一种微光显微镜的制作方法

本技术涉及微光显微镜，具体为一种微光显微镜。

背景技术：

1、随着集成电路设计线宽向亚纳米级的方向发展，各个单元和互连线不断细化，促使器件内部电路纵横交错，容易发生故障，工程师通过微光显微镜可对缺陷进行根源性检测。

2、微光显微镜是一种利用高增益相机或探测器检测某些半导体器件由于缺陷或失效而发出的微量光子的设备。将器件固定在微光显微镜的检测台上后，对器件施加适当电压，其失效点会因为加速载流子散射或电子－空穴对的复合而释放特定波长的光子，这些光子经过收集和图像处理后，就可以得到一张信号图，实现缺陷定位；

3、而在对器件进行施加电压时，器件由于电流负荷导致升温，在长时间工作下，温度不断聚集，若不进行主动散热，将使微光显微镜内部温度不断升高，影响微光显微镜的正常运行，并且利用激光束在恒定电压下的器件表面进行扫描，引起金属线电阻以及电流变化，通过变化区域与激光束扫描位置的对应，定位缺陷位置，然而激光束部分能量将转化为热能，当金属互联线存在缺陷，缺陷处温度将无法迅速通过金属线传导散开，这将导致缺陷处温度累计升高。

4、因此我们提出了一种微光显微镜，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、 1.实用新型要解决的技术问题

2、本实用新型的目的在于提供一种微光显微镜，以解决上述背景技术提出的目前市场上现有的微光显微镜在进行缺陷定位时，容易出现高温情况而影响正常运行的问题。

3、 2.技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种微光显微镜，包括微光显微镜本体，所述微光显微镜本体的内部嵌入安装有检测平台，且检测平台的上端中部安装有调控箱体，并且所述调控箱体的上端安装有可对器件进行固定的限位组件，而且所述调控箱体的左右两侧分别开设有出风口和进风口；

5、第一流室和第二流室，其均安装于所述调控箱体的内部，且第二流室位于所述第一流室的上方，并且所述第一流室的右侧内部安装有风机，而且风机转轴的端部连接有转杆，所述第二流室的内部固定有导风板；

6、循环水箱，固定于所述调控箱体的后侧内部，且循环水箱的左右两侧分别与冷却管的两端连接，并且冷却管呈“s”状贴合安装于所述调控箱体的上端内壁，而且所述循环水箱的中部固定安装有中控室，同时循环水箱的内部嵌入安装有制冷组件。

7、进一步的，所述第一流室和第二流室互通，且第二流室的上端等间距开设有导风口，并且第二流室通过导风口与冷却管所在空间相互连通。

8、通过上述技术方案，使得风可以从第一流室进入第二流室中，随后通过导风口向冷却管吹去。

9、进一步的，所述导风板在第二流室为等间距交错分布，且导风板的上下两端均与所述第二流室的内壁贴合。

10、通过上述技术方案，使得风可以均匀向冷却管吹动，提高降温均匀性。

11、进一步的，所述转杆的外侧固定套设有往复丝杆，且往复丝杆的外侧螺纹安装有活动杆，并且所述活动杆与所述第一流室的内壁相互贴合。

12、通过上述技术方案，使得风机启动后，可以利用转杆带动往复丝杆进行转动，从而带动活动杆进行位移。

13、进一步的，所述中控室的内部滑动安装有t形活塞板，且t形活塞板的上端内部开设有滑槽，并且所述滑槽的内部贴合设置有滑杆，而且所述滑杆安装于所述活动杆的侧部。

14、通过上述技术方案，使得活动杆移动后，可以带动滑杆在滑槽的内部滑动。

15、进一步的，所述滑槽呈倾斜状设计，且滑槽内所设置的滑杆与活动杆之间为转动连接。

16、 通过上述技术方案，使得可以带动t形活塞板在中控室的内部进行上下滑动。

17、 3.有益效果

18、采用本实用新型提供的技术方案，与现有技术相比，本实用新型微光显微镜，通过冷却管和风机的设置，实现水冷和风冷双重降温，同时在风冷的作用下，实现均匀降温效果，其具体内容如下：

