专利名称：半导体机台/标准半导体机台通信协议转换器及转换方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体设备通信协议转换器及转换方法，特别涉及一种将信息在MSEC通信协议与SECS通信协议之间相互转换的转换器及其转换方法。
背景技术：
为了使半导体制造过程更有效率，半导体制造厂商使用一些通信协议以控制及管理半导体机台，例如由半导体设备与材料学会(SemiconductorEquipment and Material International，简称SEMI)所制定的标准半导体机台通信协议(SEMI Equipment Communication Standard，简称SECS)以及三菱公司所制定的三菱半导体机台通信协议(Mitsubishi SEMI EquipmentCommunication，简称MSEC)。当计算机主机连接采用不同通信协议的半导体机台时，则需透过不同的通信协议接口来传递数据。
请参考
图1，图1为已知一计算机主机10与半导体机台的示意图，其中计算机主机10是连接于多台SECS机台22以及多台MSEC机台24。SECS机台22是以SECS为通信协议的半导体机台，而MSEC机台24是以MSEC为通信协议的半导体机台，SECS机台22与MSEC机台24皆可用来执行特定的半导体制程。计算机主机10包含一连接于SECS机台22的SECS接口12、一连接于MSEC机台24的MSEC接口14以及一应用层16。SECS接口12与SECS机台22之间是以RS-232连接端口规格收发SECS信号32，MSEC接口14与MSECS机台24之间以RS-232连接端口规格收发MSECS信号34。应用层16用于处理SECS接口12以及MSEC接口14收发的数据。
由于SECS机台22、MSEC机台24使用不同的通信协议，计算机主机10须利用不同的通信协议接口来控制所相连接的半导体机台。因为计算机主机10无法以单一的通信协议来控制及管理半导体机台，当SECS机台22、MSEC机台24的数目一多时，如何整合SECS机台22与MSEC机台24，以使其之间可搭配运用，将是一项复杂工作。
发明内容
因此，本发明的一目的在于提供一种半导体设备通信协议的转换方法，可用以转换MSEC与SECS通信协议。
本发明的另一目的在于提供一种MSEC/SECS通信协议转换器，可应用于半导体制造，以解决上述已知通信协议转换的问题。
根据本发明，揭露了一种半导体设备通信协议的转换方法。转换方法至少包含有输入一第一信息，其中第一信息是MSEC信息与SECS信息之一者、判断第一信息是否为控制字符，其中若第一信息为控制字符，则输出第一信息、接收第一信息、检查所收集的第一信息的核对和、进行一转换步骤，将第一信息转换为MSEC信息或SECS信息的另一者、计算及更正已转换的第一信息的长度及核对和以及输出已转换的第一信息。
根据本发明，揭露了一种MSEC/SECS通信协议转换器，包含有一第一收发模块、一第二收发模块、一MSEC/SECS模块、一SECS/MSEC模块以及一控制字符传输模块。第一收发模块用于收发MSEC信息。第二收发模块用于收发SECS信息。MSEC/SECS模块用来将MSEC信息转换为SECS信息。SECS/MSEC模块用来将SECS信息转换为MSEC信息。当第一收发模块与第二收发模块其中某一收发模块接收到一控制字符时，其会将所接收到的控制字符不通过MSEC/SECS模块以及SECS/MSEC模块，而直接由控制字符传输模块传送到另一收发模块。
本发明的方法是利用此MSEC/SECS通信协议转换器及半导体设备通信协议的转换方法，可用以连结半导体机台与计算机主机，以相互传递分属不同接口的通信协议信息。如此，计算机主机只需使用单一种通信协议接口来收发信息，可减少计算机主机的复杂度及处理程序。
附图简述图1为已知计算机主机与半导体机台的示意图。
