专利名称：声波发生器及其制造方法和使用声波发生器的声波发生方法
技术领域：
本发明涉及热激发型的声波发生器及其制造方法，和使用该声波发生器的声波发生方法。
背景技术：
在现有技术中，已知有各种的声波发生器。除去一部分特殊的声波发生器以外，其大部分的种类通过将振动部的机械振动转换为媒质(例如空气)的振动来发生声波。但是，在利用机械振动的声波发生器中，由于振动部具有固有的共振频率，所以发生的声波的频带窄。而且，由于共振频率因振动部的大小而变化，所以难以保持频率特性地实现微小化和阵列化。另一方面，提案有不利用机械振动的基于新原理的声波发生器。该声波发生器称作热诱发型声波发生器，公开在以下的各文献中。非专利文献1公开有如下声波发生器组合有具有相对高的热传导性的基层(P型结晶型Si层)和具有相对低的热传导性的隔热层 (微多孔Si层)，进一步配置有与基层一起夹持隔热层的Al(铝)薄膜。非专利文献2公开有如下声波发生器组合有具有相对高的热传导性的基层(单结晶Si层)和具有相对低的热传导性的隔热层(多孔的纳米结晶Si层)，进一步配置有与基层一起夹持隔热层的 W(钨)薄膜。在非专利文献1、2中记载有向Al薄膜或W薄膜供给包含交流成分的电力时，由于焦耳热该薄膜的温度周期性变化；由于隔热层的热传导性小，该周期地温度变化不会逃到基层侧而是传到与该薄膜接触的空气中；传到空气中的周期性的温度变化诱发空气密度的周期性变化而发生声波。热诱发型声波发生器能够无需机械振动地发生声波。因此，发生的声波的频带广。 而且，比较容易实现微细化和阵列化。专利文献1公开有在热激发型声波发生器中，就发生的声波的能量增大而言，优选因脉冲电流而引起的热的施加。专利文献1还公开有在表面具有突起的隔热层。专利文献2公开有向热激发型声波发生器施加在交流电流中重叠有直流电流的电流的技术。在专利文献2中记载有基层是单结晶Si基板，隔热层是多孔质Si层的声波发生器。专利文献3公开有具有通过阳极氧化处理和超临界干燥得到的隔热层(纳米结晶 Si层)的声波发生器。在专利文献3中还公开有隔热层的热物性值α C( α 热传导性，C: 热容量)相对基层的α C的比值越小输出的音压越大；隔热层的多孔度越高该层的α C越小；和隔热层优选具有75%以上的多孔度的纳米结晶Si层。专利文献4公开有如下声波发生器隔热层的α C相对基层的CiC的比值 /仏(1 :隔热层，S 基层)满足式1/100彡Q1C1ZasCs,并且基层的a C满足式 asCs ^ IOOXIO60专利文献4的技术基于如下的技术思想以使式a K1/CisCs所示的基层与隔热层的热对比超过1 100的方式组合基层和隔热层的技术思想；和选择具有高的α C的基层的技术思想。在专利文献4中，作为构成基层的材料记载有硅、铜和SiO2，作为构成隔热层的材料记载有多孔硅、聚酰亚胺、SiO2, Al2O3和聚苯乙烯泡沫体。在专利文献4 的基层和隔热层的最优选组合是由硅构成的基层和由多孔硅构成的隔热层的组合。现有技术文献专利文献专利文献1 日本专利3798302号公报专利文献2 日本特开2005-150797号公报专利文献3 日本专利3845077号公报专利文献4 日本专利3808493号公报非专利文献非专利文献 1 =Nature, vol. 400，26 August 1999，pp. 853-855非专利文献2 日本化学工学会，第37回秋季大会专题讨论会< Nano Processing (纳米加工) >预备稿 D-307 Q005)
发明内容
