一种高性能声波器件及其制备方法和滤波器、双工器与流程

本发明实施例涉及射频器件，尤其涉及一种高性能声波器件及其制备方法和滤波器、双工器。

背景技术：

1、射频器件是无线连接的核心，凡是需要无线连接的地方必备射频器件。射频器件是无线通讯设备的基础性零部件，在无线通讯中扮演着两个重要的角色，即在发射信号的过程中扮演着将二进制信号转换成高频率的无线电磁波信号；在接收信号的过程中将收到的电磁波信号转换成二进制数字信号。随着通信技术的发展，人们对射频器件的性能有了更严苛的要求，因此对构成射频滤波器及多工器的基本单元——射频谐振器也有了更高的要求。

2、滤波器/多工器由多个具有频率差的谐振器组成，该种器件一般使用高阻硅衬底配合空气隙或者声反射镜来反射谐振器工作区域的能量，但是存在的缺陷是对于谐振器的能量反射不充分，导致大量的声波泄露，造成品质因子较低的现象。

技术实现思路

1、本发明提供一种高性能声波器件及其制备方法和滤波器、双工器，实现了工作区域和非工作区域能量全反射，以减少能量损耗，实现高品质因子。

2、第一方面，本发明实施例提供了一种高性能声波器件，包括：

3、衬底；

4、至少一个谐振器和至少一组第一声反射结构，所述至少一个谐振器和所述至少一组第一声反射结构位于所述衬底的同一侧且在第一方向上交替层叠，所述第一方向垂直所述衬底所在平面；

5、所述至少一个谐振器包括至少两个电极，所述至少两个电极在所述第一方向上排布；所述至少两个电极在第一平面上的投影交叠区域形成工作区域，投影未交叠区域形成非工作区域；所述第一平面平行所述衬底所在平面；

6、所述第一声反射结构包括第一声反射单元和第二声反射单元，所述第一声反射单元在所述第一平面上的投影位于所述工作区域，所述第二声反射单元在所述第一平面上的投影位于所述非工作区域。

7、第二方面，本发明实施例还提供了一种高性能声波器件的制备方法，包括：

8、提供衬底；

9、在所述衬底的一侧形成至少一个谐振器和至少一组第一声反射结构，所述至少一个谐振器和所述至少一组第一声反射结构位于所述衬底的同一侧且在第一方向上交替层叠，所述第一方向垂直所述衬底所在平面；

10、所述至少一个谐振器包括至少两个电极，所述至少两个电极在所述第一方向上排布；所述至少两个电极在第一平面上的投影交叠区域形成工作区域，投影未交叠区域形成非工作区域；所述第一平面平行所述衬底所在平面；

11、所述第一声反射结构包括第一声反射单元和第二声反射单元，所述第一声反射单元在所述第一平面上的投影位于所述工作区域，所述第二声反射单元在所述第一平面上的投影位于所述非工作区域。

12、第三方面，本发明实施例还提供了一种滤波器或双工器，包括第一方面中任意一项所述的高性能声波器件。

13、本发明实施例提供的一种高性能声波器件及其制备方法和滤波器、双工器，高性能声波器件包括：衬底；至少一个谐振器和至少一组第一声反射结构，至少一个谐振器和至少一组第一声反射结构位于衬底的同一侧且在第一方向上交替层叠，第一方向垂直衬底所在平面；至少一个谐振器包括至少两个电极，至少两个电极在第一方向上排布；至少两个电极在第一平面上的投影交叠区域形成工作区域，投影未交叠区域形成非工作区域；第一平面平行衬底所在平面；第一声反射结构包括第一声反射单元和第二声反射单元，第一声反射单元在第一平面上的投影位于工作区域，第二声反射单元在第一平面上的投影位于非工作区域。该高性能声波器件通过第一声反射单元反射工作区域的能量，第二声反射单元反射非工作区域能量，实现了对工作区域和非工作区域能量进行全反射的目的，解决了谐振器非工作区域的声波泄露的问题，提高了谐振器储存的能量在系统总能量中的占比，提升了品质因子，进而提升了谐振器性能。

14、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种高性能声波器件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的高性能声波器件，其特征在于，所述高性能声波器件包括一个所述谐振器和一组所述第一声反射结构；

3.根据权利要求1所述的高性能声波器件，其特征在于，所述高性能声波器件包括至少两个所述谐振器和至少一个所述第一声反射结构；

4.根据权利要求3所述的高性能声波器件，其特征在于，相邻两个所述谐振器包括第一谐振器和第二谐振器；

5.根据权利要求4所述的高性能声波器件，其特征在于，所述第一子声反射单元和所述第二子声反射单元均为空气隙结构；

6.根据权利要求3所述的高性能声波器件，其特征在于，在所述第一方向上，所述衬底和与所述衬底相邻的所述谐振器之间还设置有一个所述第一声反射结构；或者，

7.根据权利要求6所述的高性能声波器件，其特征在于，所述高性能声波器件还包括所述第二声反射结构，所述第二声反射结构包括所述第三声反射单元；

8.一种高性能声波器件的制备方法，其特征在于，包括：

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述高性能声波器件包括一个所述谐振器和一组所述第一声反射结构；在所述第一方向上，所述第一声反射结构位于所述衬底和所述谐振器之间；

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述第一声反射单元为空气隙结构；所述第二声反射单元为声反射镜组；

11.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述高性能声波器件包括至少两个所述谐振器和至少一个所述第一声反射结构；在所述第一方向上，任意相邻的两个所述谐振器之间设置有一个所述第一声反射结构；

12.根据权利要求11所述的制备方法，其特征在于，相邻两个所述谐振器包括第一谐振器和第二谐振器；

13.根据权利要求12所述的制备方法，其特征在于，

14.根据权利要求10或13所述的制备方法，其特征在于，在采用刻蚀工艺，将所述初始声反射镜组中位于所述工作区域的部分去除，形成所述空气隙结构之后，还包括：

15.一种滤波器或双工器，其特征在于，包括如权利要求1-7中任意一项所述的高性能声波器件。

技术总结
本发明实施例公开了一种高性能声波器件及其制备方法和滤波器、双工器。该装置包括至少一个谐振器和至少一组第一声反射结构，至少一个谐振器和至少一组第一声反射结构位于衬底的同一侧且在第一方向上交替层叠，第一方向垂直衬底所在平面；至少一个谐振器包括至少两个电极，至少两个电极在第一方向上排布；依据电极投影情况分为工作区域和非工作区域；第一声反射结构中的第一声反射单元在第一平面上的投影位于工作区域，第二声反射单元在第一平面上的投影位于非工作区域。本发明实现了对工作区域和非工作区域能量进行全反射的目的，解决了谐振器非工作区域的声波泄露的问题，提升了品质因子，进而提升了谐振器性能。

技术研发人员：孙成亮,童欣,国世上,孙博文,赵坤丽,刘文娟
受保护的技术使用者：武汉敏声新技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11