专利名称：无热阵列波导光栅波分复用器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种光学器件，尤其涉及一种无热阵列波导光栅波分复用器。
背景技术：
随着网络通讯的发展，光纤网络的数据传送速度越来越快，对光纤网络的容量要求也越来越高。现在的高速光纤网络系统中，波分复用技术常用于提高光纤网络的容量，该技术主要使用阵列波导光栅波分复用器实现。现有一种阵列波导光栅波分复用器的结构如图1所示，其具有硅材料制成的平面衬底10，衬底10的上表面沉积有波导层，波导层包括输入光波导11、输入平板波导12、阵列波导16、输出平板波导14以及输出光波导15。通常，波导层由硅石玻璃材料制成，阵列波导16由多根并列的条形波导13构成，且多根条形波导13弯曲并列设置，相邻的两根条形波导13之间存在长度差，且每一根条形波导13的长度均不相同。输入光波导11的输出端连接至输入平板波导12，输入平板波导12通过多根条形波导13连接至输出平板的波导14，输出平板波导14的输出端连接至多根输出光波导15。当输入光波导11中传输的复用光信号进入输入平板波导12时，该复用光信号在侧向不再受约束，于是因衍射而展开。侧向衍射展开的复用光信号耦合进入多根条形波导 13并在多根条形波导13中传播。由于多根条形波导13相互之间存在长度差，在各根条形波导13中传播的复用光信号在到达输出平板波导14时，相互之间存在一定的相位差。这些相位差引起输出平板波导14内的波前倾斜。由于相移大小与波长相关，各波长光信号的汇聚成像位置依赖于输入光波长，在不同的成像位置处设置的输出光波导15可将不同波长的光信号分解到相应的输出光波导15中，完成解复用功能。反之，将图1中的输入光波导11改为输出光波导，将图1中的输出光波导15改为输入光波导，可将输入波导中的具有不同波长的光信号汇聚到同一根输出波导中，完成复用功能。因此，根据输入光线方向的不同，现有的波分复用器可实现复用或解复用的功能。波分复用器的中心波长会受到温度变化的影响，现有的波分复用器中心波长变化随温度的变化的典型值是0. 011nm/°C，随着温度变化越大，中心波长变化越大，这一现象称为温度漂移。由于温度漂移对波分复用器的工作稳定性有很大的影响，人们对波分复用器进行改进以减少温度漂移。参见图2，现有一种无热阵列波导光栅波分复用器包括衬底20，衬底20上沉积有波导层，波导层包括输入光波导23、输入平板波导24、阵列波导25、输出平板波导沈以及输出光波导27，其中阵列波导25包括多根并列且弯曲设置的条形波导，相邻的两根条形波导之间存在长度差。阵列波导光栅波分复用器被一个分割面四分割成两部分，分别是第一部分21与第二部分22，且分割面四横向穿过输入平板波导24。阵列波导光栅波分复用器的波导层上还设有滑动件观，滑动件观的两端分别固定在第一部分21与第二部分22上，滑动件观由线性热膨胀系数大于衬底20的材料制成，如铝质材，当温度发生变化时，滑动件28会随温度变化而伸缩，第一部分21相对于第二部分22在衬底20平面内发生位移，此时输入平板波导M被分割的两个部分也会发生相对位移，从而对波分复用器的中心波长进行补偿。无热阵列波导光栅波分复用器的中心波长随温度变化曲线是开口朝上的抛物线形状，如图3的虚线a-b-c所示。这里，设置波分复用器的中心波长在20°C时温度漂移为零，但温度在_30°C到70°C变化时，中心波长的最大漂移达到0. 04纳米，在温度变化更大的环境下，或者在带通更宽、频率间隔小于100G赫兹的网络系统中，该种温度漂移特性的波分复用器的性能将会受到严重的影响。此外，阵列波导光栅波分复用器是在衬底20的基础上，经过后续精密而昂贵的工艺操作，如火焰水解沉积、光刻、反应离子束刻蚀等制作出波导层才得到的，制作成本较高。 上述的波分复用器在波导层上直接设置滑动件观，其占用波导层较大的面积，造成极大的浪费，也增加了波分复用器的生产成本。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种生产成本较低的无热阵列波导光栅波分复用器。本发明的另一目的是提供一种中心波长温度漂移较小的无热阵列波导光栅波分
