专利名称：光学器件、光扫描仪以及图像形成装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及的几个方式，涉及例如通过MEMS (Micro ElectroMechanical System ； 微机电系统)技术制作的、可动板以弹性支承部为中心往复运动的光学器件、光扫描仪以 及图像形成装置。
背景技术：
以往，作为这种光学器件，已知具有可摆动地支承于形状记忆合金丝的带磁铁反 射镜的光扫描装置，其通过利用预先分别作成的反射镜和磁铁夹持着形状记忆合金丝而接 合固定来构成带磁铁反射镜。该光扫描装置通过上述构成，能够提高带磁铁反射镜与形状 记忆合金丝的粘着力，从而提高耐久性(例如参照专利文献1)。专利文献1日本特开平9-304721号公报然而，现有的光学器件中，使带磁铁反射镜摆动运动时，存在基于轴部件的扭转变 形的力传递到带磁铁反射镜，带磁铁反射镜与形状记忆合金丝的连接部分上局部出现大的 挠曲(歪斜)的问题。此外，若为了抑制带磁铁反射镜的挠曲(歪斜)而加厚带磁铁反射 镜的厚度等，在使由带磁铁反射镜和形状记忆合金丝构成的振动系统振动(使其进行摆动 运动)的情况下，与不改变带磁铁反射镜的厚度的振动系统相比，为了使其以相同的振动 数(频率)进行振动而需要的丝变长。结果，出现了光学器件变大的问题。
发明内容
本发明的几个方式鉴于上述问题而做出，其目的之一在于，提供能够抑制光反射 部件的挠曲(歪斜)，并且能够小型化的光学器件、光扫描仪以及图像形成装置。本发明涉及的光学器件具有轴部件，其具有板状的安装部、以及将该安装部支承 为可围绕规定轴摆动的弹性支承部；设置于安装部的一个面的刚性部件；光反射部件，其 设置于安装部的另一个面，且具有比安装部大的面积。根据所述构成，刚性部件设置于安装部，因此安装部的刚性得到提高。由此，能够 抑制在设置于安装部的光反射部件上产生的挠曲(歪斜)。此外，由于光反射部件设置于安 装部，因此光反射部件不与弹性支承部连接，而是经由安装部与轴部件连接。由此，安装部 围绕规定轴摆动时，通过刚性部件缓和了基于弹性支承部的扭转变形的力，因此，能够抑制 在以往的光反射部件中，在与弹性支承部的连接部分产生的挠曲(歪斜)。此外，光反射部 件具有大于安装部的面积。在这里，弹性支承部与安装部连接，安装部的面积小于光反射部 件，因此，光学器件成为弹性支承部自光反射部件的端部向内侧进入的结构。由此，与弹性 支承部与光反射部件的端部连接的现有光学器件相比，能够缩短轴部件的长度，能够使光 学器件小型化。此外，例如，在利用硅基板等材料制造光学器件的情况下，能够增加利用相 同面积的材料制造出的光学器件的数量，能够降低光学器件的制造成本。而且，在安装部的 一个面上设置刚性部件，在安装部的另一个面上设置光反射部件，因此，能够将由光反射部 件、轴部件、以及刚性部件构成的振动系统的重心配置于轴部件的中心轴上。由此，在安装部围绕规定轴摆动时，能够抑制扭转之外的振动。此外，基于光反射部件的反射光的轨迹精 度好且呈直线状，因此，防止了描绘的图像的歪斜，且易于对光学器件1进行控制。优选刚性部件为强磁体，并且该光学器件还具有在与该强磁体之间产生驱动力来 使安装部摆动的磁场产生单元。根据所涉及的构成，具有在与强磁体之间产生驱动力来使安装部摆动的磁场产生 单元，因此，例如通过作为磁场产生单元而使用线圈和向线圈供给交流电的电源，易于在与 强磁体之间产生驱动力来使安装部摆动。优选强磁体为永久磁铁。根据该构成，作为刚性部件而使用了永久磁铁，因此安装部的刚性得到提 高，并且 能够在其与磁场产生单元之间产生更大的电磁力。