一种红外线鳍式加热系统的制作方法

文档序号:36189708发布日期:2023-11-29 22:53阅读:27来源:国知局
一种红外线鳍式加热系统的制作方法

本技术涉及加热系统领域,具体是指一种红外线鳍式加热系统。


背景技术:

1、烤箱设计的许多进步提高了设备和气流的可靠稳定性,使得半导体的制造性能更加先进,其中一个显著改进的领域是快速加热性能。传统的设计使用电阻加热盘管将电能转化为高温热量,然后通过风扇使热气在整个设备中流动。然而这其中有一些因素需要考虑并折中。使用高速气流是传热效率最高的一种方法,但在很大程度上传热效率也取决于加热器的表面积大小。比如使用有大量电阻的加热线圈时,随着加热器表面积的增加,空气流动阻力增加,风机就必须产生更高的压力;然而将风扇运转到较高的压力通常又会降低空气流量;低空气流量最终会降低热传递效率。所以必须在空气流量、加热器表面积和风扇功率之间取得一个平衡。

2、传统的设计倾向于采用低风量的方法,以增加空气在加热器中的停留时间,并减少风机的电力负荷。在空气流量较低的情况下,加热盘管不能将大量的热量传递到空气中,因此会自然而然地联想到应该增加加热盘管的数量。然而许多制造商决定减少加热线圈的尺寸和数量,以适配较低的空气流量从而节省一些成本。与优化过后的加热系统相比,客户所使用的烤箱烘烤速度较慢,且能效较低。这导致他们使用的烤箱的过程将浪费更多的时间和能量。


技术实现思路

1、为解决上述技术问题,本实用新型提供的技术方案为:一种红外线鳍式加热系统,包括加热器,所述加热器两侧分别设置热量分布结构,所述加热器为多个间隔排列的m型加热器,所述热量分布结构为铝制材料,所述热量分布结构及加热器表面覆涂有高辐射发射率材料涂层。

2、进一步地,所述热量分布结构包括由上至下间隔设置的长条型铝条板,所述长条型铝条板之间通过铝折板连接,所述热量分布结构底部设置支撑杆架。

3、进一步地,所述热量分布结构包括多组横向铝条板、竖向铝条板组成的十字网格板。

4、进一步地,所述热量分布结构包括铝条板框架以及设置于铝条板框架内的铝条蜂窝网格板。

5、进一步地,所述高辐射发射率材料涂层包括碳基涂层、碳化硅涂层。

6、进一步地,所述高辐射发射率材料涂层为多孔结构涂层。

7、本实用新型与现有技术相比的优点在于:1、本实用新型使用铝条板可以产生适当的湍流,增加气体与加热源(包括加热器与铝条)的接触,加大热量的传递,将热量分布在整个的加热器空间中。

8、2、本实用新型在铝条表面涂/镀具有高发射率的材料,或制成黑体表面,能够改善辐射传热效果。

9、3、本实用新型涂/镀层在材料表面的多孔结构可以进一步增加表面积以增强对流传热。

10、4、与传统设计相比,本实用新型薄而扁平的铝条之间的宽敞空间和更少的加热线圈减少了空气阻力。

11、5、当烤箱温度低于250℃时,铝相比其他材料能以有限的体积更快地吸收和放出热量,因此推荐使用铝作为翅片和网格的材料。在更高的温度区间下,可以考虑使用其他材料以达到相似的效果。



技术特征:

1.一种红外线鳍式加热系统,其特征在于,包括加热器,所述加热器两侧分别设置热量分布结构,所述加热器为多个间隔排列的m型加热器,所述热量分布结构为铝制材料,所述热量分布结构及加热器表面覆涂有高辐射发射率材料涂层。

2.根据权利要求1所述的一种红外线鳍式加热系统,其特征在于,所述热量分布结构包括由上至下间隔设置的长条型铝条板,所述长条型铝条板之间通过铝折板连接,所述热量分布结构底部设置支撑杆架。

3.根据权利要求1所述的一种红外线鳍式加热系统,其特征在于,所述热量分布结构包括多组横向铝条板、竖向铝条板组成的十字网格板。

4.根据权利要求1所述的一种红外线鳍式加热系统,其特征在于,所述热量分布结构包括铝条板框架以及设置于铝条板框架内的铝条蜂窝网格板。

5.根据权利要求1所述的一种红外线鳍式加热系统,其特征在于,所述高辐射发射率材料涂层包括碳基涂层、碳化硅涂层或黑体表面。

6.根据权利要求1所述的一种红外线鳍式加热系统,其特征在于,所述高辐射发射率材料涂层为多孔结构涂层。


技术总结
本技术公开了一种红外线鳍式加热系统,包括加热器,所述加热器两侧分别设置热量分布结构,所述加热器为多个间隔排列的M型加热器,所述热量分布结构为铝制材料,所述热量分布结构及加热器表面覆涂有高辐射发射率材料涂层,技术使用铝条板可以产生适当的湍流,增加气体与加热源(包括加热器与铝条)的接触,加大热量的传递,将热量分布在整个的加热器空间中;在铝条表面涂/镀具有高发射率的材料,或制成黑体表面,能够改善辐射传热效果。

技术研发人员:沈皓光,袁正一,张汝京,周华,李晋湘
受保护的技术使用者:昇瑞光电科技(上海)有限公司
技术研发日:20230323
技术公布日:2024/1/15
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