本发明涉及利用多个头拾取矩阵排列的元件并搭载于基板的元件搭载装置。
背景技术:
1、已知一种元件搭载装置,拾取例如像切割后的晶圆的裸芯片、收容于托盘的托盘元件那样矩阵排列的元件并安装于基板(例如专利文献1)。在该元件搭载装置中,反复进行如下动作:利用相机对搬入到机内的元件配置区域的元件进行拍摄而进行元件识别,接着利用能够进行xy移动的头单元所具备的多个头分别拾取元件,使头单元移动并且向基板搭载该元件。在将元件搭载于基板之前,前置对可否向基板的预先确定的搭载点搭载元件进行判定的检查工序。
2、以往,进行上述检查工序,在判别出上述搭载点中的不能搭载元件的不可搭载的搭载点的基础上,执行上述元件识别的工序。进一步地,在得到这些工序的结果之后,进行如下的拾取设定:确定在一次拾取动作中针对多个元件中的各个元件利用多个头中的哪一个进行拾取的分配和拾取的顺序。
3、在上述的现有技术中,在进行了搭载点的检查后,执行元件识别和拾取设定的工序。因此,产生等待执行检查工序的时间,存在使节拍时间恶化的情况。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1:日本特许第6709900号公报
技术实现思路
1、发明所要解决的课题
2、本发明的目的在于,在利用多个头拾取矩阵排列的元件并搭载于基板的元件搭载装置中,改善节拍时间。
3、本发明的一个方面所涉及的元件搭载装置具备:元件供给部,具有配置有矩阵排列的多个元件的元件配置区域;元件识别部,具有相机和处理部,所述相机在所述元件配置区域中对所述元件进行拍摄,所述处理部基于所述相机取得的图像,进行所述元件配置区域中的所述元件的位置识别;头单元,能够在供搭载所述元件的基板配置的元件搭载区域与所述元件配置区域之间移动,并具有在所述元件配置区域中拾取所述元件并在所述元件搭载区域中将所述元件搭载于所述基板的多个头;检查部,针对配置于所述元件搭载区域的所述基板,检查元件向预先确定的搭载点的搭载可否;第一控制部,控制所述元件识别部和所述检查部的动作;及第二控制部,执行如下的拾取设定的处理:确定针对所述多个元件中的各个元件使所述多个头中的哪一个来进行拾取的分配和所述多个头对所述多个元件的拾取顺序。所述第一控制部并行执行由所述元件识别部进行的所述元件的位置识别和由所述检查部进行的所述搭载可否的检查。所述第二控制部基于并行执行的所述元件的位置识别和所述搭载可否的检查的结果,执行所述拾取设定的处理。
1.一种元件搭载装置,具备:
2.根据权利要求1所述的元件搭载装置,其中,
3.根据权利要求2所述的元件搭载装置,其中,
4.根据权利要求2所述的元件搭载装置,其中,
5.根据权利要求4所述的元件搭载装置,其中,
6.根据权利要求4所述的元件搭载装置,其中,
7.根据权利要求4所述的元件搭载装置,其中,
8.根据权利要求1至7中任一项所述的元件搭载装置,其中,