优选还具有设置于安装部的介入部件，光反射部件经由介入部件设置于安装部。根据该构成，光反射部件经由介入部件设置于安装部。在这里，在安装部与光反射 部件之间形成介入部件的厚度左右的空间(空间)。因而，通过将介入部件的厚度设定为适 当的值，光学器件能够成为如下结构，即、光反射部件与安装部一起围绕规定轴摆动时，光 反射部件与支承部件不接触的结构。从而，即便支承部件具有框部(框架)时，也能够缩小 支承部件的宽度，能够进一步缩小光学器件。优选安装部与介入部件具有大致相同的形状。根据该构成，安装部与介入部件具有大致相同的形状，因此，将介入部件设置于安 装部时，易于对准。优选轴部件与光反射部件形成为不同的部件。根据该构成，轴部件与光反射部件形成为不同的部件，因此，不受一体形成轴部件 和光反射部件时受到限制的长度、宽度、厚度等的限制，而能够分别将长度、宽度、厚度等设 定为适当的值来形成轴部件和光反射部件。从而，能够容易地对光学器件进行设计。优选还具有支承轴部件的支承部件，轴部件与支承部件一体形成。根据该构成，轴部件与支承部件一体形成，因此，提高了轴部件与支承部件的连接 部分的刚性。从而，在安装部围绕规定轴摆动时，能够降低轴部件与支承部件的连接部分处 的断裂或破损的可能性。此外，本发明涉及的光学器件具有具有板状的安装部及将该安装部支承为可围 绕规定轴摆动的弹性支承部的轴部件、设置于安装部的刚性部件、经由该刚性部件设置于 安装部且具有比安装部大的面积的光反射部件。根据该构成，刚性部件设置于安装部，因此安装部的刚性得到提高。由此，能够抑 制在设置于安装部的光反射部件上产生的挠曲(歪斜)。此外，由于光反射部件设置于安 装部，因此光反射部件不与弹性支承部连接，而是经由安装部与轴部件连接。由此，安装部 围绕规定轴摆动时，通过刚性部件缓和了基于弹性支承部的扭转变形的力，因此，能够抑制 在以往的光反射部件中，在与弹性支承部的连接部分产生的挠曲(歪斜)。此外，光反射部 件具有比安装部大的面积。在这里，弹性支承部与安装部连接，安装部的面积小于光反射部 件，因此，光学器件成为弹性支承部自光反射部件的端部向内侧进入的结构。由此，与弹性 支承部与光反射部件的端部连接的现有光学器件相比，能够缩短轴部件的长度，能够使光 学器件小型化。此外，例如，在利用硅基板等材料制造光学器件的情况下，能够增加利用相同面积的材料制造出的光学器件的数量，能够降低光学器件的制造成本。而且，光反射部件 经由刚性部件设置于安装部。在这里，在安装部与光反射部件之间形成刚性部件的厚度左 右的空间(空间)。因而，通过将刚性部件的厚度设定为适当的值，光学器件能够成为光反 射部件与安装部一起围绕规定轴摆动时，光反射部件与支承部件不接触的结构。从而，即便 具有支承部件时，也能够缩小支承部件的宽度，能够使光学器件进一步小型化。优选刚性部件为强磁体，并且该光学器件还具有在与该强磁体之间产生驱动力来 使安装部摆动的磁场产生单元。根据该构成，具有在与强磁体之间产生驱动力来使安装部摆动的磁场产生单元， 因此，例如作为磁场产生单元通过使用线圈和向线圈供给交流电的电源，易于在与强磁体 之间产生驱动力来使安装部摆动。优选强磁体为永久磁铁。 根据该构成，作为刚性部件而使用了永久磁铁，因此，安装部的刚性得到提高，并 且能够在与磁场产生单元之间产生更大的电磁力。优选光反射部件具有凹部，刚性部件嵌合于该凹部。根据该构成，刚性部件嵌合于光反射部件的凹部，因此，易于对光反射部件和刚性 部件进行对准。优选安装部与刚性部件具有大致相同的形状。