发明要解决的课题根据专利文献3、4，在声波发生器中，输出的音压由基层与隔热层的热对比Ci1C1/ asCs和基层的aC决定。但是，在现实中不一定是这样。本发明者发现只通过这些基层和隔热层的热特性，不能单纯地决定声波发生器的输出特性。其中一个原因可以推测为在像声波发生器那样的微小的结构体中，热传递和散逸经由非常复杂的过程进行。本发明基于现有技术不能预想到的基层和隔热层的组合，提供相比现有技术输出特性更优秀的声波发生器。用于解决课题的方法本发明的声波发生器包括基层；配置在上述基层上的隔热层；和向上述隔热层施加热脉冲的热脉冲源。上述基层由石墨或蓝宝石构成。上述隔热层由含有硅或锗的结晶性微粒子构成。本发明的声波发生器的制造方法是上述本发明的声波发生器的制造方法，包含以下的第一工序和第二工序。第一工序是如下工序在由石墨或蓝宝石构成的基层上形成分散了含有硅或锗的结晶性微粒子的溶液的涂敷膜，对上述形成的涂敷膜进行热处理，在上述基层上形成由上述微粒子构成的隔热层。第二工序是如下工序设置向上述隔热层施加热脉冲的热脉冲源。本发明的声波发生方法是使用声波发生器的声波发生方法。上述声波发生器包括基层；配置在上述基层上的隔热层；和向上述隔热层施加热脉冲的热脉冲源。上述基层由石墨或蓝宝石构成。上述隔热层由含有硅或锗的结晶性微粒子构成。该方法包含通过上述热脉冲源向上述隔热层施加热脉冲来发生声波的工序。本发明的效果本发明实现相比现有技术输出特性更优秀的声波发生器。
图1是示意性地表示本发明的声波发生器的一例的截面图。图2是示意性地表示本发明的声波发生器的隔热层所含的含有硅或锗的结晶性微粒子(二次粒子)的结构的一例的立体图。图3是示意性地表示在本发明的声波发生器的隔热层所含的含有硅或锗的结晶性微粒子(二次粒子)的结构的另外一例的立体图。图4是示意性地表示本发明的声波发生器的其它的一例的截面图。图5是示意性地表示本发明的声波发生器的其它的另外一例的截面图。图6是示意性地表示本发明的声波发生器的更加另外的一例的截面图。图7是表示使用本发明的声波发生器的物体检测传感器的结构的一例的示意图。图8A是表示应用本发明的声波发生器的壁面非破坏检查方法的一例的示意图。图8B是表示应用本发明的声波发生器的壁面非破坏检查方法的另外一例的示意图。图9是表示本发明的声波发生器的制造方法的一例的流程图。图10是表示本发明的声波发生器的制造方法的另外一例的流程图。图11是表示在实施例1中使用的硅微粒子的粒度分布的评价结果的图。图12A是表示在实施例1中制作的隔热层的截面的扫描型电子显微镜(SEM)像的图。图12B是示意性地表示图12A所示的截面的图。图13A是表示在实施例1中制作的隔热层的微粒子彼此的结合部分的SEM像的图。图1 是将图13A的框内放大的图。图13C是示意性地表示在实施例1中制作的隔热层的微粒子彼此的接合状态的图。图14是用于说明对在实施例中制作的声波发生器进行评价的测量系统的示意图。图15是表示在实施例1中制作的本发明的声波发生器(实施例1-1)的输出特性的图。图16是表示在实施例1中制作的本发明的声波发生器(实施例1-1)中，使施加的脉冲电压的最大值变化时的，从该声波发生器发送的声波的最大音压的变化的图。图17是表示在实施例3中使用的硅微粒子的粒度分布的评价结果的图。图18A是表示在实施例3中制作的隔热层的截面的SEM像的图。图18B是表示在实施例3中制作的隔热层的截面的SEM像的图。图18C是表示在实施例3中制作的隔热层的截面的SEM像的图。图18D是示意性地表示图18A 图18C所示的截面的图。图19是示意性地表示在实施例4中制作的本发明的声波发生器的立体图。
具体实施例方式[声波发生器]图1表示本发明的声波发生器的一例。图1所示的声波发生器I(IA)具有基层11、隔热层12和热脉冲源13。基板11以与隔热层12连接的方式配置在隔热层12上。基层11由石墨或蓝宝石构成。隔热层12由含有硅的结晶性微粒子或含有锗的结晶性微粒子构成。热脉冲源13配置成能够向隔热层12的与基层11侧相反的一侧的面施加热脉冲14。在声波发生器IA中，当从热脉冲源13向隔热层12施加热脉冲14时，通过热脉冲 14的交流成分给予隔热层12的热能的大部分，传到与隔热层12接触的媒质(例如空气) 中。此时，传到媒质的热能与交流成分的波形相应地随时间变化。因此，隔热层12附近的媒质密度随时间变化而发生声波15。除去具有正弦波波形的热脉冲14，热脉冲14 一般包含交流成分和直流成分。