图2为本发明MSEC/SECS通信协议转换器与一计算机主机与半导体机台的示意3为本发明MSEC/SECS通信协议转换器的功能方块图。
图4为本发明将MSEC信号转换为SECS信号的流程图。
图5为本发明将MSEC信号转换为SECS信号时其数据结构的对照图。
图6为本发明将SECS信号转换为MSEC信号的流程图。
图7为本发明将SECS信号转换为MSECS信号时其数据结构的对照图。
附图符号说明10、40 计算机主机 22、52 SECS机台12、42 SECS界面 24、54 MSEC机台14、44 MSEC接口 32、62 SECS信号16、46 应用层 34、64 MSEC信号50 MSEC/SECS通信协议转换器70 MSEC收发模块80 SECS收发模块71 MSEC/SECS模块 81 SECS/MSECS模块72 MSEC收集模块82 SECS收集模块74 MSEC检查模块84 SECS检查模块76 MSEC/SECS转换模块 86 SECS/MSEC转换模块78 MSEC/SECS计算模块 88 SECS/MSEC计算模块90 控制字符传输模块105 T1定时器121 SECS装置识别码 123 MSEC/SECS指令识别码转换表100、102、103、104、106、108、109、110、120、130、140、150、160步骤122、124、126、128、132、134转换步骤200、202、203、204、206、208、210、220、230、240、250、260步骤222、224、226、228、232 转换步骤具体实施方式
请参考图2，图2为本发明MSEC/SECS通信协议转换器50与一计算机主机40及半导体机台的示意图。计算机主机40连接于多台SECS机台52，并藉由MSEC/SECS通信协议转换器50连接于至少一MSEC机台54。SECS机台52是以SECS为通信协议的半导体机台，MSEC机台54是以MSEC为通信协议的半导体机台，而MSEC/SECS通信协议转换器50用于将信息于MSEC通信协议与SECS通信协议之间相互转换。SECS机台52与MSEC机台54皆可用来执行特定的半导体制程。计算机主机40是用来传送及接收SECS信息62，以控制SECS机台52与MECS机台54的操作，其包含一SECS接口42以及一应用层46。SECS接口42与MSEC/SECS通信协议转换器50、SECS机台52之间是以RS-232连接端口规格收发SECS信号62，应用层46则用于处理SECS界面42所收发的SECS信息62。MSEC机台54所输出的MSEC信号64会经由MSEC/SECS通信协议转换器50转换为SECS信号62，并由SECS接口42接收后传输至计算机主机40的应用层46。另一方面，计算机主机40的SECS接口42所输出的SECS信号62，会经由MSEC/SECS通信协议转换器50转换为MSEC信号64后，再传输至MSEC机台54。因此，MESC机台54在设定上不须做任何变更，即可藉由MSEC/SECS通信协议转换器50，连接上采用SECS通信协议的控制系统。
为了详细描述MSEC/SECS通信协议转换器50的转换方法，请参考图3，图3为本发明MSEC/SECS通信协议转换器50的功能方块图。MSEC/SECS通信协议转换器50包含有一MSEC收发模块70、一MSEC/SECS模块71、一SECS收发模块80、一SECS/MSEC模块81以及一控制字符传输模块90。MSEC收发模块70以及SECS收发模块80分别用于收发如图2所示的MSEC信号64以及SECS信号62。请同时参照图2及图3，MSEC/SECS模块71用来将MSEC信息64转换为SECS信息62，而SECS/MSEC模块81用来将SECS信息62转换为MSEC信息64。控制字符传输模块90电连接于MSEC收发模块70以及SECS收发模块80，用于传输定义于通信协议中的控制字符，如查询(en-query，简写ENQ)、传输结束(end of transfer，简写EOT)、确认接收(acknowledge，简写ACK)以及确认未接收(non-acknowledge，简写NAK)等。