根据该构成，安装部与刚性部件具有大致相同的形状，因此，将刚性部件设置于安 装部时，易于对准。优选轴部件与光反射部件形成为不同的部件。根据该构成，轴部件与光反射部件形成为不同的部件，因此，不受一体形成轴部件 和光反射部件时受到限制的长度、宽度、厚度等的限制，而能够分别将长度、宽度、厚度等设 定为适当的值来形成轴部件和光反射部件。从而，能够容易地对光学器件进行设计。优选还具有支承轴部件的支承部件，轴部件与支承部件一体形成。根据该构成，轴部件与支承部件一体形成，因此，提高了轴部件与支承部件的连接 部分的刚性。从而，在安装部围绕规定轴摆动时，能够降低轴部件与支承部件的连接部分处 的断裂或破损的可能性。本发明涉及的光扫描仪具有上述的、本发明涉及的光学器件。根据该构成，具有上述的、本发明涉及的光学器件，因此，能够抑制光反射部件上 产生的挠曲(歪斜)。从而，能够进一步提高由光反射部件和轴部件构成的振动系统的振动 数(频率数)，进一步增大光反射部件围绕规定轴摆动时的角度，能够实现具有优异的扫描 范围的光扫描仪。本发明涉及的图像形成装置具有上述的、本发明涉及的光扫描仪。根据该构成，具有上述的、本发明涉及的光扫描仪，因此，能够进一步提高振动系 统的振动数(频率数)，进一步增大光反射部件围绕规定轴摆动时的角度。从而，能够形成 高分辨率的图像，能够实现具有优异的扫描特性的图像形成装置。
图1是说明本发明涉及的光学器件的第一实施方式的构成的俯视图。
图2是说明图1所示的轴部件和支承部件的俯视图。图3是说明图1所示的光反射部件的表面图和背面图。图4是图1所示的I-I线处的剖视图。图5是说明本发明涉及的光学器件的第二实施方式的光反射部件的表面图和背 面图。图6是说明本发明涉及的光学器件的第二实施方式的构成的侧面剖视图。图7是表示具有本发明涉及的光扫描仪的图像形成装置的一例的概略图。符号说明如下1...光学器件；10...光反射部件；12...凹部；13...介入部件；20...轴部件；
21...安装部；22...弹性支承部；30...支承部件；31...固定部；32...框部(框架)； 40...磁铁；41...线圈；119...图像形成装置。
具体实施例方式下面结合附图对本发明的一实施方式进行说明。<光学器件>(第一实施方式)图1至图4表示本发明涉及的光学器件的第一实施方式，图1是说明本发明涉及 的光学器件的第一实施方式的构成的俯视图。此外，在以下的说明中，只要没有特别的记 载，图1中的X轴方向的尺寸为“长度”，Y轴方向的尺寸为“宽度”，Z轴方向的尺寸为“厚
/又 O如图1所示，光学器件1具有光反射部件10、轴部件20、支承部件30。光反射部件10和轴部件20形成为不同的部件，并且光反射部件10安装于轴部件20。另外，优选轴部 件20和支承部件30以大致处于同一平面的方式一体形成。图2是说明图1所示的轴部件和支承部件的俯视图。如图2所示，轴部件20具有 大致配置于中央的板状的安装部21、和一对弹性支承部22，该一对弹性支承部22将安装部 21支承为相对于支承部件30可围绕轴部件20的中心轴、即轴A摆动。支承部件30支承轴部件20，具有分别与一对弹性支承部22连接且将轴部件20的 两端固定的固定部31、和将固定部31彼此连结起来的框部(框架)32。在本实施方式中， 支承部件30构成为具有固定部31和框部(框架)32，但不局限于此，也可以构成为仅具有 固定部31而不具有框部(框架)32。轴部件20中的安装部21和弹性支承部22，例如能够通过对硅基板进行蚀刻加工 而一体形成。