超导电路的制备方法、系统、存储介质和电子装置与流程

本申请属于超导电路领域，尤其是超导量子计算，特别地，本申请涉及一种超导电路的制备方法、系统、存储介质和电子装置。

背景技术：

1、位于量子芯片上的量子比特是执行量子计算的基本单元，在量子比特周围存在多种不同功能的超导电路，例如主要由共面波导传输线路构建的驱动控制信号线、磁通调控信号线、读取信号线等。根据目前的制备工艺所制备的量子芯片常常出现共面波导传输线路意外断路的情况，并导致该超导电路整体出现断路而无法调控或读取量子比特等，这极大的影响了量子芯片的功能。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种超导电路的制备方法、系统、存储介质和电子装置，能够对量子芯片上超导电路的断路缺陷进行修复。

2、本申请的一个实施例提供了一种超导电路的制备方法，它包括：

3、提供衬底，所述衬底上形成有具有断路缺陷的超导电路；

4、确定所述断路缺陷所处的断路位置，并根据所述断路位置确定曝光版图；

5、形成掩膜于所述衬底，并根据所述曝光版图图形化所述掩膜；以及，

6、利用所述掩膜在所述断路位置镀膜获得去除所述断路缺陷的超导电路。

7、如上所述的制备方法，在一些实施方式中，所述确定所述断路缺陷所处的断路位置的步骤，包括：测试各所述超导电路，确定处于电学断路状态的为目标电路；以及，检查所述目标电路，确定所述目标电路的断路位置。

8、如上所述的制备方法，在一些实施方式中，所述测试各所述超导电路的步骤，包括：提供测试电路，所述测试电路包括探针；构建坐标系，确定各所述超导电路的端口的坐标值；以及，根据所述坐标值移动所述探针至目标端口并进行测试，且所述探针位于所述目标端口时，所述超导电路接入所述测试电路。

9、如上所述的制备方法，在一些实施方式中，所述根据所述断路位置确定曝光版图的步骤，包括：确定所述断路位置在所述坐标系的坐标值，并根据所述断路位置在所述坐标系的坐标值确定曝光版图。

10、如上所述的制备方法，在一些实施方式中，所述确定所述超导电路的断路位置的步骤，包括：提供标准图，所述标准图包括标准电路；获取所述衬底的照片，并进行灰度处理获得比对照片；在所述比对照片中确定与所述标准电路对应的所述超导电路；以及，按照所述标准电路扫描对应的所述超导电路并获取灰度值，将灰度值处于预设范围的位置识别为断路位置。

11、如上所述的制备方法，在一些实施方式中，所述标准图包括标准芯片的照片、标准芯片的设计图至少之一。

12、如上所述的制备方法，在一些实施方式中，所述照片包括光镜照片、电镜照片至少之一。

13、本申请的另一个实施例提供了一种超导电路的制备系统，它包括：

14、供样模块，用于提供衬底，所述衬底上形成有具有断路缺陷的超导电路；

15、确定模块，用于确定所述断路缺陷所处的断路位置，并根据所述断路位置确定曝光版图；

16、掩膜图形模块，用于形成掩膜于所述衬底，并根据所述曝光版图图形化所述掩膜；以及，

17、断路修复模块，用于利用所述掩膜在所述断路位置镀膜获得去除所述断路缺陷的超导电路。

18、本申请的第三个实施例提供了一种存储介质，所述存储介质中存储有计算机程序，其中，所述计算机程序被设置为运行时执行如上所述的方法。

19、本申请的第四个实施例提供了一种电子装置，包括存储器和处理器，所述存储器中存储有计算机程序，所述处理器被设置为运行所述计算机程序以执行如上所述的方法。

20、与现有技术相比，本申请提供的一种超导电路的制备方法，先提供衬底，在衬底上确定超导电路的断路位置，并根据所述断路位置确定曝光版图，然后形成掩膜于所述衬底，并根据所述曝光版图图形化所述掩膜，再利用所述掩膜在所述断路位置镀膜获得连通的超导电路，从而可以对量子芯片上超导电路的断路缺陷实现了修复。

技术特征：

1.一种超导电路的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述确定所述断路缺陷所处的断路位置的步骤，包括：

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述测试各所述超导电路的步骤，包括：

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述根据所述断路位置确定曝光版图的步骤，包括：确定所述断路位置在所述坐标系的坐标值，并根据所述断路位置在所述坐标系的坐标值确定曝光版图。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述确定所述超导电路的断路位置的步骤，包括：

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述标准图包括标准芯片的照片、标准芯片的设计图至少之一。

7.根据权利要求5所述的制备方法，所述照片包括光镜照片、电镜照片至少之一。

8.一种超导电路的制备系统，其特征在于，包括：

9.一种存储介质，其特征在于，所述存储介质中存储有计算机程序，其中，所述计算机程序被设置为运行时执行所述权利要求1至7任一项所述的方法。

10.一种电子装置，包括存储器和处理器，其特征在于，所述存储器中存储有计算机程序，所述处理器被设置为运行所述计算机程序以执行所述权利要求1至7任一项所述的方法。

技术总结
本申请公开了一种超导电路的制备方法、系统、存储介质和电子装置，属于超导电路技术领域。所述超导电路的制备方法，它包括：提供衬底，所述衬底上形成有具有断路缺陷的超导电路；确定所述断路缺陷所处的断路位置，并根据所述断路位置确定曝光版图；形成掩膜于所述衬底，并根据所述曝光版图图形化所述掩膜；以及，利用所述掩膜在所述断路位置镀膜获得连通的超导电路。与现有技术相比，本申请提供的技术方案能够实现量子芯片上超导电路的断路缺陷修复。

技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名,赵勇杰
受保护的技术使用者：本源量子计算科技（合肥）股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15