弹性波装置及其制造方法与流程

本发明涉及弹性波装置及其制造方法。

背景技术：

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携电话机的滤波器等。近年来，提出了下述的专利文献1所记载的那样的使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在支承体上设置有压电层。在压电层上设置有成对的电极。成对的电极在压电层上相互对置，并且与互不相同的电位连接。通过在上述电极之间施加交流电压，使厚度剪切模式的体波激励。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：美国专利第10491192号说明书

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1所记载的压电体波装置中，在支承体设置有贯通孔。在支承体上设置有压电层，使得覆盖贯通孔。因此，压电层具有被支承体支承的部分和未被支承体支承的部分。而且，应力容易集中在压电层中的被支承体支承的部分与未被支承体支承的部分的边界。因此，可能会以该边界为起点在压电层产生裂纹。

3、本发明的目的在于，提供一种在压电层难以产生裂纹的弹性波装置及其制造方法。

4、用于解决问题的手段

5、本发明的弹性波装置具备：支承构件，其包括支承基板；压电层，其设置在所述支承构件上；以及功能电极，其设置在所述压电层上，包括至少一对电极，在所述支承构件设置有空洞部，所述空洞部在俯视下与所述功能电极的至少一部分重叠，所述压电层包括在俯视下与所述空洞部重叠的膜片部以及被所述支承构件支承的被支承部，遍及所述压电层上的在俯视下与所述膜片部和所述被支承部的边界重叠的部分整体而设置有边界被覆电极。

6、本发明的弹性波装置的制造方法是制造按照本发明构成的弹性波装置的方法，其中，具备以下工序：层叠所述压电层及所述支承构件；在所述压电层上设置所述功能电极和所述边界被覆电极；以及在所述支承构件形成所述空洞部，使得在所述压电层侧开口，形成所述压电层的所述膜片部及所述被支承部，在形成所述空洞部的工序中，形成所述空洞部，使得所述空洞部在俯视时与所述功能电极的至少一部分重叠，并且，所述边界被覆电极遍及在俯视下与所述膜片部和所述被支承部的边界重叠的部分的整体而设置。

7、发明效果

8、根据本发明，能够提供在压电层难以产生裂纹的弹性波装置及其制造方法。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求3或4所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求5或6所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求2至8中任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求2至10中任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求1至11中任一项所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求1至12中任一项所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求1至13中任一项所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求14所述的弹性波装置，其中，

16.根据权利要求14所述的弹性波装置，其中，

17.根据权利要求16所述的弹性波装置，其中，

18.根据权利要求16或17所述的弹性波装置，其中，

19.根据权利要求15至18中任一项所述的弹性波装置，其中，

20.根据权利要求1至14中任一项所述的弹性波装置，其中，

21.一种弹性波装置的制造方法，是制造权利要求1至20中任一项所述的弹性波装置的方法，具备以下工序：

22.根据权利要求21所述的弹性波装置的制造方法，其中，

23.根据权利要求21或22所述的弹性波装置的制造方法，其中，

24.根据权利要求23所述的弹性波装置的制造方法，其中，

技术总结
提供在压电层难以产生裂纹的弹性波装置。本发明的弹性波装置(10)具备包括支承基板的支承构件、设置在支承构件上的压电层(14)以及设置在压电层(14)上且包括至少一对电极的功能电极(IDT电极(11))。在支承构件设置有空洞部。空洞部在俯视下与功能电极的至少一部分重叠。压电层(14)包括在俯视下与空洞部重叠的膜片部(14c)以及被支承构件支承的被支承部(14d)。遍及压电层(14)上的在俯视下与膜片部(14c)和被支承部(14d)的边界(E)重叠的部分整体而设置有边界被覆电极。

技术研发人员：井上和则,山根毅
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11