此外，在一体形成轴部件20和支承部件30的情况下，也同样能够通过对硅基 板进行蚀刻加工而一体形成。图3是说明图1所示的光反射部件的表面图(图3(a))和背面图(图3(b))。如 图3(a)所示，在光反射部件10的一个面(以下称为表面)上形成将入射的光反射的金属 膜11。金属膜11能够通过例如对硅基板进行蚀刻加工而成形为规定的形状之后，实施真空 蒸镀、喷溅、接合金属片等成膜方法来形成。此外，如图3(b)所示，在光反射部件10的另一 个面(以下称为背面)，大致在中心部形成凹部12。凹部12例如通过对硅基板进行蚀刻加 工而形成。
在本实施方式中，作为光反射部件10的平面形状表示为圆形，但不局限于此，只 要能够发挥作为光学器件1的光反射部件10的作用，可以为椭圆形、矩形、多边形等其他形 状。图4为图1所示的I-I线处的剖视图。另外，图1所示的I-I线被配置成与轴A 偏离规定距离。如图4所示，在安装部21的一个面(图4中上侧的面)经由未图示的粘接 剂接合有磁铁40。这样，由于将刚性高的磁铁40设置于安装部21，因此安装部21的刚性 得到提高。另外，作为磁铁40优选使用永久磁铁。磁铁40的上部嵌合于光反射部件10的凹部12，并且经由未图示的粘接剂与光反 射部件10接合。这样，光反射部件10经由磁铁40而设置于安装部21。在这里，在安装部 21与光反射部件10之间形成磁铁40的厚度左右的空间(空间)。因此，通过将磁铁40的 厚度设定为适当的值，光学器件1可以形成如下结构，即、在光反射部件10与安装部21 — 起围绕轴A摆动时，光反射部件10与框部(框架)32不接触的结构。例如，在光反射部件 10的直径为2mm、厚度为200 μ m,支承部件30的厚度为200 μ m的情况下，若设定磁铁40的 厚度为400 μ m，则即便光反射部件10围绕轴A摆动时的摆动角为40度，光反射部件10也 不会与框部(框架)32接触。 另外，优选凹部12的形状成形为俯视时与磁铁40的形状大致相同。此外，优选安 装部21的形状也成形为俯视时与磁铁40的形状大致相同。如图1那样俯视光学器件1时，光反射部件10为了遮住安装部21和设置于安装 部21的上面的磁铁40，而具有比安装部21和磁铁40大的面积。在这里，由于弹性支承部 22与安装部21连接，且安装部21的面积小于光反射部件10，因此，如图4所示，光学器件 1成为弹性支承部22自光反射部件10的端部向内侧进入部分B的结构。此外，俯视光学器件1时，磁铁40在与轴A垂直的方向(图1中的Y轴方向)磁 化。即，磁铁40具有隔着轴A对置的、彼此磁性不同的一对磁极。在本实施方式中，将磁铁 40作为与光反射部件10和轴部件20不同的部件进行了说明，但不局限于此，也可以与光反 射部件10或轴部件20 —体形成。这种情况下，磁铁40通过对光反射部件或安装部21的 面实施喷镀等成膜方法而形成。如图4所示，支承部件30经由未图示的粘接剂与支架50接合，在支架50的底部 51上，配置有用于使安装部21摆动的线圈41。线圈41相当于本发明的驱动单元。从未图 示的电源向线圈41供给规定频率的交流电流。由此，线圈41交替产生朝向上方的磁场和 朝向下方的磁场。由此，磁铁40的一对磁极当中的一个磁极相对于线圈41靠近，而另一个 磁极相对于线圈41分离，从而，一边使弹性支承部22扭转变形一边使安装部21和设置于 安装部21的光反射部件10以及磁铁40围绕轴A摆动。优选将供给到线圈41的交流电流的规定频率设定为，与由光反射部件10、轴部件 20、和磁铁40构成的振动系统的振动数(扭转共振频率)大致一致。通过如上述那样利用 共振，在使安装部21围绕轴A摆动时，能够以小的电力消耗来增大摆动角。