一种远程等离子发生器的腔体结构的制作方法

本技术涉及等离子发生器，特别涉及一种远程等离子发生器的腔体结构。

背景技术：

1、在目前的半导体生产领域，远程等离子发生器利用等离子源在反应区之外合成等离子体，在气流、电场、磁场等作用下将等离子体引入反应区，常用于表面改性、腔室清洗、薄膜蚀刻以及等离子辅助沉积，具体是由腔室、进气口、出气口、磁芯、点火口组成的一个远程等离子源解离腔体。远程等离子发生器，其功能是用于泛半导体设备工艺腔体原子级别的清洁，使用含氟的化合物当做氟的原材料气体进入腔室内，并在交变电场和磁场的作用下，原材料气体将会被解离，并释放出氟自由基，活性离子f-进入工艺室内与工艺室内的污染材料，如氧化硅、氮化硅等发生反应，并将生成的气化新物质由真空泵抽出工艺室，从而保证工艺室的清洁。

2、现有的远程等离子发生器的解离腔体均依靠外部冷却模块冷却，而外部散热易出现散热不均匀、散热效率不高、散热不足的问题，使腔体和磁芯组件出现过热的情况，严重降低了腔体及密封件的使用寿命，同时降低了生产效率。

技术实现思路

1、本申请通过提供一种远程等离子发生器的腔体结构，解决了现有技术中散热效率不高、散热不足的问题，提高了换热效率及生产效率。

2、本申请实施例提供了一种远程等离子发生器的腔体结构，包括：

3、一进气口，所述进气口上方还设置有进气口座；

4、一进气端长腔体，上端与所述进气口下端连接；

5、两短腔体，上端分别通过陶瓷环与所述进气端长腔体连接；

6、一出气端长腔体，上端分别通过所述陶瓷环与两所述短腔体的下端连接；

7、一出气口，上端与所述出气端长腔体连接；

8、其中，所述进气口、进气端长腔体、短腔体、出气端长腔体、出气口组合成完整腔体，所述完整腔体内部分别开设有气腔和冷却水道。

9、上述实施例的有益效果在于：两短腔体的外周用以安装磁芯变压器，气腔为电离气体流经通道，该腔体结构的气体循环通道和冷却水道都在腔体上，冷却水道分布在气腔的外侧，热传导效率更高，从而延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率，同时外部可附加其他冷却装置进一步提高散热效率。

10、在上述实施例基础上，本申请可进一步改进，具体如下：

11、本申请其中一个实施例中，还包括两连接件，两所述连接件上端分别连接于所述进气端长腔体的两侧壁，下端分别连接于所述出气端长腔体的两侧壁。通过连接件紧固连接进气端长腔体和出气端长腔体，确保结构稳定性。

12、在本申请其中一个实施例中，所述气腔包括位于所述进气口的第一气腔段、位于所述进气端长腔体的第二气腔段、位于所述短腔体的第三气腔段、位于所述出气端长腔体的第四气腔段、位于所述出气口的第五气腔段，所述第一至第五气腔段依次连通，所述第一气腔段还与所述进气口座的进气端口连通。

13、在本申请其中一个实施例中，所述冷却水道包括位于所述进气口的第一水道段、位于所述进气端长腔体的第二水道段、位于所述短腔体的第三水道段、位于所述出气端长腔体的第四水道段、位于所述出气口的第五水道段，所述第一至第五水道段依次连通，其中，所述第一水道段连通有出水口，所述第五水道段连通有进水口。出气口电离过程中温度最高，冷却水优先从出气口腔体进去，气体整体上从上至下经过腔体，冷却水从下至上经过腔体，提高换热效率。

14、在本申请其中一个实施例中，所述冷却水道设置有两个，分别设置于所述气腔的两侧。两侧冷却水道同步换热，进一步提高换热效率。

15、在本申请其中一个实施例中，所述第一、第五水道段均设置有两条相互连通的横向平行段；所述第二、第三、第四水道段均设置有两道，同一侧的所述第二、第三、第四水道段相互连通，所述第三水道段设置有两条竖向平行段。冷却水道分散于腔体侧壁，扩大换热面积，提高换热效率。

16、本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

17、1.该腔体结构的气体循环通道和冷却水道都在腔体上，冷却水道分布在气腔的外侧，热传导效率更高，从而提升了生产效率和使用寿命；

18、2.冷却水道分散于腔体侧壁，扩大换热面积，提高换热效率。

技术特征：

1.一种远程等离子发生器的腔体结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的腔体结构，其特征在于：还包括两连接件，两所述连接件上端分别连接于所述进气端长腔体的两侧壁，下端分别连接于所述出气端长腔体的两侧壁。

3.根据权利要求1所述的腔体结构，其特征在于：所述气腔包括位于所述进气口的第一气腔段、位于所述进气端长腔体的第二气腔段、位于所述短腔体的第三气腔段、位于所述出气端长腔体的第四气腔段、位于所述出气口的第五气腔段，所述第一至第五气腔段依次连通，所述第一气腔段还与所述进气口座的进气端口连通。

4.根据权利要求3所述的腔体结构，其特征在于：所述冷却水道包括位于所述进气口的第一水道段、位于所述进气端长腔体的第二水道段、位于所述短腔体的第三水道段、位于所述出气端长腔体的第四水道段、位于所述出气口的第五水道段，所述第一至第五水道段依次连通，其中，所述第一水道段连通有出水口，所述第五水道段连通有进水口。

5.根据权利要求4所述的腔体结构，其特征在于：所述冷却水道设置有两个，分别设置于所述气腔的两侧。

6.根据权利要求4所述的腔体结构，其特征在于：所述第一、第五水道段均设置有两条相互连通的横向平行段；所述第二、第三、第四水道段均设置有两道，同一侧的所述第二、第三、第四水道段相互连通，所述第三水道段设置有两条竖向平行段。

技术总结
本技术公开了等离子发生器技术领域内的一种远程等离子发生器的腔体结构，包括：一进气口，进气口上方还设置有进气口座；一进气端长腔体，上端与进气口下端连接；两短腔体，上端分别与进气端长腔体连接；一出气端长腔体，上端分别与两短腔体的下端连接；一出气口，上端与出气端长腔体连接；其中，进气口、进气端长腔体、短腔体、出气端长腔体、出气口组合成完整腔体，完整腔体内部分别开设有气腔和冷却水道。该腔体结构的气体循环通道和冷却水道都在腔体上，冷却水道分布在气腔的外侧，热传导效率更高，从而延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。

技术研发人员：朱培文,朱国俊,潘小刚,潜世军
受保护的技术使用者：江苏神州半导体科技有限公司
技术研发日：20230419
技术公布日：2024/1/14