脉冲调整电路、信号发生器及半导体器件测试设备的制作方法

本申请涉及脉冲，具体而言，涉及一种脉冲调整电路、信号发生器及半导体器件测试设备。

背景技术：

1、脉冲技术是脉冲信号产生和波形变换的技术，脉冲信号是指在某一时间内有突变的电压或电流。随着元器件及工艺水平的发展，脉冲技术已广泛应用于电子计算机、通信、雷达、电视、自动控制、遥测遥控、无线电导航和测量技术等领域，成为各种电子系统中的重要组成部分。

2、脉冲幅度及脉冲上升沿是脉冲信号的重要参数，可用于控制控制后级半导体器件开启的速度。脉冲幅度是指脉冲波从低电平到高电平之间的数值，脉冲上升沿是指脉冲波从低电平到高电平的过程。目前，一些测试电路需要脉冲上升沿斜率可调及脉冲幅值可调的脉冲信号，然而，现有的脉冲产生装置无法满足脉冲上升沿斜率可调的要求，且产生的脉冲幅值最大为10v且不可调。

技术实现思路

1、为了至少克服现有技术中的上述不足，本申请的目的在于提供一种脉冲调整电路、信号发生器及半导体器件测试设备。

2、第一方面，本申请实施例提供一种脉冲调整电路，所述脉冲调整电路包括：脉冲信号输入端、斜率调整电路、直流电源输入端及信号输出端；

3、所述脉冲信号输入端与所述斜率调整电路连接，所述脉冲信号输入端用于接收脉冲信号并传递至所述斜率调整电路；

4、所述直流电源输入端与所述斜率调整电路连接，用于为所述斜率调整电路提供电能；

5、所述斜率调整电路包括第一开关器件、第二开关器件、充放电电路及第三开关器件；

6、所述第一开关器件和所述第二开关器件用于根据所述脉冲信号控制通过所述直流电源输入端对所述充放电电路充电或通过所述充放电电路对所述第三开关器件的控制端放电；所述第三开关器件用于将前级输入端脉冲信号的前沿变为具有一定斜率前沿的信号输出。

7、在一种可能的实现方式中，所述充放电电路包括电容及可变电阻器，所述可变电阻器用于调整所述电容的放电时间。

8、在一种可能的实现方式中，所述充放电电路还包括第一电阻，所述第一电阻与所述可变电阻器串联，所述第一电阻用于限流保护。

9、在一种可能的实现方式中，所述直流电源输入端依次经第二电阻、所述第一开关器件接地，所述第一开关器件的控制端与所述脉冲信号输入端连接；所述直流电源输入端依次经二极管、所述可变电阻器、所述第一电阻、所述第二开关器件接地，所述第二开关器件的控制端连接于所述第二电阻与所述第一开关器件之间；所述直流电源输入端依次经所述第三开关器件、第三电阻接地，所述第三开关器件的控制端连接于所述第一电阻与所述第二开关器件之间；所述电容的第一端连接于所述二极管和所述可变电阻器之间，所述电容的第二端连接于所述第三开关器件和所述第三电阻之间；所述信号输出端引出于所述第三开关器件与所述第三电阻之间。

10、在一种可能的实现方式中，所述可变电阻器与所述第一电阻的阻值之和大于所述第三电阻的阻值。

11、在一种可能的实现方式中，所述第一开关器件、所述第二开关器件及所述第三开关器件为绝缘栅型场效应管。

12、在一种可能的实现方式中，所述脉冲调整电路包括直流可调电源，所述直流可调电源与所述直流电源输入端连接。

13、在一种可能的实现方式中，所述脉冲调整电路包括可调脉冲频率的方波信号源，所述方波信号源与所述脉冲信号输入端连接。

14、第二方面，本申请实施例还提供一种信号发生器，包括如第一方面所述的脉冲调整电路。

15、第三方面，本申请实施例还提供一种半导体器件测试设备，包括如第二方面所述的信号发生器。

16、基于上述任意一个方面，本申请实施例提供的一种脉冲调整电路、信号发生器及半导体器件测试设备，能够通过斜率调整电路的作用，改变输出脉冲上升沿的斜率，可用于控制后级半导体器件开启速度，满足不同测试设备的需求。

17、另外，通过改变连接至直流电源输入端的电压还可以改变输出脉冲的幅值。

技术特征：

1.一种脉冲调整电路，其特征在于，所述脉冲调整电路包括脉冲信号输入端、斜率调整电路、直流电源输入端及信号输出端；

2.根据权利要求1所述的脉冲调整电路，其特征在于，所述充放电电路包括电容及可变电阻器，所述可变电阻器用于调整所述电容的放电时间。

3.根据权利要求2所述的脉冲调整电路，其特征在于，所述充放电电路还包括第一电阻，所述第一电阻与所述可变电阻器串联，所述第一电阻用于限流保护。

4.根据权利要求3所述的脉冲调整电路，其特征在于，所述直流电源输入端依次经第二电阻、所述第一开关器件接地，所述第一开关器件的控制端与所述脉冲信号输入端连接；所述直流电源输入端依次经二极管、所述可变电阻器、所述第一电阻、所述第二开关器件接地，所述第二开关器件的控制端连接于所述第二电阻与所述第一开关器件之间；所述直流电源输入端依次经所述第三开关器件、第三电阻接地，所述第三开关器件的控制端连接于所述第一电阻与所述第二开关器件之间；所述电容的第一端连接于所述二极管和所述可变电阻器之间，所述电容的第二端连接于所述第三开关器件和所述第三电阻之间；所述信号输出端引出于所述第三开关器件与所述第三电阻之间。

5.根据权利要求4所述的脉冲调整电路，其特征在于，所述可变电阻器与所述第一电阻的阻值之和大于所述第三电阻的阻值。

6.根据权利要求1所述的脉冲调整电路，其特征在于，所述第一开关器件、所述第二开关器件及所述第三开关器件为绝缘栅型场效应管。

7.根据权利要求1所述的脉冲调整电路，其特征在于，所述脉冲调整电路包括直流可调电源，所述直流可调电源与所述直流电源输入端连接。

8.根据权利要求1所述的脉冲调整电路，其特征在于，所述脉冲调整电路包括可调脉冲频率的方波信号源，所述方波信号源与所述脉冲信号输入端连接。

9.一种信号发生器，其特征在于，包括权利要求1-8任意一项所述的脉冲调整电路。

10.一种半导体器件测试设备，其特征在于，包括权利要求9所述的信号发生器。

技术总结
本申请提供一种脉冲调整电路、信号发生器及半导体器件测试设备，涉及脉冲技术领域。脉冲调整电路包括脉冲信号输入端、斜率调整电路、直流电源输入端及信号输出端。脉冲信号输入端与所述斜率调整电路连接。直流电源输入端与斜率调整电路连接。斜率调整电路包括第一开关器件、第二开关器件、充放电电路及第三开关器件。第一开关器件和第二开关器件用于根据脉冲信号控制通过充放电电路的充电或放电；第三开关器件用于将前级输入端脉冲信号的前沿变为具有一定斜率前沿的输出信号。在上述结构中，可通过调整斜率调整电路的内部参数，改变输出脉冲上升沿的斜率，同时，可通过改变直流输入端的电压，改变输出脉冲的幅值，从而得到要求的脉冲波形。

技术研发人员：姜兰举,姜雯芯
受保护的技术使用者：吉林华微电子股份有限公司
技术研发日：20230427
技术公布日：2024/1/14