滤波器装置的制作方法

本发明涉及具有多个弹性波谐振器的滤波器装置。

背景技术：

1、以往，具有多个弹性波谐振器的滤波器装置被广泛用于便携电话机等。在下述的专利文献1中，公开了作为弹性波谐振器的mems(micro-electrical-mechanical system：微机电系统)波导器件的一例。在该弹性波谐振器中，在单晶压电层的两个主面分别设置有idt(interdigital transducer：叉指换能器)。此外，在单晶压电层的两个主面分别层叠有低速波传播层及单面波导封闭构造。各idt被埋入在低速波传播层中。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特表2018-506930号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、通过将idt设置于单晶压电层的两个主面，能够促进弹性波谐振器及滤波器装置的小型化。但是，在专利文献1所记载的弹性波谐振器中，在输入了电力时，在单晶压电层，在被两个idt夹着的部分施加应力。因此，在单晶压电层中，应力局部地集中。另外，在被两个idt夹着的部分，热蓄积，容易引起温度上升。起因于此，有时滤波器特性发生劣化。

3、本发明的目的在于，提供一种能够同时实现小型化的促进和滤波器特性的劣化抑制的滤波器装置。

4、用于解决问题的手段

5、本发明的滤波器装置具备：至少一个第一弹性波谐振器，其具有压电性基板、第一idt电极以及第二idt电极，该压电性基板包括具有相对置的第一主面及第二主面的压电体层，该第一idt电极设置于所述第一主面，该第二idt电极设置于所述第二主面，且与所述第一idt电极对置；以及至少一个第二弹性波谐振器，其具有压电性基板和第三idt电极，该压电性基板包括具有相对置的第三主面及第四主面的压电体层，该第三idt电极设置在所述第三主面及所述第四主面中的一方。

6、发明效果

7、根据本发明的滤波器装置，能够同时实现小型化的促进和滤波器特性的劣化抑制。

技术特征：

1.一种滤波器装置，包括多个弹性波谐振器，所述多个弹性波谐振器包括第一弹性波谐振器及第二弹性波谐振器，其中，

2.根据权利要求1所述的滤波器装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的滤波器装置，其中，

4.根据权利要求3所述的滤波器装置，其中，

5.根据权利要求3或4所述的滤波器装置，其中，

6.根据权利要求3所述的滤波器装置，其中，

7.根据权利要求3或6所述的滤波器装置，其中，

8.根据权利要求3至7中任一项所述的滤波器装置，其中，

9.根据权利要求3至7中任一项所述的滤波器装置，其中，

10.根据权利要求3至7中任一项所述的滤波器装置，其中，

11.根据权利要求3至7中任一项所述的滤波器装置，其中，

12.根据权利要求3至7中任一项所述的滤波器装置，其中，

13.根据权利要求3至7中任一项所述的滤波器装置，其中，

14.根据权利要求3至7中任一项所述的滤波器装置，其中，

15.根据权利要求3至7中任一项所述的滤波器装置，其中，

16.根据权利要求3至15中任一项所述的滤波器装置，其中，

17.根据权利要求3至16中任一项所述的滤波器装置，其中，

18.根据权利要求3至15中任一项所述的滤波器装置，其中，

19.根据权利要求3至15或18中任一项所述的滤波器装置，其中，

20.根据权利要求3至19中任一项所述的滤波器装置，其中，

21.根据权利要求3至20中任一项所述的滤波器装置，其中，

22.根据权利要求3至19或21中任一项所述的滤波器装置，其中，

23.根据权利要求3至20或22中任一项所述的滤波器装置，其中，

24.根据权利要求1至23中任一项所述的滤波器装置，其中，

25.根据权利要求1至24中任一项所述的滤波器装置，其中，

26.根据权利要求25所述的滤波器装置，其中，

27.根据权利要求1至26中任一项所述的滤波器装置，其中，

28.根据权利要求27所述的滤波器装置，其中，

29.根据权利要求28所述的滤波器装置，其中，

30.根据权利要求27至29中任一项所述的滤波器装置，其中，

31.根据权利要求30所述的滤波器装置，其中，

32.根据权利要求1至26中任一项所述的滤波器装置，其中，

33.根据权利要求1至26中任一项所述的滤波器装置，其中，

34.根据权利要求30至33中任一项所述的滤波器装置，其中，

35.根据权利要求1至26中任一项所述的滤波器装置，其中，

36.根据权利要求1至35中任一项所述的滤波器装置，其中，

37.根据权利要求1至36中任一项所述的滤波器装置，其中，

38.根据权利要求1至37中任一项所述的滤波器装置，其中，

技术总结
提供能够同时实现小型化的促进和滤波器特性的劣化抑制的滤波器装置。本发明的滤波器装置(1)具备：至少一个第一弹性波谐振器，其具有压电性基板(2)、第一IDT电极(7A)以及第二IDT电极(7B)，该压电性基板(2)包括具有相对置的第一主面(6a)及第二主面(6b)的压电体层(6)，该第一IDT电极(7A)设置于第一主面(6a)，该第二IDT电极(7B)设置于第二主面(6b)，且与第一IDT电极(7A)对置；以及至少一个第二弹性波谐振器，其具有压电性基板和第三IDT电极，该压电性基板包括具有相对置的第三主面及第四主面的压电体层，该第三IDT电极设置在第三主面及第四主面中的一方。

技术研发人员：冈田拓郎,岩本英树,中村健太郎
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/2/25