見用器。为了实现上述的主要目的，本发明提供的无热阵列波导光栅波分复用器包括阵列波导光栅芯片，具有平面衬底，衬底上衬底上设有输入光波导、与输入光波导连接的输入平板波导、输出光波导、与输出光波导连接的输出平板波导、连接在输入平板波导与输出平板波导之间的多根条形波导，其中，还包括基板以及滑动组件，阵列波导光栅芯片固定在基板的上表面，基板被至少一个分割面分割成第一部分及第二部分，分割面横向穿过输入平板波导与输出平板波导中的至少一个，滑动组件的两端分别固定在第一部分与第二部分上， 且滑动组件是具有随温度变化而长度改变的伸缩杆。由上述方案可见，滑动组件并不直接设置在阵列波导光栅芯片的波导层上，而是设置在基板上，制作成本较高的阵列波导光栅芯片固定在制作成本较低的基板上，这样可大大减小所需阵列波导光栅芯片的面积，从而降低无热阵列波导光栅波分复用器的生产成本。一个优选的方案是，伸缩杆上开设有至少一个填充孔，填充孔内填充有填充物，填充物的线性热膨胀系数小于伸缩杆的线性热膨胀系数。由此可见，在温度变化较大时，填充物的线性变化不明显，填充物能抵接在填充孔的两端壁上，避免伸缩杆收缩的长度过大，从而减少伸缩杆的长度变化，进而减少无热阵列波导光栅波分复用器中心波长的温度漂移。进一步的方案是，无热阵列波导光栅波分复用器还包括偏移抑制组件，具有一个夹子以及第一压板，第一压板具有抵接部，抵接部抵接在第一部分的上表面及第二部分的上表面，夹子的第一抵接边抵接在第一压板背对抵接部的表面上。可见，使用夹子直接或间接地在垂直于基板上表面的方向上夹持基板的上下表面，可避免第一部分在垂直方向上相对于第二部分发生偏移，从而确保无热阵列波导光栅波分复用器工作的稳定性。本发明的无热阵列波导光栅波分复用器还可以是包括阵列波导光栅芯片，其具有平面衬底，衬底上设有输入平板波导、输出光波导、与输出光波导连接的输出平板波导、连接在输入平板波导与输出平板波导之间的多根条形波导，并包括基板，阵列波导光栅芯片固定在基板的上表面，基板被至少一个分割面分割成第一部分及第二部分，分割面横向穿过所述输入平板波导的端面，一输入光纤固定在第一部分上，且输入光纤的输出端正对输入平板波导，还具有滑动组件，滑动组件的两端分别固定在第一部分与第二部分上，且滑动组件为具有随温度变化而长度改变的伸缩杆。 由上述方案可见，滑动组件并不直接设置在阵列波导光栅芯片的波导层上，而是设置在基板上，制作成本较高的阵列波导光栅芯片固定在制作成本较低的基板上，这样可大大减小阵列波导光栅芯片的面积，降低了无热阵列波导光栅波分复用器的生产成本。
图1是现有一种阵列波导光栅波分复用器的结构图。
图2是现有一种无热阵列波导光栅波分复用器的结构图。
图3是几种阵列波导光栅波分复用器的中心波长与温度关系的曲线图。
图4是本发明第一实施例的结构图。
图5是图4中A-A向的剖面放大图。
图6是本发明第一实施例的第一变形例中滑动组件与基板的剖面图。
图7是本发明第一实施例的第二变形例中滑动组件与基板的剖面图。
图8是本发明第二实施例的结构图。
图9是本发明第四实施例的局部结构图。
图10是图9中B-B向的剖面放大图。
图11是本发明第五实施例的结构图。
图12是图11中C-C向的剖面放大图。
图13是本发明第六实施例中偏移抑制组件与基板、输入平板波导的剖面图。
图14是本发明第三实施例的结构图。
以下结合附图及实施例对本发明作进一步说明。
具体实施例方式第一实施例
参见图4，本实施例具有一块基板30，基板30的上表面设有阵列波导光栅芯片35，阵列波导光栅芯片35具有平面衬底36，衬底36由硅材料制成，衬底36上沉积有波导层，波导层具有输入光波导37、输入平板波导38、阵列波导39、输出平板波导40以及输出光波导 41，其中阵列波导39具有多根并列设置且弯曲的条形波导，相邻的两根条形波导之间存在
