弹性波装置的制作方法

本发明涉及具有在压电膜的下方设置有空洞部的构造的弹性波装置。

背景技术：

1、以往，己知在压电膜的下方设置有空洞部的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1中，在压电膜的上表面以及下表面设置有驱动电极。而且，在该压电膜的下方设置有空洞部。由此，构成了具有膜片构造的弹性波装置。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：国际公开第2011/052551号

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在具有在压电膜的下方设置有空洞部的膜片构造的弹性波装置中，有时产生由无用波的激励引起的特性的劣化。

3、本发明的目的在于，提供一种不易产生特性的劣化的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本发明涉及的弹性波装置具备包含支承基板的第1层、设置在所述第1层上并包含压电膜的第2层、和设置在所述第2层上的激励电极，在所述第1层与所述第2层之间设置有空洞部，在所述第1层和所述第2层的层叠方向上，所述激励电极的至少一部分与所述空洞部重叠，面向所述空洞部的所述第1层的主面的表面粗糙度与面向所述空洞部的所述第2层的主面的表面粗糙度不同。

6、发明效果

7、根据本发明，能够提供一种不易产生特性的劣化的弹性波装置。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求6或7所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1～8中任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1～8中任一项所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1～10中任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求1～11中任一项所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求1～12中任一项所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，

技术总结
本发明提供一种不易产生特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：第1层(11)，包含支承基板(2)；第2层(12)，设置在第1层(11)上，包含压电膜(3)；和激励电极(4)，设置在第2层(12)上，在第1层(11)与第2层(12)之间设置有空洞部(7)，在第1层(11)和第2层(12)的层叠方向上，激励电极(4)的至少一部分与空洞部(7)重叠，面向空洞部(7)的第1层(11)的主面(6a)的表面粗糙度与面向空洞部(7)的第2层(12)的主面(6b)的表面粗糙度不同。

技术研发人员：岸本谕卓,大村正志,铃木胜己,井上和则
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15