在本实施方式中，表示了利用了磁铁40与线圈41之间的电磁力的驱动方式，但不 局限于此，也可以构成为在相当于强磁体的磁铁40、与相当于磁场产生单元的线圈41及电 源之间产生驱动力。此外，光学器件1只要在安装部21上设置有代替磁铁40的刚性部件 即可，可以采用利用了静电引力的方式、作为驱动单元利用了压电元件的驱动方式。例如，如果是利用了静电引力的方式，则不需要磁铁40，代替线圈41，在支架50的底部51的、与安装部21对置的位置上设置1个或多个电极。而且，通过在安装部21与该电极之间施加 规定频率的交流电压，在安装部21与电极之间产生静电引力，从而一边使弹性支承部22扭 转变形，一边使安装部21和设置于安装部21的光反射部件10以及磁铁40围绕轴A摆动。这样，根据本实施方式的光学器件1，磁铁40设置于安装部21，因此安装部的刚 性得到提高。由此，能够抑制在设置于安装部21的光反射部件10上产生的挠曲(歪斜)。 此外，由于光反射部件10设置于安装部21，因此光反射部件10不与弹性支承部22连接， 而是经由安装部21与轴部件20连接。由此，安装部21围绕轴A摆动时，通过磁铁40缓和 了基于弹性支承部22的扭转变形的力，因此，在以往的光反射部件中，能够抑制与弹性支 承部的连接部分产生的挠曲(歪斜)。此外，此外，光反射部件10具有大于安装部21的面 积。在这里，弹性支承部22与安装部21连接，安装部21的面积小于光反射部件10，因此， 光学器件1成为弹性支承部22自光反射部件10的端部向内侧进入部分B左右的结构。由 此，与弹性支承部与光反射部件的端部连接的现有光学器件相比，能够缩短轴部件20的长 度，能够使光学器件1小型化。此外，例如，在利用硅基板等材料制造光学器件1的情况下， 能够增加利用相同面积的材料制造出的光学器件1的数量，能够降低光学器件1的制造成 本。而且，光反射部件10经由磁铁40设置于安装部21。在这里，在安装部21与光反射部 件10之间形成了磁铁40的厚度左右的空间(空间)。因此，通过将磁铁40的厚度设定为 适当的值，光学器件1能够形成如下结构，即、光反射部件10与安装部21 —起围绕规定轴 摆动，并且光反射部件10与支承部件30不接触的结构。由此，即便在具有支承部件30的 情况下，也能够减小支承部件30的宽度，能够进一步使光学器件1小型化。此外，根据本实施方式中的光学器件1，具有构成为在与磁铁40之间产生驱动力 来使安装部21摆动的磁场产生单元，因此，例如，通过作为磁场产生单元而使用线圈41和 对线圈供给交流电流的电源，能够在与磁铁40之间产生电磁力，容易地使安装部21摆动。此外，根据本实施方式中的光学器件1，作为磁铁使用了永久磁铁，因此，安装部 21的刚性得到提高，并且，能够在与线圈41及电源之间产生更大的电磁力。此外，根据本实施方式中的光学器件1，磁铁40嵌合于光反射部件10的凹部12， 因此，易于将光反射部件10与磁铁40对准。此外，根据本实施方式中的光学器件1，安装部22具有与磁铁40大致相同的形状， 因此，将磁铁40设置于安装部22时，易于对准。此外，根据本实施方式中的光学器件1，轴部件20和光反射部件10作为不同的部 件形成，因此，不受一体形成轴部件20和光反射部件10时受到限制的长度、宽度、厚度等的 限制，而能够分别将长度、宽度、厚度等设定为适当的值来形成轴部件20和光反射部件10。 由此，能够容易地设计光学器件1。此外，根据本实施方式中的光学器件1，轴部件20与支承部件30 —体形成，因此， 提高了轴部件20与支承部件30的连接部分的刚性。