弹性波装置的制作方法

本发明涉及具有含有钪的氮化铝膜的弹性波装置。

背景技术：

1、以往，已知一种使用了含有钪(sc)的氮化铝(aln)膜、即scaln膜作为压电膜的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1中，公开了一种使用了添加有钪的氮化铝膜的baw(bulk acoustic wave，体声波)装置。在baw装置中，在scaln膜的上表面以及下表面，设置有用于施加交流电场的电极。而且，在scaln膜的下方设置有空洞部。此外，在下述的专利文献2中也公开了一种具有同样构造的baw装置。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2009-010926号公报

5、专利文献2：美国us2015/0084719a1

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在使用了添加有sc的氮化铝膜的以往的弹性波装置中，若sc的浓度变高，则压电性提高。但是，若sc的浓度变高，则有时scaln膜翘曲或者产生剥落。因此，弹性波装置的特性有时劣化。此外，压电特性也有时劣化。

3、本发明的目的在于提供一种具有含有钪的氮化铝膜的弹性波装置，其中，不易产生膜的翘曲、剥落并且不易产生压电特性的劣化。

4、用于解决问题的手段

5、本发明是弹性波装置，具备：含有钪的氮化铝膜；以及电极，其设置在所述含有钪的氮化铝膜上，所述含有钪的氮化铝膜，在将进行椭圆近似而求出的短径侧设为粒径，并对进行了面积加权平均的粒径计算出平均粒径时，在柱状生长的相邻的晶粒与晶粒之间、或者在晶体取向不同的晶粒与晶粒之间，具有包括全部晶粒的所述平均粒径的1/2以下的微小粒子的微小粒子群，所述微小粒子群中的晶粒的个数为所述含有钪的氮化铝膜中的全体的晶粒的个数的50％以上。

6、发明效果

7、根据本发明，能够提供一种具有含有钪的氮化铝膜的弹性波装置，其中，不易产生膜的翘曲、剥落并且不易产生压电特性的劣化。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求2或3所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求6至8中任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求6至8中任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求10所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求13所述的弹性波装置，其中，

技术总结
提供一种具有含有钪的氮化铝膜的弹性波装置，其中，不易产生膜的翘曲、剥落且不易产生压电特性的劣化。弹性波装置(1)具备含有钪的氮化铝膜(ScAlN膜)(3)和设置在ScAlN膜(3)上的电极，ScA1N膜(3)在将进行椭圆近似而求出的短径侧设为粒径，并对进行了面积加权平均的粒径计算出平均粒径时，在柱状生长的相邻的晶粒(11)与晶粒(12)之间、或者在晶体取向不同的晶粒(11)与晶粒(12)之间，具有包括全部晶粒的平均粒径的1/2以下的微小粒子(13a、13b)的微小粒子群，微小粒子群中的晶粒的个数为ScAlN膜(3)中的全体的晶粒的个数的50％以上。

技术研发人员：中村健太郎,木村哲也
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15