具有可变密度电极的堆叠式谐振器的制作方法

本公开大体上涉及一种声学谐振器，且更特定来说涉及一种具有可变密度电极的堆叠式谐振器。

背景技术：

1、谐振器(例如，声学谐振器)被用在包含但不限于射频(rf)通信应用的许多应用中。举例来说，谐振器通常用在传输及/或接收路径上的rf带通滤波器中。一类谐振器包含由压电材料形成的体声波谐振器，其响应于时变电子信号而提供声学振荡。举例来说，压电材料可响应于所施加电压而膨胀或收缩。此外，此类谐振器可展现声学谐振模式(例如，谐振频率、谐振等等)，当在例如但不限于滤波器的电子电路中实施时，可利用所述声学谐振模式来提供所期望性质。

2、越来越期望对谐振器中可激励的特定谐振模式及/或谐振器的q因子提供更好控制。然而，当前技术不太适合受益于例如但不限于堆叠式谐振器设计的平面化的工艺。因此，需要开发解决上述缺陷的系统及方法。

技术实现思路

1、根据本公开的一或多个说明性实施例，公开了一种谐振器。在一个说明性实施例中，所述谐振器包含两个或更多个电极。在另一说明性实施例中，所述谐振器包含一或多种压电材料，其中所述两个或更多个电极及所述一或多种压电材料分布在一方向上。在另一说明性实施例中，所述两个或更多个电极中的至少一者具有沿着所述方向的恒定厚度且包含具有不同密度的两个或更多个区域。在另一说明性实施例中，所述两个或更多个区域分布在法向于所述方向的平面中，并且所述两个或更多个区域具有沿着所述方向的所述恒定厚度。

2、根据本公开的一或多个说明性实施例，公开了一种电路。在一个说明性实施例中，所述电路包含一或多个谐振器。在另一说明性实施例中，所述一或多个谐振器中的至少一者包含两个或更多个电极及一或多种压电材料，其中所述两个或更多个电极及所述一或多种压电材料分布在一方向上。在另一说明性实施例中，所述两个或更多个电极中的至少一者具有沿着所述方向的恒定厚度且包含具有不同密度的两个或更多个区域。在另一说明性实施例中，所述两个或更多个区域分布在法向于所述方向的平面中，并且两个或更多个区域具有沿着所述方向的所述恒定厚度。

3、根据本公开的一或多个说明性实施例，公开了一种方法。在一个说明性实施例中，所述方法包含制作一或多种压电材料。在另一说明性实施例中，所述方法包含制作两个或更多个电极，其中所述两个或更多个电极及所述一或多种压电材料分布在一方向上。在另一说明性实施例中，所述方法包含将所述两个或更多个电极中的至少一者制作成具有沿着所述方向的恒定厚度以及具有不同密度的两个或更多个区域，其中所述两个或更多个区域分布在法向于所述方向的平面中。

4、应理解，前述一般描述及以下详细说明两者均仅为示范性及解释性的且未必限制如所主张的本发明。并入本说明书中并构成本说明书的一部分的附图图解说明本发明的实施例，并与所述一般描述一起解释了本发明的原理。

技术特征：

1.一种谐振器，其包括：

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中所述两个或更多个区域包括：

3.根据权利要求2所述的谐振器，其中所述第二区域在法向于所述方向的所述平面中的宽度是恒定的。

4.根据权利要求2所述的谐振器，其中所述两个或更多个区域进一步包括：

5.根据权利要求4所述的谐振器，其中所述第二密度低于所述第一密度，其中所述第三密度高于所述第一密度。

6.根据权利要求4所述的谐振器，其中所述第三区域在法向于所述方向的所述平面中的宽度是恒定的。

7.根据权利要求1所述的谐振器，其中所述两个或更多个电极包括第一电极、第二电极及第三电极，其中所述一或多种压电材料包括安置在所述第一电极与所述第二电极之间的第一压电材料以及安置在所述第二电极与所述第三电极之间的第二压电材料，其中所述第二电极安置在所述第一压电材料与所述第二压电材料之间。

8.根据权利要求7所述的谐振器，其中所述第二电极具有沿着所述方向的所述恒定厚度且包含具有不同密度的所述两个或更多个区域。

9.根据权利要求1所述的谐振器，其中所述两个或更多个区域中的至少一者形成为安置在两个或更多个层中的两种或更多种材料。

10.根据权利要求9所述的谐振器，其中所述两种或更多种材料包括：

11.一种电路，其包括：

12.根据权利要求11所述的电路，其中所述两个或更多个区域包括：

13.根据权利要求12所述的电路，其中所述两个或更多个区域进一步包括：

14.根据权利要求13所述的电路，其中所述第二密度低于所述第一密度，其中所述第三密度高于所述第一密度。

15.根据权利要求11所述的电路，其中所述两个或更多个电极包括第一电极、第二电极及第三电极，其中所述一或多种压电材料包括安置在所述第一电极与所述第二电极之间的第一压电材料以及安置在所述第二电极与所述第三电极之间的第二压电材料，其中所述第二电极安置在所述第一压电材料与所述第二压电材料之间。

16.根据权利要求15所述的电路，其中所述第二电极具有沿着所述方向的所述恒定厚度且包含具有不同密度的所述两个或更多个区域。

17.根据权利要求11所述的电路，其中所述两个或更多个区域中的至少一者形成为安置在两个或更多个层中的两种或更多种材料。

18.根据权利要求17所述的电路，其中所述两种或更多种材料包括：

19.一种方法，其包括：

20.根据权利要求19所述的方法，其中将所述两个或更多个电极中的至少一者制作成具有沿着所述方向的所述恒定厚度以及具有不同密度的两个或更多个区域包括：

技术总结
本公开涉及一种具有可变密度电极的堆叠式谐振器。一种谐振器可包含两个或更多个电极及一或多种压电材料，其中所述两个或更多个电极及所述一或多种压电材料分布在一方向上。此外，所述两个或更多个电极中的至少一者可具有沿着所述方向的恒定厚度且可包含具有不同密度的两个或更多个区域，其中所述两个或更多个区域分布在法向于所述方向的平面中，并且所述两个或更多个区域具有沿着所述方向的所述恒定厚度。

技术研发人员：保罗·布拉德利
受保护的技术使用者：安华高科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1