一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器与流程

本发明涉及半导体器件，更具体地说，涉及一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器。

背景技术：

1、在目前的声表面波产品设计中，由于声表面波(surface acoustics wave，简称saw)是一种能量集中在表面附近的弹性波，其也有多种模式，例如瑞利波、水平剪切波、漏波、兰姆波等等，因此对于可能最终影响产品性能的主声学模式之外的声表面波等可以统称为杂散模式或者横向模式，那么如何抑制这些杂散模式从而提高谐振器的性能，就是现今谐振器设计中的重中之重。

技术实现思路

1、有鉴于此，为解决上述问题，本发明提供一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器，技术方案如下：

2、一种声表面波谐振器，所述声表面波谐振器包括：

3、压电衬底；

4、位于所述压电衬底一侧的叉指电极；所述叉指电极包括汇流条，所述汇流条包括在第一方向上相对设置的第一汇流条和第二汇流条，以及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条上的电极指条，所述电极指条的长度延伸方向与所述第一方向平行，所述第一方向与所述汇流条的长度延伸方向垂直；

5、所述电极指条包括在所述第一方向上依次排布的第一子电极指条至第n子电极指条，n≥2，且n为正整数，所述第n子电极指条位于第n-1子电极指条远离该电极指条对应连接的汇流条的一端；

6、其中，所述第n子电极指条的侧壁角度小于其余任意一个子电极指条的侧壁角度。

7、优选的，在上述声表面波谐振器中，当n≥3时，所述第一子电极指条至所述第n-1子电极指条的侧壁角度互不相同。

8、优选的，在上述声表面波谐振器中，所述第一子电极指条至所述第n子电极指条分别为独立的子电极指条；

9、所述第一子电极指条至所述第n子电极指条依次电连接。

10、优选的，在上述声表面波谐振器中，所述第一子电极指条至所述第n子电极指条为一体结构。

11、优选的，在上述声表面波谐振器中，除所述第一子电极指条以外的其它子电极指条在所述第一方向上的总长度小于或等于2.5λ；

12、其中，λ表示声表面波谐振器的声表面波的波长。

13、优选的，在上述声表面波谐振器中，所述第n子电极指条具有第n侧壁角度θn，20°＜θn＜70°。

14、优选的，在上述声表面波谐振器中，所述第一子电极指条具有第一侧壁角度θ1，80°＜θ1＜90°。

15、优选的，在上述声表面波谐振器中，所述第n子电极指条包括端面，所述端面为所述第n子电极指条面向目标汇流条的表面，所述目标汇流条与所述第n子电极指条相对设置，且在所述第一方向上所述目标汇流条与所述第n子电极指条之间存在间隙区域；

16、所述端面与所述压电衬底所在平面之间的夹角为锐角。

17、优选的，在上述声表面波谐振器中，所述端面与所述压电衬底所在平面之间的夹角为15°-70°，不包括端点值。

18、本申请还提供了一种声表面波谐振器的制备方法，所述制备方法包括：

19、提供一压电衬底；

20、在所述压电衬底的一侧形成叉指电极；所述叉指电极包括汇流条，所述汇流条包括在第一方向上相对设置的第一汇流条和第二汇流条，以及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条上的电极指条，所述电极指条的长度延伸方向与所述第一方向平行，所述第一方向与所述汇流条的长度延伸方向垂直；所述电极指条包括在所述第一方向上依次排布的第一子电极指条至第n子电极指条，n≥2，且n为正整数，所述第n子电极指条位于第n-1子电极指条远离该电极指条对应连接的汇流条的一端；其中，所述第n子电极指条的侧壁角度小于其余任意一个子电极指条的侧壁角度。

21、本申请还提供了一种滤波器，所述滤波器包括上述任一项所述的声表面波谐振器。

22、相较于现有技术，本发明实现的有益效果为：

23、本发明提供的一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器，通过将声表面波谐振器中的叉指电极的电极指条设计成具有至少两种以上的侧壁角度，通过调节电极指条侧壁角度的大小，也可以进一步调整电极指条末端的端部角度的大小，来调节电极指条末端与间隙区域之间的声速差异，以此来抑制横向模式，进而提高声表面波谐振器的性能。

技术特征：

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，所述声表面波谐振器包括：

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，当n≥3时，所述第一子电极指条至所述第n-1子电极指条的侧壁角度互不相同。

3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一子电极指条至所述第n子电极指条分别为独立的子电极指条；

4.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一子电极指条至所述第n子电极指条为一体结构。

5.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，除所述第一子电极指条以外的其它子电极指条在所述第一方向上的总长度小于或等于2.5λ；

6.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第n子电极指条具有第n侧壁角度θn，20°＜θn＜70°。

7.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一子电极指条具有第一侧壁角度θ1，80°＜θ1＜90°。

8.根据权利要求1-7任一项所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第n子电极指条包括端面，所述端面为所述第n子电极指条面向目标汇流条的表面，所述目标汇流条与所述第n子电极指条相对设置，且在所述第一方向上所述目标汇流条与所述第n子电极指条之间存在间隙区域；

9.根据权利要求8所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述端面与所述压电衬底所在平面之间的夹角为15°-70°，不包括端点值。

10.一种声表面波谐振器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

11.一种滤波器，其特征在于，所述滤波器包括权利要求1-9任一项所述的声表面波谐振器。

技术总结
本发明提供了一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器，通过将声表面波谐振器中的叉指电极的电极指条设计成具有至少两种以上的侧壁角度，通过调节电极指条侧壁角度的大小，也可以进一步调整电极指条末端的端部角度的大小，来调节电极指条末端与间隙区域之间的声速差异，以此来抑制横向模式，进而提高声表面波谐振器的性能。

技术研发人员：高安明,姜伟
受保护的技术使用者：浙江星曜半导体有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16