MSEC/SECS模块71包含一MSEC收集模块72、一MSEC检查模块74、一MSEC/SECS转换模块76以及一MSEC/SECS计算模块78。MSEC收集模块72电连接于MSEC收发模块70，用于收集非为控制字符的MSEC信号，以及依据MSEC信息中所包含的长度信息，来检查所收集的MSEC信息的完整性。MSEC检查模块74电连接于MSEC收集模块72，用于检查MSEC信号的奇偶检查位检查(even check bit)及核对和(check sum)。MSEC/SECS转换模块76电连接至MSEC检查模块74，用于将MSEC信号的标题(header)及数据区段(data)转换为SECS格式。MSEC/SECS计算模块78电连接至MSEC/SECS转换模块76及SECS收发模块80，用于计算及更正经由MSEC/SECS转换模块76转换的SECS信号的长度(length)及核对和，之后再将SECS信号传输至SECS收发模块80。
SECS/MSEC模块81包含一SECS收集模块82、一SECS检查模块84、一SECS/MSEC转换模块86以及一SECS/MSEC计算模块88。SECS收集模块82电连接于SECS收发模块80，用于收集非为控制字符的SECS信号，以及依据SECS信息中所包含的长度信息，来检查所收集的SECS信息的完整性。SECS检查模块84电连接于SECS收集模块82，用于检查SECS信号的核对和。SECS/MSEC转换模块86电连接至SECS检查模块84，用于将SECS信号的标题及数据区段转换为MSEC格式。SECS/MSEC计算模块88电连接至SECS/MSEC转换模块86及MSEC收发模块70，用于计算及更正经由SECS/MSEC转换模块86转换的MSEC信号的长度及核对和，之后再将MSEC信号传输至MSEC收发模块70。
请参考图3及图4，其中图4为本发明将MSEC信号转换为SECS信号的流程图。信号转换流程包含有下列步骤步骤100由MSEC收发模块70输入一MSEC信号；步骤102判断所输入的MSEC信号是否为控制字符，如ENQ、EOT、ACK以及NAK等；若MSEC信号为控制字符，则执行步骤103；若MSEC信号不为控制字符，则执行步骤104；步骤103控制字符不经由MSEC/SECS模块71及SECS/MSEC模块81，而经由控制字符传输模块90传输至SECS收发模块80，以令SECS收发模块80将控制字符传输到计算机主机，之后再执行步骤100，以接收下一笔MSEC信号；步骤104启动并重设一T1定时器105，并利用T1定时器105判断MSEC收集模块72是否于一预定时间内接收到MSEC信号；若接收逾时则执行步骤109；若完成接收MSEC信号，则执行步骤106；步骤106关闭T1定时器105，而MSEC检查模块74会检查MSEC信号的核对和是否正确；若核对和不正确则执行步骤109；若核对和正确则执行步骤108；步骤108MSEC检查模块74检查MSEC信号的奇偶检查位是否正确；若奇偶检查位不正确则执行步骤109；若奇偶检查位正确则执行步骤110；步骤109经由MSEC收发模块70输出一控制信号NAK至MSEC机台，以令MSEC机台重新输出MSEC信号至MSEC/SECS通信协议转换器，之后再执行步骤100；步骤110MSEC/SECS转换模块76将MSEC信号的奇偶检查位进行检查，接着进行奇偶检查位译码(亦即去除MSEC信息的奇偶检查位检查)，并将经奇偶检查位译码后的数据储存在SECS信号的数据区段相关的位置之上；步骤120MSEC/SECS转换模块76利用一SECS装置识别码(deviceID)121以及一MSEC/SECS指令识别码转换表123，将MSEC信号的标题转换为SECS格式；步骤130MSEC/SECS转换模块76将MSEC信号的数据区段转换为SECS格式；步骤140MSEC/SECS计算模块78计算由步骤120及步骤130所转换的SECS信号的长度，以更正SECS信号的长度数据；步骤150MSEC/SECS计算模块78计算由步骤120及步骤130所转换的SECS信号的核对和，以更正SECS信号的核对和数据；以及步骤160将转换后的SECS信号输出至SECS收发模块80，以令SECS收发模块80将转换后的SECS信号传输到计算机主机，之后再进行步骤100，以接收下一笔MSEC信号。
