1区域(E1)及第2区域(E2)。电介质膜(7)的介电常数以及密度低于压电体层(6)的介电常数以及密度。在俯视下，电介质膜(7)设置在与中央区域(C)重叠的部分，并且未设置在与第1区域(E1)及第2区域(E2)重叠的部分。

技术研发人员：大门克也
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14