一种钙钛矿薄膜的退火装置的制作方法

本技术涉及太阳能电池的制备领域，更具体地说，涉及一种钙钛矿薄膜的退火装置。

背景技术：

1、钙钛矿太阳能电池作为新型的太阳能电池，因其具备制备简单、成本低廉、转换效率高、可制备柔性组件等优点而受到关注。在钙钛矿太阳能电池制备过程中，钙钛矿薄膜的退火工艺对成膜质量以及钙钛矿结晶生长有着重要的影响。

2、采用普通的退火炉对钙钛矿薄膜进行退火时，存在加热温度不均匀的问题，局部温差不一会导致钙钛矿薄膜容易裂片。另外，通常情况下一台退火炉会同时对多片钙钛矿薄膜进行退火。当其中一片或者多片钙钛矿薄膜退火完成后，需要打开炉门，将完成退火的钙钛矿薄膜取出。但是，打开炉门时会有外部空气流入炉内，从而影响其它未完成退火的钙钛矿薄膜的退火，影响其成膜质量。

3、因此，如何提高加热的均匀性，同时确保退火炉中各片钙钛矿薄膜之间互不影响，是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提高加热的均匀性，同时确保各片钙钛矿薄膜之间互不影响。为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

2、一种钙钛矿薄膜的退火装置，包括：

3、外炉，所述外炉具有炉腔，所述炉腔的腔壁上均布有加热丝；

4、内炉，所述内炉适配于所述外炉的炉腔内，所述内炉具有多个腔室；

5、基架台，所述基架台可移动地适配于所述腔室中，所述基架台包括基台和设置于所述基台上的封板，所述基台用于承载钙钛矿薄膜，所述封板用于封堵所述腔室的腔口，每个所述腔室适配一个所述基架台

6、优选地，所述外炉的炉腔中一对相对的腔壁上对应设置有一对凹槽，所述凹槽沿着所述内炉的装入方向延伸，所述内炉的外壁上设置有一对分别与一对所述凹槽适配的凸起。

7、优选地，所述外炉的炉腔中一对相对的腔壁上设置有两对所述凹槽，两对所述凹槽沿着垂直于所述内炉的装入方向排布；所述内炉的外壁上对应设置有两对所述凸起。

8、优选地，沿着所述基架台的移入或移出方向，所述内炉的腔室具有相对的第一腔口和第二腔口，所述封板包括相对设置于所述基台上的第一封板和第二封板，所述第一封板用于封堵所述第一腔口，所述第二封板用于封堵所述第二腔口。

9、优选地，所述第一封板的两侧向着所述第二封板处延伸形成两个第一挡板，所述第二封板的两侧向着所述第一封板处延伸形成两个第二挡板；所述第一封板、所述第一挡板、所述第二封板以所述第二挡板对所述基台上的钙钛矿薄膜形成限位。

10、优选地，同一侧的所述第一挡板和所述第二挡板间隔布置，在所述基台的位于所述一侧的侧面上，且位于所述第一挡板和所述第二挡板之间设置有凹部，所述凹部向着所述基台的方向贯通设置。

11、优选地，所述第一封板的背对所述第二封板的面上设置有把手。

12、优选地，所述第二封板上设置有通风孔和排风孔，所述通风孔用于连通通风管和所述第一封板和所述第二封板之间的空间，所述排风孔用于连通排风管和所述第一封板和所述第二封板之间的空间。

13、优选地，所述基架台的外壁上设置有滑轨，所述腔室的腔壁上设置有与所述滑轨适配的滑槽。

14、优选地，所述腔室的腔口设置有第一密封倒角边，所述封板的边缘设置有与所述第一密封倒角边配合的第二密封倒角边。

15、从上述技术方案可以看出：在本实用新型中，外炉炉腔腔壁上的加热丝向内炉散发热量，热量被内炉吸收，同时热量还会沿着内炉传递，以使内炉的各个部位的热量接近相等，之后内炉的热量会传递给基架台。由于热量在内炉上得到了均布，因此内炉中每个基架台所吸收的热量接近相等，每个基架台的各个部位吸收的热量接近相等。如此不仅确保了各个钙钛矿薄膜受热均匀，同时确保了每个钙钛矿薄膜的各个部位受热均匀，从而提高了成膜质量。