请参考图5，图5为图4流程中将MSEC信号64转换为SECS信号62的数据结构对照图。其中如图4所示的转换标题的步骤120包含一转换步骤122、一转换步骤124、一转换步骤126以及一转换步骤128。转换步骤122是将MSEC信号的标题的第一及第二字节变更为使用者所定义的SECS装置识别码，并保留其保存位(reserve bit)。转换步骤124会依据MSEC信号的标题的第三字节及数据区段中的第一及第二字节，产生一SECS指令识别码后，再将所产生的SECS指令识别码储存于SECS信号的标题的第三及第四字节，并保留MSEC信号中的等待位(wait bit)。转换步骤126是将SECS信号的标题的第五及第六字节分别设为80H及01H的美国信息交换标准码(ASCII)。转换步骤128是将MSEC信号的标题的第七至第十位设为SECS信号的标题的第七至第十位。转换数据的步骤130包含一转换步骤132以及一转换步骤134，其中转换步骤132是将SECS信号的数据区段的第一字节设成其值为41H的ASCII码，而转换步骤134将SECS信号的数据区段的第二位设为数据长度。请参考图3及图6，其中图6为本发明将SECS信号转换为MSEC信号的流程图。信号转换流程包含有下列步骤步骤200由SECS收发模块80输入一SECS信号；步骤202判断所输入的SECS信号是否为控制字符；若SECS信号为控制字符则执行步骤203；若MSEC信号不为控制字符，则执行步骤204；步骤203控制字符不经由MSEC/SECS模块71及SECS/MSEC模块81，而经由控制字符传输模块90传输至MSEC收发模块70，以令MSEC收发模块70将控制字符传输到MSEC机台，之后再执行步骤200，以接收下一笔SECS信号；；步骤204启动并重设T1定时器105，并利用T1定时器105判断SECS收集模块82是否于一预定时间内接收到SECS信号；若接收逾时则执行步骤208；若完成接收SECS信号则执行步骤206；步骤206关闭T1定时器105，而SECS检查模块84检查SECS信号的核对和是否正确；若核对和不正确则执行步骤208；若核对和正确则执行步骤220；步骤208经由SECS收发模块80输出一控制信号NAK至计算机主机，以令计算机主机重新输出SECS信号至MSEC/SECS通信协议转换器，之后再执行步骤200；步骤210SECS/MSEC转换模块86将SECS信号的标题转换为MSEC格式；步骤220SECS/MSEC转换模块86利用MSEC/SECS指令识别码转换表123，将SECS信号的数据区段转换为MSEC格式；步骤230SECS/MSEC转换模块86对步骤220所转换的数据进行奇偶检查位编码(亦即加入奇偶检查位检查于转换后的MSEC信号中)；步骤240SECS/MSEC计算模块88计算由步骤210、220以及230所转换的MSEC信号的长度，以更正MSEC信号的长度数据；步骤250SECS/MSEC计算模块88计算由步骤210、220以及230所转换的MSEC信号的核对和，以更正MSEC信号的核对和数据；以及步骤260将转换后的MSEC信号输出至MSEC收发模块70，以令MSEC收发模块70将转换后的MSEC信号传输到MSEC机台，之后再进行步骤200，以接收下一笔SECS信号。
