一种音叉型压电振动片及振荡器

本申请涉及压电振动元件领域，尤其是涉及一种音叉型压电振动片及振荡器。

背景技术：

1、音叉型压电振动片具有良好的频率温度特性，被广泛应用为各种电子装置的频率基准源。然而，随着器件小型化，音叉型压电振动片由弯曲振动产生的温度差很难被消除，因此会造成q值的明显降低。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种音叉型压电振动片及振荡器，用以提高q值。

2、第一方面，本申请实施例提供一种音叉型压电振动片，包括基部和从所述基部一端延伸出的两个振动臂部，所述两个振动臂部对称设置，且对应位置的驱动电极极性相反；针对每个振动臂部：

3、所述振动臂部的第一主面设置有驱动槽，所述驱动槽的内壁设置有内壁驱动电极；

4、所述振动臂部的侧壁设置有侧壁驱动电极；

5、沿所述振动臂部的宽度方向，所述振动臂部的第二主面对应驱动槽的位置设置有至少一片平面驱动电极；

6、所述第一主面和所述第二主面为相对的两个面。

7、在一种可能的实施方式中，所述驱动槽为一个整体凹槽，所述驱动槽的深度占所述振动臂部的厚度不超过80％。

8、在一种可能的实施方式中，沿所述振动臂部的长度方向，所述驱动槽的底部设置有分隔梁，将所述驱动槽分隔为两个宽度相同的凹槽，所述驱动槽的深度占所述振动臂部的厚度不超过85％。

9、在一种可能的实施方式中，所述驱动槽的长度占所述振动臂部的长度的40％-70％，所述驱动槽的宽度占所述振动臂部的宽度的35％-65％。

10、在一种可能的实施方式中，所述平面驱动电极的长度与所述驱动槽的长度相同。

11、在一种可能的实施方式中，所述振动臂部的第二主面设置有三片平面驱动电极，所述三片平面驱动电极的极性交替变化；

12、所述振动臂部的侧壁驱动电极的极性，与所述振动臂部的第二主面的三片平面驱动电极中两侧的平面驱动电极的极性相同，与所述振动臂部的第一主面的驱动槽的内壁驱动电极的极性相反。

13、在一种可能的实施方式中，所述振动臂部的侧壁驱动电极、所述振动臂部的第二主面的三片平面驱动电极中两侧的平面驱动电极为非分段电极，所述振动臂部的第二主面的三片平面驱动电极中中间的平面驱动电极为矩形状电极。

14、在一种可能的实施方式中，所述振动臂部的第一主面还设置有小型槽，所述小型槽位于所述振动臂部靠近所述基部的根部，所述小型槽的深度与所述驱动槽的深度相同；

15、所述小型槽的内壁设置有内壁驱动电极，所述小型槽的内壁驱动电极的极性与所述驱动槽的内壁驱动电极的极性相同。

16、在一种可能的实施方式中，所述基部靠近所述振动臂部的位置设置有多个厚度上完全贯通的宽度缩略部，所述基部两侧的宽度缩略部对称设置；

17、所述基部每侧的宽度缩略部呈锯齿状平行排列，且间距相同。

18、第二方面，本申请实施例提供一种振荡器，包括第一方面所述的音叉型压电振动片。

19、采用本申请实施例提供的音叉型压电振动片，弯曲振动时，从压缩的面到伸长的面的热传递的距离变长，即热传导路径变长，可以减少热弹性阻尼带来的能量耗散，从而提高q值。

20、本申请的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请而了解。本申请的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

技术特征：

1.一种音叉型压电振动片，其特征在于，包括基部和从所述基部一端延伸出的两个振动臂部，所述两个振动臂部对称设置，且对应位置的驱动电极极性相反；针对每个振动臂部：

2.根据权利要求1所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述驱动槽为一个整体凹槽，所述驱动槽的深度占所述振动臂部的厚度不超过80％。

3.根据权利要求1所述的音叉型压电振动片，其特征在于，沿所述振动臂部的长度方向，所述驱动槽的底部设置有分隔梁，将所述驱动槽分隔为两个宽度相同的凹槽，所述驱动槽的深度占所述振动臂部的厚度不超过85％。

4.根据权利要求1所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述驱动槽的长度占所述振动臂部的长度的40％-70％，所述驱动槽的宽度占所述振动臂部的宽度的35％-65％。

5.根据权利要求1所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述平面驱动电极的长度与所述驱动槽的长度相同。

6.根据权利要求1所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述振动臂部的第二主面设置有三片平面驱动电极，所述三片平面驱动电极的极性交替变化；

7.根据权利要求6所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述振动臂部的侧壁驱动电极、所述振动臂部的第二主面的三片平面驱动电极中两侧的平面驱动电极为非分段电极，所述振动臂部的第二主面的三片平面驱动电极中中间的平面驱动电极为矩形状电极。

8.根据权利要求1-7任一所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述振动臂部的第一主面还设置有小型槽，所述小型槽位于所述振动臂部靠近所述基部的根部，所述小型槽的深度与所述驱动槽的深度相同；

9.根据权利要求1-7任一所述的音叉型压电振动片，其特征在于，所述基部靠近所述振动臂部的位置设置有多个厚度上完全贯通的宽度缩略部，所述基部两侧的宽度缩略部对称设置；

10.一种振荡器，其特征在于，包括如权利要求1-9任一所述的音叉型压电振动片。

技术总结
本申请实施例涉及一种音叉型压电振动片及振荡器，用以提高Q值。该音叉型压电振动片包括基部和从基部一端延伸出的两个振动臂部，两个振动臂部对称设置，且对应位置的驱动电极极性相反；针对每个振动臂部：振动臂部的第一主面设置有驱动槽，驱动槽的内壁设置有内壁驱动电极；振动臂部的侧壁设置有侧壁驱动电极；沿振动臂部的宽度方向，振动臂部的第二主面对应驱动槽的位置设置有至少一片平面驱动电极；第一主面和第二主面为相对的两个面。

技术研发人员：崔魏巍,李美倩,张立强,徐建民,李永斌,郝建军
受保护的技术使用者：天津大学
技术研发日：
技术公布日：2024/3/27