长度差。本实施例中，基板30由硅材料制成，即基板30与衬底36的材料相同。阵列波导光栅芯片35制作完毕后使用胶水粘接在一块面积较大的基板30上。当然，实际应用时，基板30还可以使用耐热玻璃(Pyrex)或因瓦(Invar)合金等材料制作。基板30被分割面33分割成两部分，分别是面积较小的第一部分31与面积较大的第二部分32，分割面33包括两个平面，其中一个平面横向穿过输入平板波导38，从而将输入平板波导38分割成第一输入平板波导42与第二输入平板波导43。本发明所说的横向穿过，是指分割面沿着基本垂直于输入平板波导38轴线的方向延伸并穿过输入平板波导38， 且分割面33分割输入平板波导38。本实施例中，分割面33垂直于输入平板波导38的上表面。当然，分割面33也可以与输入平板波导38的上表面形成一个角度较小的夹角，如8°的夹角。由于基板30被分割成第一部分31与第二部分32，因此第一部分31可相对于第二部分32发生位移。同时，由于位于第一部分31上的阵列波导光栅芯片35的部分是粘接在第一部分31上，因此当第一部分31相对于第二部分32发生位移时，第一输入平板波导42 也会相对于第二输入平板波导43发生位移。通过调节第一输入平板波导42与第二输入平板波导43的相对位置，能调节无热阵列波导光栅波分复用器的中心波长。这样，在不同温度下，控制第一输入平板波导42与第二输入平板波导43的相对位置，能实现对中心波长的调节，从而实现对温度漂移的补偿，提高无热阵列波导光栅波分复用器的工作稳定性。为了实现对第一输入平板波导42与第二输入平板波导43的相对位置的调节，本实施例的基板30上设有滑动组件50。参见图5，滑动组件50具有一根伸缩杆51，伸缩杆 51由线性热膨胀系数大于硅材料的材料制成，如铝质材料制成，伸缩杆51的两端分别通过固定件52、53固定在第一部分31与第二部分32上。本实施例中，固定件52、53选用具有透UV光的材料制成。由于耐热玻璃具有与硅材料相接近的线性热膨胀系数，且能透UV光， 因此选用耐热玻璃作为制作固定件52、53的材料。由于伸缩杆51的长度随温度变化而发生较大变化，因而能在不同温度下调节第一部分31与第二部分32的相对位置，从而改变第一输入平板波导42与第二输入平板波导 43的相对位置，实现对中心波长的补偿，减少温度漂移对中心波长的影响。此外，由于滑动组件50固定在制作成本较低的基板30上表面，而不是设置在阵列波导光栅芯片的波导层上，因此阵列波导光栅芯片的面积能做得很小，避免因使用面积较大的阵列波导光栅芯片而造成浪费，从而降低无热阵列波导光栅波分复用器的生产成本。当然，本实施例中，分割面33是横向穿过输入平板波导38，实际应用时，分割面33 也可以横向穿过输出平板波导40，或者横向地穿过输入平板波导38与输出平板波导40。此外，本实施例中，滑动组件还可以设计成如图6与图7的形状，图6中，伸缩杆55 设计成桥形，固定件56、57分别位于伸缩杆55两端靠近第一部分31与第二部分32上表面处。图7中，伸缩杆58设计成桥形，且两端直接固定在第一部分31及第二部分32上，而不设置固定件。第二实施例
参见图8，本实施例具有基板60，基板60由硅材料制成。在基板60上表面固定有阵列波导光栅芯片65，阵列波导光栅芯片65包括平面衬底66，衬底66上设有输入光波导67、与输入光波导67输出端连接输入平板波导68、输出光波导71、与输出光波导71输入端连接的输出平板波导70，衬底66上还设有连接在输入平板波导68与输出平板波导70之间的阵列波导69，阵列波导69由多根并列且弯曲的条形波导构成。基板60被分割面63分割成第一部分61及第二部分62，第一部分61可相对于第二部分发生位移，且分割面63刚好横向地穿过输入平板波导68靠近输入光波导67的端面。当第一部分61与第二部分62发生相对位移时，输入光波导67与输入平板波导68将发生相对位移，同样能实现对中心波长进行补偿的目的。基板60上还设有滑动组件72，滑动组件72的两端分别固定在第一部分61与第二部分62上，且滑动组件具有伸缩杆，伸缩杆由铝质材料制成，其线性热膨胀系数大于基板 60的线性热膨胀系数，以便在温度变化时调节第一部分61与第二部分62的相对位置。滑动组件72的结构与第一实施例中滑动组件的结构相同，在此不再赘述。第三实施例