请参考图7，图7为图6流程中将SECS信号转换为MSECS信号的数据结构对照图。其中如图6所示的转换标题的步骤210包含一转换步骤222、一转换步骤224、一转换步骤226以及一转换步骤228。转换步骤222是将SECS信号的标题的第三字节及第四字节转换为其值为01H的ASCII码，并保留其等待位后，之后再将其储存在MSEC信号的标题的第三及第四字节。转换步骤224是将MSEC信号的标题的第五字节设为80H，转换步骤226是将MSEC信号的标题的第六位设为00H至FFH的其中任一值，而转换步骤228则是将MSEC信号的标题的第一、第二以及第七至第十字节设为SECS信号的标题的第一、第二以及第七至第十字节。转换数据的步骤220包含一转换步骤232，转换步骤232是转换SECS信号的标题的第三及第四字节的指令识别码并储存于MSEC信号的数据区段的第一及第二字节。步骤230将步骤232转换的指令识别码与SECS信号的数据奇偶检查位编码，之后再将奇偶检查位编码后的数据储存于MSEC信号的数据区段自第三字节开始之后的字节。
在上述流程4与图6中，MSEC/SECS转换方法包含有输入MSEC信息或SECS信息、判断MSEC信息或SECS信息是否为控制字符(其中若MSEC信息或SECS信息为控制字符，则直接输出)、接收MSEC信息或SECS信息、检查所收集的MSEC信息或SECS信息的核对和、将第一信息转换为MSEC信息或SECS信息的另一者、计算及更正已转换的MSEC信息或SECS信息的长度及核对和以及输出已转换的MSEC信息或SECS信息。其中，不同的是，MSEC数据中有奇偶检查位检查部分，因此在MSEC信息转换为SECS信息时，需要检查奇偶检查位以及解码步骤；而SCES数据中没有奇偶检查位检查部分，因此在SECS信息转换为MSEC信息时，需要有编码步骤。此外，其中在接收MSEC信息或SECS信息所使用的定时器可省略，或用其它程序(如回路程序等等)来取代。
本发明的转换器亦可使用单向的MSEC/SECS信号转换方法，意即依据本发明MSEC信息转换为SECS信息的转换方法而制造的单一转换器，只用于将MSEC信息转换为SECS信息，或依据本发明SECS信息转换为MSEC信息的转换方法而制造的单一转换器，只用于将SECS信息转换为MSEC信息。
相较于已知计算机主机利用不同的通信协议接口收发不同通信协议的信号，本发明的MSEC/SECS通信协议转换器及转换方法是将MSEC信号及SECS信号的通信协议互换，因此计算机主机只需使用SECS通信协议接口以收发信息，故可有效地减少计算机主机的复杂度及处理程序。并且，应用本发明的通信协议转换器或转换方法，再毋需修改现有设备的情况下，即可联机计算机主机语机台设备，可节省许多改造成本。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本发明专利的涵盖范围。
权利要求
1.一种MSEC/SECS通信协议转换器，其包含有一第一收发模块，用于收发三菱半导体机台通信协议信息；一第二收发模块，用于收发标准半导体机台通信协议信息；一MSEC/SECS模块，用来将MSEC信息转换为SECS信息；一SECS/MSEC模块，用来将SECS信息转换为MSEC信息；以及一控制字符传输模块，当该第一收发模块与该第二收发模块其中一者接收到一控制字符时，将所接收到的该控制字符直接传送到另一者。
2.如权利要求1所述的MSEC/SECS通信协议转换器，其中，该MSEC/SECS模块包含有第一收集模块，电连接于该第一收发模块，用来收集MSEC信息以及检查所收集的MSEC信息的完整性；一第一检查模块，电连接于该第一收集模块，用于检查由该第一收集模块所收集的MSEC信息的正确性；一第一转换模块，电连接于该第一检查模块，用于将该第一检查模块所检查过的MSEC信息转换为SECS信息；以及一第一计算模块，电连接于该第一转换模块及该第二收发模块，用于计算及更正由该第一转换模块所转换的SECS信息；且该SECS/MSEC模块包含有一第二收集模块，电连接于该第二收发模块，用来收集SECS信息以及检查所收集的SECS信息的完整性；一第二检查模块，电连接于该第二收集模块，用于检查由该第二收集模块所收集的SECS信息的正确性；一第二转换模块，电连接于该第二检查模块，用于将该第二检查模块所检查过的SECS信息转换为MSEC信息；以及一第二计算模块，电连接于该第二转换模块及该第一收发模块，用于计算及更正由该第二转换模块所转换的MSEC信息。