通过热脉冲14的直流成分给予隔热层12的热能，由于不随时间变化，所以对声波15的发生不作贡献。该热能从隔热层12移动到基层11，被从隔热层12 除去。由热脉冲14的施加而引起的隔热层12附近的媒质的密度变化，可以是周期性的也可以不是周期性的。为了实现输出特性优秀的声波发生器，需要实现如下热流状态将热脉冲的交流成分产生的热能高效地变化为声波，并且将直流成分产生的热能高效地散发到基层。在现有技术中，只着眼于由构成基层和隔热层的材料的热传导率α和热容量C的积aC表示的，两层的热物性值的对比(热对比)。相对于此，在本发明的声波发生器中，由特定的材料构成的基层11和隔热层12的组合是现有技术中没有的组合，由此达成与这样的热诱发型的声波发生相适应的热流状态。而且，本发明的声波发生器的输出特性比现有技术中的声波发生器高。基层11是由石墨或蓝宝石构成的层。只要能得到本发明的效果，基层11可以包含石墨或蓝宝石以外的材料。基层11典型的是与其隔热层12接触的面由石墨或蓝宝石形成的层。基层11的形状不作限定。可以根据本发明的声波发生器1的用途，任意选择基层 11的形状。基层11典型的为片(Sheet)状，但也可以是立体形状。立体形状的具体示例， 如实施例4所示是与隔热层12接触的面为抛物面的形状。隔热层12由含有硅的结晶性微粒子或含有锗的结晶性微粒子构成。该微粒子典型地是硅晶体的微粒子或锗晶体的微粒子。只要能得到本发明的效果，隔热层12可以包含该微粒子以外的材料。该材料是例如由其它材料构成的粒子；由硅或锗的结晶构成但粒径更大的粒子；含有硅或锗的非晶质的粒子；含有硅或锗的氧化物的粒子；和存在于这些粒子间的任意材料。本说明书的“微粒子”典型地具有IOnm 0. 5 μ m的平均直径。此处，微粒子的平均粒径是隔热层12的微粒子的粒度分布的中位数(median，中值)。微粒子的粒度分布能够通过扫描型电子显微镜(SEM)或透过型电子显微镜(TEM)进行的隔热层12的图像分析来评价。在粒度分布的评价时测量的“微粒子的粒径”定义为选择微粒子的最大截面形状且外接于该截面形状的，面积最小的四边形的长边。在微粒子为球状的情况下，该微粒子的粒径与球的直径相等。隔热层12的微粒子，优选从粒度分布的DlO (分布累积度10 %的粒径值)到 D90 (分布累积度90%的粒径值)在IOnm 0. 5 μ m的范围内。所谓“结晶性微粒子”，是指能通过广角X射线衍射(WAXD)测量或拉曼分光测量， 来测量在硅晶体或锗晶体中特有的衍射峰值或光谱峰值的微粒子。
构成隔热层12的含有硅或锗的结晶性微粒子(以下简单称作“微粒子”)的形状不作限定。微粒子例如为鳞片状或球状。微粒子的形状能够通过SEM或TEM的隔热层12 的图像分析确认。在隔热层12中，通常微粒子的一次粒子和该一次粒子凝聚成的二次粒子混在一起。二次粒子虽然粒径不同，但具有与一次粒子同样的形状的情况较多。用图2、3表示微粒子的二次粒子的例子。在图2所示例中，一次粒子51为鳞片状，一次粒子51凝聚成的二次粒子52也反映一次粒子51的形状为鳞片状。在图3所示例中，一次粒子53为球状，一次粒子53凝聚成的二次粒子M也反映一次粒子53的形状为球状。在隔热层12的一次粒子和二次粒子混在一起的状态下，隔热层12的一次粒子和二次粒子的各粒子的比例，以及二次粒子的形状，能够通过SEM或TEM的隔热层12的图像分析确认。在隔热层12的微粒子的一次粒子和二次粒子混在一起的情况下，一次粒子和二次粒子的双方粒子的平均粒径典型的为IOnm 0.5 μ m。另外，在这种情况下，一次粒子和二次粒子双方的粒子的粒度分布的从DlO到D90优选在IOnm 0. 5 μ m的范围内。隔热层12的结构，只要由含有硅和锗的结晶性微粒子构成，且配置在由石墨或蓝宝石构成的基层上，就不作限定。图12A表示在实施例1中制作的由鳞片状的微粒子构成的隔热层12的截面的SEM像，图12B示意性地表示该截面。图18A 18C表示在实施例3 中制作的由球状的微粒子构成的隔热层12的截面的SEM像，图18D示意性地表示该截面。 