由此，在安装部21围绕轴A摆动时， 降低了在轴部件20与支承部件30的连接部分断裂或破损的可能。(第二实施方式)图5和图6表示本发明涉及的光学器件的第二实施方式，图5是说明本发明涉及 的光学器件的第二实施方式的光反射部件的表面图和背面图。另外，采用相同符号表示与上述第一实施方式结构相同的部分，并省略了对其的说明。如图5(a)所示，与第一实施方式一样，在光反射部件10的表面形成将入射的光反 射的金属膜11。此外，如图5(b)所示，在光反射部件10的背面，大致在中心部形成介入部 件13。介入部件13可以例如通过对硅基板进行蚀刻加工，与光反射部件10 —体形成，也可 以形成为与光反射部件10不同的部件，通过粘接剂等与光反射部件10的背面接合。另外， 优选介入部件13的形状成形为俯视时与安装部22大致相同的形状。图6是说明本发明涉及的光学器件的第二实施方式的构成的侧面剖视图。另外， 该图与第一实施方式中的图4对应。如图6所示，如图6所示，在安装部21的一个面(图 6中下侧的面)经由未图示的粘接剂接合有磁铁40。此外，在安装部21的另一个面(图6 中上侧的面)上经由未图示的粘接剂接合有介入部件13。这样，光反射部件10经由介入部 件13设置于安装部21。在这里，在安装部21与光反射部件10之间形成介入部件13的厚 度左右的空间(空间)。因此，通过将介入部件13的厚度设定为适当的值，光学器件1能够 形成如下的结构，即、光反射部件10与安装部21 —起围绕轴A摆动时，框部(框架)32与 光反射部件10不接触的结构。
在本实施方式中，光反射部件10经由介入部件13设置于安装部21，但不局限于 此，也可以将光反射部件10直接设置于安装部21的另一个面。另外，由于在安装部21的一侧(图6中下侧)设置磁铁40，在安装部21的另一 侧(图6中下侧)设置了光反射部件10 (和介入部件13)，因此，能够容易地对由光反射部 件10 (和介入部件13)、轴部件20以及磁铁40构成的振动系统的重心进行控制。S卩，通过 适当设定光反射部件10 (和介入部件13)、轴部件20以及磁铁40各自的大小和位置，能够 将该振动系统的重心位置(图1所示的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的位置)配置于轴A 上。如上所述，根据本实施方式的光学器件1，与第一实施方式相同，磁铁40设置于安 装部21，因此安装部的刚性得到提高。由此，能够抑制在设置于安装部21的光反射部件10 上产生的挠曲(歪斜)。此外，光反射部件10设置于安装部21，因此，光反射部件10不与弹 性支承部22连接，而经由安装部21与轴部件20连接。由此，安装部21围绕轴A摆动时， 基于弹性支承部22的扭转变形的力被磁铁40缓和，因此，能够抑制在现有光反射部件中， 在与弹性支承部的连接部产生的挠曲(歪斜)。此外，光反射部件10具有比安装部21大的 面积。在这里，弹性支承部22与安装部21连接，安装部21的面积小于光反射部件10，因 此，光学器件1成为弹性支承部22自光反射部件10的端部向内侧进入部分B左右的结构。 由此，与弹性支承部连接于光反射部件的端部的现有光学器件相比，能够缩短轴部件20的 长度，能够使光学器件1小型化。此外，例如在用硅基板等材料制造光学器件1的情况下， 能够增加相同面积的材料制成的光学器件1的数量，能够降低光学器件1的制造成本。而 且，与第一实施方式不同，在安装部21的一个面上设置磁铁40，在安装部21的另一个面上 设置光反射部件10，因此，能够将由光反射部件10、轴部件20、以及磁铁40构成的振动系统 的重心配置于轴部件20的中心轴、即轴A上。