3.如权利要求2所述的MSEC/SECS通信协议转换器，其中，该第一收集模块是依据一定时器来收集MSEC信息，而该第二收集模块是利用该定时器来收集SECS信息。
4.如权利要求2所述的MSEC/SECS通信协议转换器，其中，该第一检查模块是检查由该第一收集模块所收集的MSEC信息的奇偶检查位及核对和，该第一计算模块是计算并更正由该第一转换模块所转换的SECS信息的长度及核对和。
5.如权利要求2所述的MSEC/SECS通信协议转换器，其中，该第二检查模块是检查由该第二收集模块所收集的SECS信息的核对和，该第二计算模块是计算并更正由该第二转换模块所转换的MSEC信息的长度及核对和。
6.如权利要求1所述的MSEC/SECS通信协议转换器，其中，该控制字符是为查询、传输结束、确认接收以及确认未接收所构成的族群中的任一者。
7.如权利要求1所述的MSEC/SECS通信协议转换器，其中，该第一收发模块、该第二收发模块是利用RS-232端口收发MSEC信息。
8.一种半导体设备通信协议的转换方法，其包含有自一第一收发模块接收MSEC信息；自一第二收发模块接收SECS信息；利用一MSEC/SECS模块将该第一收发模块所接收的MSEC信息转换为SECS信息，并经由该第二收发模块将转换后所得的SECS信息输出；利用一SECS/MSEC模块将该第二收发模块所接收的SECS信息转换为MSEC信息，并经由该第一收发模块将转换后所得的MSEC信息输出；以及利用一控制字符传输模块，将该第一收发模块与该第二收发模块之中一者所接收到的一控制字符，直接传送到另一收发模块。
9.如权利要求8所述的转换方法，其中，该MSEC/SECS模块包含有一第一收集模块、一第一检查模块、一第一转换模块以及一第一计算模块，而该SECS/MSEC模块包含有一第二收集模块、一第二检查模块、一第二转换模块以及一第二计算模块，该方法另包含有利用该第一收集模块，来收集MSEC信息以及检查所收集的MSEC信息的完整性；利用该第一检查模块，来检查由该第一收集模块所收集的MSEC信息的正确性；利用该第一转换模块，来将该第一检查模块所检查过的MSEC信息转换为SECS信息；利用该第一计算模块，来计算及更正由该第一转换模块所转换的SECS信息；利用该第二收集模块，来收集SECS信息以及检查所收集的SECS信息的完整性；利用该第二检查模块，来检查由该第二收集模块所收集的SECS信息的正确性；利用该第二转换模块，来将该第二检查模块所检查过的SECS信息转换为MSEC信息；以及利用该第二计算模块，来计算及更正由该第二转换模块所转换的MSEC信息。
10.如权利要求8所述的转换方法，其中，该第一收集模块是依据一定时器来收集MSEC信息，而该第二收集模块是利用该定时器来收集SECS信息。
11.如权利要求8所述的转换方法，其中，该第一检查模块是检查由该第一收集模块所收集的MSEC信息的奇偶检查位及核对和，该第一计算模块是计算并更正由该第一转换模块所转换的SECS信息的长度及核对和。
12.如权利要求8所述的方法，其中，该第二检查模块是检查由该第二收集模块所收集的SECS信息的核对和，该第二计算模块是计算并更正由该第二转换模块所转换的MSEC信息的长度及核对和。
13.如权利要求8所述的转换方法，其中，该控制字符是ENQ、EOT、ACK、NAK所构成的族群中的任一者。
14.如权利要求8所述的转换方法，其中，该第一收发模块、该第二收发模块是利用RS-232端口收发MSEC信息。
