专利名称：麦克风的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种麦克风，尤其涉及一种微电机系统麦克风。
背景技术：
随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话 的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目 前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦 克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。
而目前应用较多且性能较好的麦克风是微电机系统麦克风
(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone, 简称MEMS),其封装体 积比传统的驻极体麦克风小。然而，MEMS麦克风内部元器件若受到外部 污染，如灰尘，则会影响其声学性能，比如降低灵敏度，甚至灰尘会磨损 内部元器件。
如图1所示，为一种与本发明相关的麦克风剖视示意图。该麦克风 10包括背板11、与背板11相对并通过支撑部121相连接的振膜12,振膜 12可相对背板11上下振动，背板11另设有声孔111,该声孔lll可将声 音气流传递到振膜12上并引起振膜12振动，振膜12的上表面高于支撑 部121的上表面。但此种结构的麦克风，由于振膜12的上表面高于支撑 部121的上表面，所以当沉积导电层时有台阶变化，金属导电层引线在台 阶处易出现断点，导致产品成品率降低，如果通过控制导电层有较大厚度 来保证成品率，会降低麦克风的灵敏度。。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种麦克风，以解决产品成品率低、灵敏 度不高的技术问题。
为达到上述技术目的，本实用新型提供的技术方案为
3一种麦克风，包括背板、与背板相连接的支撑层、与背板相对并通过支撑层相连的振膜、与振膜相连的电极引出线和与电极引出线相连的电连接盘，背板上设有声孔，所述振膜包括距离背板较远的第一平面和距离背
板较近的第二平面；其特征在于所述支撑层设有抵接第二平面的底面以及由该底面向第一平面延伸的顶面，振膜的第一平面不超出支撑层的顶面。
优选的，振膜的第一平面与支撑层的顶面处于同 一平面上。优选的，所述麦克风还包括位于振膜内部的金属电极，该金属电极与振膜内部过盈配合。
优选的，所述振膜为圓环形状。
本发明的有益效果在于由于振膜的第一平面不超出支撑层的顶面，所以在沉积金属导电层时不会出现台阶变化，所以金属导电层不易出现断点，从而有效提高了产品成品率，同时有效减小了导电层的厚度，增大振膜的弹性，提高了麦克风的灵敏度。
图1是与本实用新型相关的一种麦克风的结构；
图2是本实用新型提供的麦克风的立体结构示意图3是本实用新型提供的麦克风横断面结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步说明。
参见图2,本实用新型提供的麦克风2,主要用于手机上，接受声音并将声音转化为电信号。本发明提供的发明是通过改变振膜与支撑层之间的配合关系来达到提高电容式麦克风灵敏度的效果。
麦克风2包括背板21、与背板21相连接的支撑层23、与背板21相对并通过支撑层23相连的振膜22、与振膜22相连的电极引出线25和与电极引出线25相连的电连接盘24,背板21上设有声孔211,振膜22包括距离背板21较远的第一平面221和距离背板21较近的第二平面(未标示)；支撑层23设有抵接第二平面的底面231以及由该底面231向第一平面221延伸的顶面232,振膜21的第一平面231不超出支撑层23的顶面232。
在本发明提供的一个优选实施例中，麦克风2还包括位于振膜22内 部的金属电极26,该金属电极26与振膜22内部过盈配合。振膜22为圆 环形状。
通过控制支撑层23的高度和构造，可以保证振膜21的第一平面231 不超出支撑层23的顶面232,所以在沉积金属导电层时不会出现台阶变 化，所以金属导电层不易出现断点，从而有效提高了产品成品率，同时有 效减小了导电层的厚度，增大振膜的弹性，提高了麦克风的灵敏度。在本 实用新型提供的优选实施例中，保证振膜21的第一平面231与支撑层23 的顶面232处于同一平面，可以更好的提高产品的成品率，提高麦克风的 灵敏度。
振膜22与背板21之间的前腔27的大小可通过控制支撑层23的厚度 来调整。
振膜22与背板21上分别设有导电层并可加电，但加电的部分相互绝 缘，这样，振膜22背板21就组成了具有电容的电容器。
背板21上设置有声孔211,声音气流可通过该声孔211传递到振膜22 上，并引起振膜22上下振动。
因为振膜22与背板21之间形成电容器，当振膜22振动时，两者之 间的距离发生变化，导致电容值发生变化，电容发生的变化则产生了电流， 从而将声音转换成电信号。
在本发明提供的优选实施例中，振膜22可以采用Si、 Si02、 Si3N4 或多晶硅材料生成后掺杂金属形成。这样，振膜22同时可以充做电极，
以上所述的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普 通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进， 但这些均属于本发明的保护范围。
权利要求1、一种麦克风，包括背板、与背板相连接的支撑层、与背板相对并通过支撑层相连的振膜、与振膜相连的电极引出线和与电极引出线相连的电连接盘，背板上设有声孔，所述振膜包括距离背板较远的第一平面和距离背板较近的第二平面；其特征在于所述支撑层设有抵接第二平面的底面以及由该底面向第一平面延伸的顶面，振膜的第一平面不超出支撑层的顶面。
2、 根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于振膜的第一平面与 支撑层的顶面处于同一平面上。
3、 根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于所述麦克风还包括 位于振膜内部的金属电极，该金属电极与振膜内部过盈配合。
4、 根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于所述振膜为圆环形状。
专利摘要本实用新型提供了一种麦克风，包括背板、与背板相连接的支撑层、与背板相对并通过支撑层相连的振膜、与振膜相连的电极引出线和与电极引出线相连的电连接盘，背板上设有声孔，所述振膜包括距离背板较远的第一平面和距离背板较近的第二平面；其特征在于所述支撑层设有抵接第二平面的底面以及由该底面向第一平面延伸的顶面，振膜的第一平面不超出支撑层的顶面。此种结构的麦克风，可以提高成品率，同时提高麦克风的灵敏度。
文档编号H04R19/01GK201290179SQ20082021342
公开日2009年8月12日 申请日期2008年11月7日 优先权日2008年11月7日
发明者睿 张 申请人:瑞声声学科技(深圳)有限公司