如这些图所示，隔热层12的微粒子优选具有以在该微粒子之间包含有无数孔隙的方式堆积且重叠的结构。换言之，隔热层12优选具有微粒子不是最密的填充而是随机地重叠的多孔结构。在这种情况下，隔热层12的热流状态和隔热层12与基层11之间的热流状态适合于声波15的发生，使声波发生器1的输出特性进一步提高。在图12A、12B、18A D所示隔热层12中，包含的孔隙的比例因隔热层12的部分而不同。具体来说，隔热层12的下层部分(隔热层12的基层11侧的部分)，与上层部分 (隔热层12的与基层11相反的一侧的部分)相比，含有孔隙的比例更高。即，该隔热层12 在其厚度方向上具有从基层11侧逐渐变小的微粒子密度的坡度(勾配)。隔热层12优选具有这样的结构。在这种情况下，隔热层12的热流状态和隔热层12与基层11之间的热流状态适合于声波15的发生，声波发生器1的输出特性进一步变高。除此以外，图12A、12B、18A D所示的隔热层12具有在其下层部分具有比较大的粒径的微粒子，在其上层部分具有比较小的粒径的微粒子的结构。即，该隔热层12在其厚度方向具有从基层11侧逐渐变小的微粒子的粒径的坡度。在这种情况下，隔热层12的热流状态和隔热层12与基层11之间的热流状态适合于声波15的发生，声波发生器1的输出特性进一步变高。隔热层12更优选在其厚度方向具有从基层11侧逐渐变小的微粒子的密度和粒径的坡度。具有这样的隔热层12的本发明的声波发生器1能够通过例如本发明的制造方法制造。在图12A、12B、18A D所示的隔热层12中，微粒子彼此在其微小的部分互相接合。此时优选在该微粒子彼此接合的部分中形成氧化膜且隔着该氧化膜微粒子彼此接合。 在这种情况下，隔热层12的热流状态和隔热层12与基层11之间的热流状态进一步适合于声波15的发生，声波发生器1的输出特性进一步变高。该氧化膜在含有硅的结晶性微粒子的情况下，例如由S^2构成。该氧化膜在含有锗的结晶性微粒子的情况下，例如由GeA构成。在微粒子中形成有氧化膜的部分，例如为2 IOnm程度的长度。氧化膜可以由自然氧化形成，也可以由等离子体氧化或自由基氧化等的积极的氧化方法形成。隔热层12的厚度至少需要有不会因基层11与热脉冲源13的热短路而使声波15 的发生停止的程度。另一方面，为了防止因热滞留，特别是因由不对声波15发生做贡献的热脉冲14的直流成分而向隔热层12施加的热滞留，而使声波15的发生效率低下，不能使用过度厚的隔热层12。从这些观点上看，隔热层12的厚度优选为IOnm 50 μ m，且进一步优选为50nm 10 μ m。对于热脉冲源13的结构和本发明的声波发生器的热脉冲源13的配置，只要能向隔热层12施加热脉冲就不作限定。在图1所示的声波发生器IA中，基层11和隔热层12的层叠体与热脉冲源13单独地配置。在这样的声波发生器中，热脉冲源13通常配置成能够从隔热层12的与基层11 侧相反的一侧的面向隔热层12施加热脉冲14。在基层11由蓝宝石构成的情况下，由于蓝宝石对于波长为0. 2 5 μ m程度的光是透明的，所以能够将热脉冲源13配置成根据热脉冲源13的种类(例如受激准分子激光器(excimer laser)、YAG激光器)，能够从隔热层12 的基层11侧的面向隔热层12施加热脉冲14。热脉冲源13例如具有激光照射装置或红外线照射装置。激光器例如是脉冲激光器。此时，在不具有后述的热脉冲发生层16的声波发生器(图1所示的声波发生器1A)中， 隔热层12由因该激光或红外线而发热的材料构成。热脉冲源13例如具有在隔热层12的与基层11侧相反的一侧的面上配置的，向隔热层12施加热脉冲的热脉冲发生层(发热层)。图4表示具有这样结构的本发明的声波发生器I(IB)。图4所示的声波发生器IB具有这样的热脉冲发生层16。热脉冲发生层 16与基层11和隔热层12形成一体。具有热脉冲发生层16的声波发生器1B，与图1所示的声波发生器IA相比，通过热脉冲源13向隔热层12施加的热的效率高。