静电消除装置和摄像设备生产线的制作方法

本技术涉及粒子检测，特别涉及一种静电消除装置和摄像设备生产线。

背景技术：

1、随着芯片产业的迅速发展，市场对芯片的产能需求不断提高，其中，不仅包括对高产量的需求提高，还有对高质量的需求提高。现有技术中，芯片在加工的过程中经常需要通过离子风进行静电消除。然而，离子风的导气管在长期使用后容易氧化并产生污染颗粒。此外，离子风发生组件内部清洁不彻底也会导致颗粒污染，从而造成离子风也携带颗粒。在进行静电消除时，携带颗粒的离子风吹向芯片容易直接使芯片附着颗粒物，进而影响芯片的生产质量，甚至损伤芯片。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种能够监控离子风是否发生颗粒污染的静电消除装置和摄像设备生产线。

2、根据本实用新型的第一方面，提供一种静电消除装置，包括平台、离子风发生组件和检测组件，所述平台用于放置产品；所述离子风发生组件设有进气口、放电针和出气口，所述进气口与所述出气口相互连通，所述放电针用于电离来自所述进气口的空气并形成离子风，所述出气口用于将离子风导向所述平台；所述检测组件包括相互连接的收集管和检测器，所述收集管设于所述出气口上方，所述检测器用于检测所述收集管中的离子风。

3、根据本实用新型实施例的一种静电消除装置，至少具有如下有益效果：

4、本实用新型实施例通过设置检测组件，将收集管设于离子风发生组件的出气口的上方，收集出气口吹出的离子风，并通过检测器对收集的离子风进行检测，从而可以有效监控离子风发生组件吹出的离子风是否发生了颗粒污染，降低了被颗粒污染的离子风吹向产品而影响产品质量的可能性，不仅可以提高生产良率及自动化生产效率，还可以降低因产品损伤而造成的经济损失。

5、根据本实用新型的一些实施例，所述离子风发生组件设于所述平台上方，所述离子风发生组件包括相互连接的本体和出气管，所述放电针连接于所述本体，所述进气口设于所述本体，所述出气口设于所述出气管，所述出气管朝所述平台弯曲设置，以使所述出气口朝向所述平台。

6、根据本实用新型的一些实施例，所述静电消除装置包括沿所述平台的高度方向延伸的基板，所述检测组件包括固定件，所述检测器连接于所述固定件，所述基板一端连接所述本体，另一端连接所述固定件。

7、根据本实用新型的一些实施例，所述收集管一端连接于所述检测器的下端面，另一端朝所述平台延伸，所述收集管与所述出气口在水平方向间隔设置。

8、根据本实用新型的一些实施例，所述离子风发生组件包括滤芯，所述滤芯设于所述本体与所述出气管之间。

9、根据本实用新型的一些实施例，所述静电消除装置包括真空泵，所述真空泵连接于所述离子风发生组件，以抽吸空气至所述进气口。

10、根据本实用新型的一些实施例，所述本体设有用于启停所述离子风发生组件的开关组件与用于为所述离子风发生组件供电的电源组件。

11、根据本实用新型的一些实施例，所述开关组件包括显示灯，所述显示灯能够在所述离子风发生组件启动时开启。

12、根据本实用新型的一些实施例，所述检测组件包括用于展示检测结果的显示器，所述显示器设于所述检测器的周壁。

13、根据本实用新型的第二方面，提供一种摄像设备生产线，包括本实用新型第一方面公开的静电消除装置。

14、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种静电消除装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的静电消除装置，其特征在于，所述离子风发生组件设于所述平台上方，所述离子风发生组件包括相互连接的本体和出气管，所述放电针连接于所述本体，所述进气口设于所述本体，所述出气口设于所述出气管，所述出气管朝所述平台弯曲设置，以使所述出气口朝向所述平台。

3.根据权利要求2所述的静电消除装置，其特征在于，所述静电消除装置包括沿所述平台的高度方向延伸的基板，所述检测组件包括固定件，所述检测器连接于所述固定件，所述基板一端连接所述本体，另一端连接所述固定件。

4.根据权利要求1所述的静电消除装置，其特征在于，所述收集管一端连接于所述检测器的下端面，另一端朝所述平台延伸，所述收集管与所述出气口在水平方向间隔设置。

5.根据权利要求2所述的静电消除装置，其特征在于，所述离子风发生组件包括滤芯，所述滤芯设于所述本体与所述出气管之间。

6.根据权利要求2所述的静电消除装置，其特征在于，所述静电消除装置包括真空泵，所述真空泵连接于所述离子风发生组件，以抽吸空气至所述进气口。

7.根据权利要求2所述的静电消除装置，其特征在于，所述本体设有用于启停所述离子风发生组件的开关组件与用于为所述离子风发生组件供电的电源组件。

8.根据权利要求7所述的静电消除装置，其特征在于，所述开关组件包括显示灯，所述显示灯能够在所述离子风发生组件启动时开启。

9.根据权利要求1所述的静电消除装置，其特征在于，所述检测组件包括用于展示检测结果的显示器，所述显示器设于所述检测器的周壁。

10.一种摄像设备生产线，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项的所述静电消除装置。

技术总结
本技术具体公开了一种静电消除装置和摄像设备生产线，静电消除装置，包括平台、离子风发生组件和检测组件，平台用于放置产品；离子风发生组件设有进气口、放电针和出气口，进气口与出气口相互连通，放电针用于电离来自进气口的空气并形成离子风，出气口用于将离子风导向平台；检测组件包括相互连接的收集管和检测器，收集管设于出气口上方，检测器用于检测收集管中的离子风。本技术可以有效监控离子风发生组件吹出的离子风是否发生了颗粒污染，降低了被颗粒污染的离子风吹向产品而影响产品质量的可能性，不仅可以提高生产良率及自动化生产效率，还可以降低因产品损伤而造成的经济损失。

技术研发人员：秦广宇,邱小清,陈龙云,李健城
受保护的技术使用者：东莞高伟光学电子有限公司
技术研发日：20230213
技术公布日：2024/1/13