由此，在安装部21围绕轴A摆动时，能够抑 制扭转之外的振动。此外，光反射部件10形成的反射光的轨迹精度好且呈直线状，因此，防 止了所描绘的图像的歪斜，且易于对光学器件1进行控制。此外，根据本实施方式的光学器件1，与第一实施方式相同，具有构成为在与磁铁40之间产生驱动力来使安装部21摆动的磁场产生单元，因此，例如作为磁场产生单元而使 用线圈41和对线圈供给交流电流的电源，从而与磁铁40之间产生电磁力，能够容易地摆动 安装部21。此外，根据本实施方式的光学器件1，与第一实施方式相同，作为磁铁40使用了永 久磁铁，因此安装部21的刚性得到提高，同时能够在其与线圈41及电源之间产生更大的电 磁力。此外，根据本实施方式的光学器件1，光反射部件10经由介入部件13设置于安装 部21。在这里，在安装部21与光反射部件10之间形成介入部件13的厚度左右的空间(空 间)。因此，通过将介入部件13的厚度设定为适当值，光学器件1能够成为如下的机构，即、 光反射部件10与安装部21 —起围绕轴A摆动时，光反射部件10与支承部件30不接触的 结构。由此，即便在具有支承部件30的情况下，也能够减小支承部件30的宽度，能够使光 学器件1更加小型化。此外，根据本实施方式的光学器件1，安装部21具有与介入部件13大致相同的形 状，因此，将介入部件13设置于安装部21时，易于进行对准。此外，根据本实施方式的光学器件1，与第一实施方式相同，轴部件20与光反射部 件 10形成为不同的部件，因此，不受一体形成轴部件20和光反射部件10时受到限制的长 度、宽度、厚度等的限制，而能够分别将长度、宽度、厚度等设定为适当的值来形成轴部件20 和光反射部件10。由此，能够容易地设计光学器件1。此外，根据本实施方式中的光学器件1，与第一实施方式相同，轴部件20与支承部 件30 —体形成，因此，提高了轴部件20与支承部件30的连接部分的刚性。由此，在安装部 21围绕轴A摆动时，能够降低在轴部件20与支承部件30的连接部分断裂或破损的可能。(光扫描仪)上述光学器件1具有光反射部件10，因此，可以优选适用于激光打印机、条码阅读 器、扫描型共聚焦激光显微镜、成像用显示器等图像形成装置中具有的光扫描仪。另外，本 发明涉及的光扫描仪的构成与上述光学器件1相同，因此省略了对其的说明。由此，根据本发明涉及的光扫描仪，具有上述的、本发明涉及的光学器件1，因此， 能够抑制光反射部件10上产生的挠曲(歪斜)，同时实现小型化。这样，能够使由光反射部 件10和轴部件20构成的振动系统的振动数(频率数)更大，光反射部件10围绕轴A摆动 时的摆动角更大，能够实现扫描范围大的光扫描仪。(图像形成装置)接着，参照图7对本发明涉及的图像形成装置进行说明。图7是具有本发明涉及 的光扫描仪的图像形成装置的一例的概略图。图7所示的图像形成装置(成像显示器)119具有作为本发明涉及的光扫描仪的 光学器件1，1 (红)、6(绿)、8(蓝)3色光源191、192、193，正交二向棱镜(X棱镜)194、电 流镜195、固定反射镜196、屏幕197。在上述图像形成装置119中，从光源191、192、193经由正交二向棱镜(cross dichroic prism) 194向光学器件1 (的光反射部件10)照射各颜色的光。此时，来自光源 191的红色光、来自光源192的绿色光和来自光源193的蓝色光在正交二向棱镜194中合 成。