本实施例是在第二实施例的基础上对组件有所改变而得到的。本实施例具有基板，且基板被分割面分割成相互分离的第一部分以及第二部分，且分割面刚好横向地穿过输入平板波导靠近输入光纤的端面。阵列波导光栅芯片的输入平板波导、阵列波导、输出平板波导以及输出光波导位于第二部分，而粘接在第一部分上的仅为一根输入光纤。也就是说，把第二实施例中粘接在第一部分61上的仅包含输入光波导67的阵列波导光栅芯片部分替换为一根输入光纤来实现无热阵列波导光栅复用器。如图14所示，输入光纤167不是制作在衬底上，而是直接粘接在基板上，且输入光纤167的输出端正对输入平板波导168。此外，本实施例还设有滑动组件172，滑动组件172的两端分别固定在第一部分与第二部分上，滑动组件172的结构与第二实施例中滑动组件的结构相同，不再赘述。滑动组件172具有伸缩杆，伸缩杆的线性热膨胀系数大于基板的线性热膨胀系数，以便在温度变化时调节第一部分与第二部分的相对位置，也就是调节输入光纤167与输入平板波导168之间的相对位置，从而实现对中心波长的温度漂移的补偿。此外，滑动组件172两端固定在基板上，而不是固定在波导层上，这样能减少波导层的面积，从而降低波分复用器的生产成本。第一实施例、第二实施例与第三实施例中，伸缩杆由铝制成，其线性热膨胀系数为 23. 6ppm/°C，而基板由硅材料制成，其线性热膨胀系数为2. 5ppm/°C，因此，使用铝质的伸缩杆用来补偿无热阵列波导光栅波分复用器的中心波长随温度漂移的长度值较大。补偿后的无热阵列波导光栅波分复用器，温度在-30°C到70°C变化时，其中心波长的偏移量为0. 04 纳米，中心波长随温度变化的曲线如图3中的虚线a-b-c所示，其仍不能满足带通较宽的网络系统的工作要求，本发明还对滑动组件改进以减少中心波长的温度漂移。第四实施例
本实施例具有基板，基板上设有阵列波导光栅芯片，阵列波导光栅芯片具有衬底，衬底上设有输入光波导、输入平板波导、阵列波导、输出平板波导以及输出光波导，上述结构与第一实施例相同，不再赘述。参见图9与图10，基板被分割面83分割成第一部分81以及第二部分82，滑动组件84固定在基板上，且滑动组件84的两端分别固定在第一部分81与第二部分82上。滑动组件84包括一个伸缩杆85，伸缩杆85由铝质材料制成，伸缩杆85的两端通过固定件86、87分别固定在第一部分81与第二部分82上。伸缩杆85上开设有一个填充孔88，填充孔88为贯穿伸缩杆85上下表面的通孔，填充孔88内填充有填充物89。填充物 89由线性热膨胀系数小于伸缩杆84线性热膨胀系数的材料制成，本实施例中，填充物89为铜，其线性热膨胀系数为16. 4ppm/°C。填充物89的一端固定在填充孔88的一个端壁上，另一端为自由端，即不与填充孔88的另一个端壁固定。
在温度为20°C时，填充物89填充在填充孔88内，且填充物89与填充孔88两端壁刚好相互接触且不产生相互作用力。温度低于20°C时，填充物89收缩距离较小，其两端将抵接填充孔88的两端壁，从而抑制伸缩杆85的收缩长度。在温度高于20°C时，填充物89 的自由端与填充孔88的端壁不接触，因此填充物89与填充孔88之间不产生相互作用力。通过填充物89对伸缩杆85收缩长度的补偿后，在温度变化从_30°C到70°C时，无热阵列波导光栅波分复用器内的中心波长偏移量只有0.01纳米，中心波长与温度的关系曲线如图3中的实线d-e-f-g-h所示。本实施例中，设置无热阵列波导光栅波分复用器中心波长的偏移量在_5°C和45°C时为零。可见，相对于第一实施例与第二实施例，本实施例具有更好的温度稳定性。实际应用时，伸缩杆85上可设置两个或多个填充孔，每一填充孔填充有不同材质的填充物，如其中一个填充孔填充铜作为填充物，另一填充孔填充银作为填充物等，且两种填充物的线性热膨胀系数不相同，这样能更好地实现对中心波长的补偿。此外，不同填充孔内填充的填充物也可以是相同的物质，即具有相同的线性热膨胀系数，这并不影响本发明的实施。基板的第一部分81与第二部分82通过滑动组件84连接在一起，并且在平行于基板上表面的方向上可以通过无源耦合技术实现精确的对准。然而，当无热阵列波导光栅波分复用器受到震动时，在垂直于基板上表面的方向上，第一部分81与第二部分82之间很容易失准，即形成偏移。第五实施例