热脉冲发生层16是例如因从热脉冲源13所具有的激光照射装置或红外线照射装置照射的激光或红外线的能量而发生热脉冲的层。这样的热脉冲发生层16，由通过激光或红外线发热的材料构成。热脉冲发生层16是例如通过向该层供给的脉冲电流或脉冲电压(以下，双方都称作“电力脉冲(电脉冲)”)而发生热脉冲的电热层。此时，如图5所示的声波发生器1(1C)， 热脉冲源13可以进一步具有向热脉冲发生层(电热层)16供给电力脉冲的电力供给线 17A、17B。具有这样的热脉冲源13的声波发生器1C，由于能够通过控制向热脉冲发生层16 供给的电力脉冲来控制声波15的发生，所以控制特性优秀。而且，向隔热层12施加热的效率高且声波的输出特性进一步变高。因电力脉冲而发生热脉冲的热脉冲发生层16，优选由通过电力的施加能得到期望的发热的电阻材料构成。该材料例如是碳材料。具体来说，是例如对有机材料进行热处理而得到的碳材料。该材料的电阻率优选为10 Ω/square IOK Ω/square。热脉冲发生层16的厚度没做特别限定。电力供给线17A、17B通常由具有导电性的材料构成。热脉冲源13中的，具体的热脉冲发生层16的形状、电力供给线17A、17B的形状、热脉冲发生层16与电力供给线17A、17B的电连接的状态没有特别地限定。隔热层12具有因电力脉冲的供给而能够作为电热层起作用的电阻率的情况下， 可以作为具有隔热层和热脉冲发生层两个功能的隔热层12。图6表示具有这样的隔热层 12的本发明的声波发生器。在图6所示的声波发生器I(ID)中，在隔热层12电连接有电极供给线17A、17B，隔热层12作为热脉冲发生层16起作用。这样的隔热层12由例如经过特定温度范围的热处理的含有锗的结晶性微粒子构成。本发明的声波发生器具有如下结构热脉冲源具有配置在隔热层的与基层侧相反的一侧的面上的热脉冲发生层(发热层)，并且该热脉冲发生层是通过向该层供给的电力脉冲而发生热脉冲的电热层，本发明的声波发生器通过该结构显示0. lPa/ff以上，乃至 0.21^/W以上、0.51^/W以上的输出因子(单位施加电力的输出音压)。这种高输出的因子实现本发明的声波发生器的作为物体检测用的超声波音源特别是小型和省电力(例如IW 以下的驱动电力)的超声波音源的使用。根据该超声波音源，实现例如对偏离数十cm到数 m程度的对象物照射超声波，用高感度麦克检测其反射声波，来检测该对象物的距离和位置的物体检测传感器。图7表示这样的物体检测传感器的结构的一例。图7所示的物体检测传感器101 具有本发明的声波发生器1、向声波发生器1供给电力脉冲的驱动电路102、采音麦克 103、连接到采音麦克103的输出信号放大器104、A/D转换器105和运算装置106。在物体检测传感器101中，通过驱动电路102向声波发生器1施加电力脉冲，从声波发生器1发生声波15。为了检测对象物107的距离和位置，声波15优选为超声波。从声波发生器1发送的声波15在对象物107反射，反射波108返回物体检测传感器101。通过采音麦克103将反射波108转换为电信号。该电信号经过输出信号放大器104和A/D转换器105后，由运算装置106进行处理，来测量对象物107相对物体检测传感器101的距离和位置。本发明的声波发生器1的输出特性高，因此物体检测传感器101为高感度。本发明的声波发生器的用途不限定于物体检测传感器，能够应用于具有声波发生器的现有技术中的任意设备。在本发明的声波发生器中对基层的形状没有要求。因此，本发明的声波发生器例如能够应用于壁面的非破坏检查。图8A表示应用了本发明的声波发生器的壁面非破坏检查的方法的一例。在图8A所示例中，基层(未图示)和隔热层12配置成与壁面111的检查的对象面连接。隔热层12露出，基层由壁面111和隔热层12夹持。这样的基层例如能够通过在壁面111的检查对象面层叠石墨薄板而形成。该基层上的隔热层12能够通过例如将单独形成的隔热层12粘贴到基层而形成。而且，从具有热脉冲源和声波检测部的单元 112向隔热层12施加热脉冲。热脉冲通过例如激光、红外线、微波施加到隔热层12。伴随着热脉冲的施加，隔热层12发送声波15，发送的声波15通过单元112的声波检测部来测量。在声波15中包含壁面111的表面和内部的信息。该信息是例如壁面111的经历(履历)、构成壁面111的材料的结构、壁面111中存在的损伤。壁面111的形状没有限定，例如可以是图8B所示的形状。图8B所示的结构，除壁面111的形状不同以外，与图8A所示的结构相同。以下的表1表示各种材料的热物性值。表1