15.一种半导体设备通信协议的转换方法，至少包含输入一第一信息，其中该第一信息是MSEC信息与SECS信息之一者判断该第一信息是否为控制字符，其中，若该第一信息为控制字符，则输出该第一信息；接收该第一信息；检查所收集的该第一信息的核对和；进行一转换步骤，将该第一信息转换为MSEC信息或SECS信息的另一者；计算及更正已转换的该第一信息的长度及核对和；以及输出已转换的该第一信息。
16.如权利要求15所述的转换方法，其中，更包括在接收该第一信息的步骤时，启动及重设一定时器。
17.如权利要求15所述的转换方法，其中，若该第一信息是由MSEC转换为SECS，则将该第一信息转换为SECS的步骤前，更包括检查所收集的该第一信息的奇偶检查位检查；以及对该第一信息进行奇偶检查位译码。
18.如权利要求15所述的转换方法，其中，若该第一信息是由SECS转换为MSEC，则将该第一信息转换为MSEC的步骤后，更包括对该第一信息进行奇偶检查位检查编码。
19.如权利要求15所述的转换方法，其中，若该第一信息是由MSEC转换为SECS，则该转换步骤至少包含将该第一信息的标题的第一及第二字节变更为SECS装置识别码，并保留该第一信息的保存位；依据该第一信息的标题的第三字节及数据区段中的第一及第二字节，产生一SECS指令识别码后，再将该SECS指令识别码储存于该第一信息的标题的第三及第四字节，并保留该第一信息中的等待位；将该第一信息的标题的第五及第六字节分别设为80H及01H的美国信息交换标准码；以及将该第一信息的标题的第七至第十位设为已转换的该第一信息的标题的第七至第十位。
20.如权利要求19所述的转换方法，其中，该第一信息的转换更利用一SECS装置识别码。
21.如权利要求15所述的转换方法，其中，若该第一信息是由SECS转换为MSEC，则该转换步骤至少包含将该第一信息的标题的第三字节及第四字节转换其值为01H的ASCII码，并保留该第一信息的一等待位后，之后再将该等待位储存于该第一信息的标题的第三及第四字节；将该第一信息的标题的第五字节设为80H；将该第一信息的标题的第六位设为00H至FFH的其中任一值；将该第一信息的标题的第一、第二以及第七至第十字节设为已转换的该第一信息的标题的第一、第二以及第七至第十字节；以及转换该第一信息的标题的第三及第四字节的指令识别码并储存在已转换的该第一信息的数据区段的第一及第二字节。
22.如权利要求15所述的转换方法，其中，该控制字符是ENQ、EOT、ACK、NAK所构成的族群中的任一者。
23.如权利要求15所述的转换方法，其中，启动及重设该定时器并接收该第一信息的步骤更包括判断是否在一预定时间内接收到该第一信号，若接收逾时则输出一NAK控制信号。
24.如权利要求15所述的转换方法，其中，若该第一信息的核对和与奇偶检查位其中一者不正确，则输出一NAK控制信号。
25.如权利要求15所述的转换方法，其中，该第一信息是依据RS-232端口通信协议加以收发。
26.如权利要求15所述的转换方法，其中，该第一信息的转换是利用一MSEC/SECS指令识别转换表码。
27.一种转换器，是利用如权利要求15所述的半导体设备通信协议的转换方法，来进行MSEC信息与SECS信息之间的转换。
全文摘要
本发明提供一种三菱半导体机台通信协议(MSEC)/标准半导体机台通信协议(SECS)通信协议转换器及其转换方法。其是利用一MSEC收发模块收发MSEC信号，一SECS收发模块收发SECS信号，一MSEC/SECS模块将MSEC信号转换为SECS信号，一SECS/MSEC模块将SECS信号转换为MSEC信号，以及一控制字符传输模块传输控制字符。利用上述的MSEC/SECS通信协议转换器及转换方法，计算机主机只需使用SECS通信协议接口来处理不同通信协议的半导体机台，可减少计算机主机的复杂度及处理程序。
文档编号H04L29/06GK1674575SQ20041003158
公开日2005年9月28日 申请日期2004年3月25日 优先权日2004年3月25日
发明者吴炫萱, 吴文达 申请人:力晶半导体股份有限公司