参见图11，本实施例具有基板90，基板90上设有阵列波导光栅芯片95，阵列波导光栅芯片95包括平板衬底96，衬底96上设有波导层，波导层包括输入光波导97、输入平板波导 98、阵列波导99、输出平板波导100以及输出光波导101，其中阵列波导99由多根弯曲且并列设置的条形波导构成。基板90被分割面93分割成第一部分91以及第二部分92，且分割面93横向穿过输入平板波导98。基板90上还设有滑动组件102，滑动组件102的两端分别固定在第一部分91以及第二部分92上，且滑动组件102还设有伸缩杆，伸缩杆由线性热膨胀系数大于基板90的线性热膨胀系数的材料制成。本实施例还设有偏移抑制组件110，用于抑制第一部分91的基板相对第二部分92 的基板产生在垂直于基板平面方向上的移动或转动。参见图12，偏移抑制组件110包括一个夹子111以及压板115，压板115具有两个抵接脚116，两个抵接脚116构成了本实施例的抵接部。两个抵接脚116位于压板115—对相对的侧边上，并且从压板115的板体向基板上表面方向延伸，两个抵接脚116抵接在基板的上表面上。两个抵接脚116之间形成一定空间，输入平板波导98位于两个抵接脚116之间，且输入平板波导98的上表面不与压板 115接触，这样，压板115不会挤压输入平板波导98，避免对输入平板波导造成影响。夹子111具有上下两条抵接边112、113，其中抵接边112抵接在压板115背对基板的表面上，抵接边113抵接在基板的下表面上。从图11可见，偏移抑制组件110跨越第一部分91以及第二部分92，因此压板115的两个抵接脚116将抵接在第一部分91的上表面以及第二部分92的上表面，夹子111的抵接边113将抵接在第一部分91以及第二部分92 的下表面上，从而在垂直于基板90上表面的方向上防止第一部分91与第二部分92发生偏移。第六实施例
本实施例具有基板，基板上设有阵列波导光栅芯片，阵列波导光栅芯片具有衬底，衬底上设有输入光波导、输入平板波导、阵列波导、输出平板波导以及输出光波导，且基板被分割面分割成第一部分以及第二部分，分割面横向地穿过输入平板波导。滑动组件设置在基板上，且滑动组件的两端分别固定在第一部分及第二部分上，上述结构与第五实施例相同， 不再赘述。本实施例还设有偏移抑制组件，偏移抑制组件如图13所示，包括夹子120以及压板125、127，压板125具有两个抵接脚126，抵接脚1 抵接在基板130的上表面上，且输入平板波导131位于两个抵接脚1 之间，且输入平板波导131不与压板125接触，以防止压板125挤压输入平板波导131。夹子120的抵接边121抵接在压板125背对基板130的表面上。压板127也设有两个抵接脚128，两个抵接脚128抵接在基板130的下表面上，夹子120的抵接边122抵接在压板127背对基板130的表面上。与第五实施例相同，本实施例的压板125、127抵接在基板130的第一部分以及第二部分上，即偏移抑制组件120跨越第一部分以及第二部分，从而抑制第一部分相对于第二部分在垂直于基板上表面的方向上偏移。实际应用时，第五实施例与第六实施例中，位于基板上表面的压板两个抵接脚需要避让阵列波导光栅芯片，即两个抵接脚不能抵接在波导层上，以避免压板对波导层的挤压而对阵列波导光栅芯片的工作造成影响。当然，上述实施例仅是本发明较佳的实施方式，实际应用时，还可以有更多的改变，例如，使用线性热膨胀系数较大的非金属材料制作滑动组件的伸缩杆，如橡胶等，或者， 伸缩杆上设置的多个填充孔中，多种填充物中，一部分填充物的线性热膨胀系数大于伸缩杆的线性热膨胀系数，另一些填充物的线性热膨胀系数小于伸缩杆的线性热膨胀系数等， 这样的改变也能实现本发明的目的。最后需要强调的是，本发明不限于上述实施方式，如基板材料的改变、夹子与压板形状的改变等变化也应该包括在本发明权利要求的保护范围内。
权利要求