19、（1）设置有冷却管和风机，使得当对器件施加电压时，启动风机，风机通过转杆带动往复丝杆进行转动，套设在往复丝杆外侧的活动杆利用与第一流室之间的贴合作用可以带动滑杆进行左右移动，当滑杆在左右移动过程中，t形活塞板利用与中控室的贴合作用以及滑槽和滑杆的配合作用，可以在中控室的内部进行上下滑动，当t形活塞板向上移动过程中，将冷却管内冷却液抽取到中控室中，而当t形活塞板向下移动时，将中控室内的冷却液挤压到冷却管另一端，在往复过程中，实现冷却管内冷却液的循环流动，实现降温；

20、（2）设置有导风板和导风口，使得当风机启动后，风从进风口进入第一流室后，进入第二流室中，在导风板和导风口的作用下，向冷却管吹去，实现均匀降温，随后从出风口排出，对微光显微镜本体的内部进行降温，延长使用寿命。

技术特征：

1.一种微光显微镜，包括微光显微镜本体（1），其特征在于：所述微光显微镜本体（1）的内部嵌入安装有检测平台（2），且检测平台（2）的上端中部安装有调控箱体（3），并且所述调控箱体（3）的上端安装有可对器件进行固定的限位组件（4），而且所述调控箱体（3）的左右两侧分别开设有出风口（6）和进风口（5）；

2.根据权利要求1所述的一种微光显微镜，其特征在于：所述第一流室（7）和第二流室（8）互通，且第二流室（8）的上端等间距开设有导风口（13），并且第二流室（8）通过导风口（13）与冷却管（10）所在空间相互连通。

3.根据权利要求1所述的一种微光显微镜，其特征在于：所述导风板（12）在第二流室（8）为等间距交错分布，且导风板（12）的上下两端均与所述第二流室（8）的内壁贴合。

4.根据权利要求1所述的一种微光显微镜，其特征在于：所述转杆（11）的外侧固定套设有往复丝杆（14），且往复丝杆（14）的外侧螺纹安装有活动杆（15），并且所述活动杆（15）与所述第一流室（7）的内壁相互贴合。

5.根据权利要求4所述的一种微光显微镜，其特征在于：所述中控室（16）的内部滑动安装有t形活塞板（1601），且t形活塞板（1601）的上端内部开设有滑槽（1602），并且所述滑槽（1602）的内部贴合设置有滑杆（1603），而且所述滑杆（1603）安装于所述活动杆（15）的侧部。

6.根据权利要求5所述的一种微光显微镜，其特征在于：所述滑槽（1602）呈倾斜状设计，且滑槽（1602）内所设置的滑杆（1603）与活动杆（15）之间为转动连接。

技术总结
本技术公开了一种微光显微镜，包括微光显微镜本体，所述微光显微镜本体的内部嵌入安装有检测平台，且检测平台的上端中部安装有调控箱体，并且所述调控箱体的上端安装有可对器件进行固定的限位组件；第一流室和第二流室，其均安装于所述调控箱体的内部，且第二流室位于所述第一流室的上方，并且所述第一流室的右侧内部安装有风机，而且风机转轴的端部连接有转杆；循环水箱，固定于所述调控箱体的后侧内部，且循环水箱的左右两侧分别与冷却管的两端连接，并且冷却管呈“S”状贴合安装于所述调控箱体的上端内壁。该微光显微镜，通过冷却管和风机的设置，实现水冷和风冷双重降温，同时在风冷的作用下，实现均匀降温效果。

技术研发人员：王加国
受保护的技术使用者：苏州集智方成科技有限公司
技术研发日：20230712
技术公布日：2024/1/15