然后，在光反射部件10上反射的光(3色合成光)在电流镜195上反射了之后，在固定反射镜196上反射而照射到屏幕197上。此时，通过光学器件1的动作(安装部21围绕轴线X的摆动)，在光反射部件10 上反射的光沿着屏幕197的横向进行扫描(主扫描)。另一方面，通过电流镜195围绕轴线 Y转动，在光反射部件10反射的光沿着屏幕197的纵向进行扫描(副扫描)。此外，从各颜 色光源191、192、193出射的光的强度，根据从未图示的主机接收的图像信息而变化。由此，根据本发明涉及的图像形成装置119，具有上述的、本发明涉及的光扫描仪， 因此，能够使由光反射部件10和轴部件20构成的振动系统的振动数(频率数)更大，光反 射部件10围绕轴线X摆动的摆动角更大。这样，能够形成高分辨率的图像，能够实现具有 优异的描绘特性的图像形成装置119。另外，可以组合上述的各实施方式的结构或者替换一部分构成部分。此外，本发明 的构成，不局限于上述实施方式，在不脱离本发明的主题的范围内，可以进行各种变化。
权利要求
一种光学器件，其特征在于，具有，轴部件，其具有板状的安装部、以及将该安装部支承为可围绕规定轴摆动的弹性支承部；刚性部件，其设置于上述安装部的一个面；光反射部件，其设置于上述安装部的另一个面，且具有比上述安装部大的面积。
2.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，还具有设置于上述安装部的介入部件，上述光反射部件经由介入部件设置于上述安装部。
3.根据权利要求2所述的光学器件，其特征在于，上述安装部具有与上述介入部件大 致相同的形状。
4.一种光学器件，其特征在于，具有，轴部件，其具有板状的安装部及将该安装部支承为可围绕规定轴摆动的弹性支承部； 刚性部件，其设置于上述安装部；光反射部件，其经由该刚性部件设置于上述安装部，并且具有比上述安装部大的面积。
5.根据权利要求4所述的光学器件，其特征在于，上述刚性部件为强磁体，并且，该光学器件还具有在与该强磁体之间产生驱动力以使上述安装部摆动的磁场产 生单元。
6.根据权利要求5所述的光学器件，其特征在于，上述强磁体为永久磁铁。
7.根据权利要求4 6的任意一项所述的光学器件，其特征在于，上述光反射部件具有 凹部，上述刚性部件嵌合于该凹部。
8.根据权利要求4 7的任意一项所述的光学器件，其特征在于，上述安装部具有与上 述刚性部件大致相同的形状。
9.根据权利要求4 8的任意一项所述的光学器件，其特征在于，上述轴部件与上述光 反射部件形成为不同的部件。
10.根据权利要求4 9的任意一项所述的光学器件，其特征在于，还具有支承上述轴 部件的支承部件，上述轴部件与上述支承部件一体形成。
11.一种光扫描仪，其特征在于，具有权利要求1 10的任意一项所述的光学器件。
12.—种图像形成装置，其特征在于，具有权利要求11所述的光扫描仪。
全文摘要
提供一种能够抑制光反射部件的挠曲(歪斜)，并且能够小型化的光学器件、光扫描仪以及图像形成装置。光学器件(1)具有具有板状的安装部(21)、以及将该安装部(21)支承为可围绕轴(A)摆动的弹性支承部(22)的轴部件(20)，设置于安装部(21)的一个面的磁铁(40)，设置于安装部(21)的另一个面、且具有比安装部(21)大的面积的光反射部件(10)；轴部件(20)与光反射部件(10)形成为不同的部件。
文档编号H04N1/04GK101840051SQ20101013448
公开日2010年9月22日 申请日期2010年3月16日 优先权日2009年3月18日
发明者中村真希子, 沟口安志 申请人:精工爱普生株式会社