1.无热阵列波导光栅波分复用器，包括阵列波导光栅芯片，具有平面衬底，所述衬底上设有输入光波导、与所述输入光波导连接的输入平板波导、输出光波导、与所述输出光波导连接的输出平板波导、连接在所述输入平板波导与所述输出平板波导之间的多根条形波导；其特征在于基板，所述阵列波导光栅芯片固定在所述基板的上表面，所述基板被至少一个分割面分割成第一部分及第二部分，所述分割面横向穿过所述输入平板波导与所述输出平板波导中的至少一个；滑动组件，所述滑动组件的两端分别固定在所述第一部分与所述第二部分上，且所述滑动组件为具有随温度变化而长度改变的伸缩杆。
2.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅波分复用器，其特征在于所述分割面与被分割的所述输入平板波导和/或所述输出平板波导的上表面垂直。
3.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅波分复用器，其特征在于所述分割面与被分割的所述输入平板波导和/或所述输出平板波导的上表面之间形成的夹角为锐角。
4.根据权利要求1至3任一项所述的无热阵列波导光栅波分复用器，其特征在于所述伸缩杆上开设有至少一个填充孔，所述填充孔内填充有填充物，所述填充物的线性热膨胀系数小于所述伸缩杆的线性热膨胀系数。
5.根据权利要求4所述的无热阵列波导光栅波分复用器，其特征在于所述填充孔为贯穿所述伸缩杆上下表面的通孔。
6.根据权利要求4所述的无热阵列波导光栅波分复用器，其特征在于所述填充孔的数量为二个或二个以上，每一所述填充孔内均填充有所述填充物。
7.根据权利要求1至3任一项所述的无热阵列波导光栅波分复用器，其特征在于还包括偏移抑制组件，具有一个夹子以及第一压板，所述第一压板具有抵接部，所述抵接部抵接在所述第一部分的上表面及所述第二部分的上表面，所述夹子的第一抵接边抵接在所述第一压板背对所述基板的表面上。
8.根据权利要求7所述的无热阵列波导光栅波分复用器，其特征在于所述抵接部包括位于所述第一压板一对相对侧边上的第一抵接脚与第二抵接脚，所述输入平板波导或所述输出平板波导位于所述第一抵接脚与所述第二抵接脚之间。
9.根据权利要求7所述的无热阵列波导光栅波分复用器，其特征在于所述偏移抑制组件还包括第二压板，所述第二压板抵接在所述基板的下表面，所述夹子的第二抵接边抵接在所述第二压板背对所述基板的表面上。
10.无热阵列波导光栅波分复用器，包括阵列波导光栅芯片，具有平面衬底，所述衬底上设有输入平板波导、输出光波导、与所述输出光波导连接的输出平板波导、连接在所述输入平板波导与所述输出平板波导之间的多根条形波导；其特征在于基板，所述阵列波导光栅芯片固定在所述基板的上表面，所述基板被至少一个分割面分割成第一部分及第二部分，所述分割面横向穿过所述输入平板波导的端面，一输入光纤固定在所述第一部分上，且输入光纤的输出端正对所述输入平板波导；滑动组件，所述滑动组件的两端分别固定在所述第一部分与所述第二部分上，且所述滑动组件为具有随温度变化而长度改变的伸缩杆。
全文摘要
本发明提供一种无热阵列波导光栅波分复用器，包括阵列波导光栅芯片，具有平面衬底，衬底上设有输入光波导、与输入光波导连接的输入平板波导、输出光波导、与输出光波导连接的输出平板波导、连接在输入平板波导与输出平板波导之间的多根条形波导，其中，还包括基板以及滑动组件，阵列波导光栅芯片固定在基板的上表面，基板被至少一个分割面分割成第一部分及第二部分，分割面横向穿过输入平板波导与输出平板波导中的至少一个，滑动组件的两端分别固定在第一部分与第二部分上，且滑动组件为具有随温度变化而长度改变的伸缩杆。本发明提供的无热阵列波导光栅波分复用器生产成本较低，且中心波长的温度漂移不明显，工作稳定性较高。
文档编号H04J14/02GK102193149SQ201110148539
公开日2011年9月21日 申请日期2011年6月3日 优先权日2011年6月3日
发明者刘晓远, 吴浩然, 喻宏伟, 张院良, 李素霞, 龚森明 申请人:珠海保税区光联通讯技术有限公司