权利要求
1.一种声波发生器，其特征在于，包括基层；配置在所述基层上的隔热层；和向所述隔热层施加热脉冲的热脉冲源，其中所述基层由石墨或蓝宝石构成，所述隔热层由含有硅或锗的结晶性微粒子构成。
2.如权利要求1所述的声波发生器，其特征在于 所述热脉冲源具有热脉冲发生层，该热脉冲发生层配置在所述隔热层的与所述基层侧的面相反的一侧的面上且向所述隔热层施加热脉冲。
3.如权利要求2所述的声波发生器，其特征在于所述热脉冲发生层是通过向该层供给的脉冲电流或脉冲电压来发生热脉冲的电热层， 所述热脉冲源还具有向所述电热层供给所述脉冲电流或脉冲电压的电力供给线。
4.如权利要求2所述的声波发生器，其特征在于 所述热脉冲发生层由碳材料构成。
5.如权利要求1所述的声波发生器，其特征在于所述隔热层的所述微粒子的粒度分布的中位数是IOnm 0. 5 μ m。
6.一种声波发生器的制造方法，其是权利要求1所述的声波发生器的制造方法，该声波发生器的制造方法的特征在于，包括第一工序，其在由石墨或蓝宝石构成的基层上形成分散了含有硅或锗的结晶性微粒子的溶液的涂敷膜，对所述形成的涂敷膜进行热处理，在所述基层上形成由所述微粒子构成的隔热层；和第二工序，其设置向所述隔热层施加热脉冲的热脉冲源。
7.如权利要求6所述的声波发生器的制造方法，其特征在于所述热脉冲源包括热脉冲发生层，该热脉冲发生层配置在所述隔热层的与所述基层侧的面相反的一侧的面上且向所述隔热层施加热脉冲， 所述热脉冲发生层由碳材料构成，所述第二工序是如下工序在第一工序中形成的所述隔热层的与所述基层侧相反的一侧的面上，形成通过热处理而成为碳材料的前体溶液的涂敷膜，对所述形成的涂敷膜进行热处理，形成所述热脉冲层。
8.一种使用声波发生器的声波发生方法，其特征在于所述声波发生器包括基层；配置在所述基层上的隔热层；和向所述隔热层施加热脉冲的热脉冲源，其中所述基层由石墨或蓝宝石构成，所述隔热层由含有硅或锗的结晶性微粒子构成，该声波发生方法包含通过所述热脉冲源向所述隔热层施加热脉冲来发生声波的工序。
9.如权利要求8所述的声波发生方法，其特征在于所述热脉冲源具有热脉冲发生层，该热脉冲发生层配置在所述隔热层的与所述基层侧的面相反的一侧的面上且向所述隔热层施加热脉冲，所述工序是通过所述热脉冲发生层向所述隔热层施加热脉冲来发生声波的工序。
10.如权利要求9所述的声波发生方法，其特征在于所述热脉冲发生层是通过向该层供给的脉冲电流或脉冲电压来发生热脉冲的电热层， 所述热脉冲源还具有向所述电热层供给所述脉冲电流或脉冲电压的电力供给线， 所述工序是如下工序通过经由所述电力供给线向所述电热层供给所述脉冲电流或脉冲电压而在该层发生热脉冲，向所述隔热层施加所发生的热脉冲来发生声波。
全文摘要
本发明提供一种声波发生器，其基于现有技术不能预想的基层和隔热层的组合，具有比现有技术更加优秀的输出特性。该声波发生器包括基层；配置在上述基层上的隔热层；向上述隔热层施加热脉冲的热脉冲源，其中，上述基层由石墨或蓝宝石构成，上述隔热层由含有硅或锗的结晶性微粒子构成。热脉冲源是热脉冲发生层，该热脉冲发生层配置在上述隔热层的与上述基层侧的面相反的一侧的面上且向上述隔热层施加热脉冲。
文档编号H04R31/00GK102450036SQ20108002390
公开日2012年5月9日 申请日期2010年6月3日 优先权日2009年6月8日
发明者小田川明弘 申请人:松下电器产业株式会社