16、当其中一个钙钛矿薄膜完成退火后，将该钙钛矿薄膜所在的基架台移出内炉的腔室。此时，由于其它的基架台密封在各自的腔室中，因此不会对其它基架台内的钙钛矿薄膜造成影响，从而提高了成膜质量。

技术特征：

1.一种钙钛矿薄膜的退火装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的退火装置，其特征在于，所述外炉(1)的炉腔中一对相对的腔壁上对应设置有一对凹槽(12)，所述凹槽(12)沿着所述内炉(2)的装入方向延伸，所述内炉(2)的外壁上设置有一对分别与一对所述凹槽(12)适配的凸起(22)。

3.根据权利要求2所述的钙钛矿薄膜的退火装置，其特征在于，所述外炉(1)的炉腔中一对相对的腔壁上设置有两对所述凹槽(12)，两对所述凹槽(12)沿着垂直于所述内炉(2)的装入方向排布；所述内炉(2)的外壁上对应设置有两对所述凸起(22)。

4.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的退火装置，其特征在于，沿着所述基架台(3)的移入或移出方向，所述内炉(2)的腔室(21)具有相对的第一腔口和第二腔口，所述封板包括相对设置于所述基台(31)上的第一封板(32)和第二封板(33)，所述第一封板(32)用于封堵所述第一腔口，所述第二封板(33)用于封堵所述第二腔口。

5.根据权利要求4所述的钙钛矿薄膜的退火装置，其特征在于，所述第一封板(32)的两侧向着所述第二封板(33)处延伸形成两个第一挡板(34)，所述第二封板(33)的两侧向着所述第一封板(32)处延伸形成两个第二挡板(35)；所述第一封板(32)、所述第一挡板(34)、所述第二封板(33)以及所述第二挡板(35)对所述基台(31)上的钙钛矿薄膜形成限位。

6.根据权利要求5所述的钙钛矿薄膜的退火装置，其特征在于，同一侧的所述第一挡板(34)和所述第二挡板(35)间隔布置，在所述基台(31)的位于所述一侧的侧面上，且位于所述第一挡板(34)和所述第二挡板(35)之间设置有凹部(39)，所述凹部(39)向着所述基台(31)的方向贯通设置。

7.根据权利要求4所述的钙钛矿薄膜的退火装置，其特征在于，所述第一封板(32)的背对所述第二封板(33)的面上设置有把手(36)。

8.根据权利要求4所述的钙钛矿薄膜的退火装置，其特征在于，所述第二封板(33)上设置有通风孔(37)和排风孔(38)，所述通风孔(37)用于连通通风管(41)和所述第一封板(32)和所述第二封板(33)之间的空间，所述排风孔(38)用于连通排风管(42)和所述第一封板(32)和所述第二封板(33)之间的空间。

9.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的退火装置，其特征在于，所述基架台(3)的外壁上设置有滑轨，所述腔室(21)的腔壁上设置有与所述滑轨适配的滑槽，所述滑槽沿着所述基架台(3)的移入或者移出方向延伸。

10.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜的退火装置，其特征在于，所述腔室(21)的腔口设置有第一密封倒角边，所述封板的边缘设置有与所述第一密封倒角边配合的第二密封倒角边。

技术总结
本技术公开了一种钙钛矿薄膜的退火装置，包括：外炉，外炉具有炉腔，炉腔的腔壁上均布有加热丝；内炉，内炉适配于外炉的炉腔内，内炉具有多个腔室；基架台，基架台可移动地适配于腔室中，基架台包括基台和封板，基台用于承载钙钛矿薄膜，封板用于封堵所述腔室的腔口，每个腔室适配一个所述基架台。由于热量在内炉上得到了均布，因此内炉中每个基架台所吸收的热量接近相等，每个基架台的各个部位吸收的热量接近相等。如此不仅确保了各个钙钛矿薄膜受热均匀，同时确保了每个钙钛矿薄膜的各个部位受热均匀。将钙钛矿薄膜所在的基架台移出内炉的腔室时，由于其它的基架台密封在各自的腔室中，因此不会对其它基架台内的钙钛矿薄膜造成影响。

技术研发人员：伏丰义,赵东明,赵志国,蔡子贺,张迟,熊继光,李梦洁,周养盈
受保护的技术使用者：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司
技术研发日：20230725
技术公布日：2024/1/25