PowerPC远程复位系统及其复位方法与流程

本发明涉及光刻机领域，具体涉及一种powerpc远程复位系统及其复位方法。

背景技术：

在光刻机内通常设有若干powerpc(performanceoptimizationwithenhancedrisc-performancecomputing，精简指令集架构的中央处理器)作为分系统的数据处理器，其中，powerpc作为下位机，其与光刻机的上位机之间进行通讯，在建立通讯的过程中通常需要经过多次重新启动才能成功，然而光刻机体积大，内部结构复杂，通过操作人员手动的方式复位powerpc或者切断powerpc的电源比较困难，因此需要使用一套远程复位系统进行辅助操作。

现有的powerpc远程复位系统如图1所示，包括设于每个控制机箱内的远程复位板1’和设于操作台里的一块控制板卡2’，其工作原理是当powerpc发生故障时各控制机箱内远程复位板1’的面板上指示灯点亮，然后通过操作台内控制板卡2’上的复位按钮将所有powerpc进行复位。然而该系统存在以下问题：由于控制板卡2’不能获取各个powerpc的地址，因此不能针对特定的powerpc进行复位，而当使用该复位系统对所有的powerpc进行复位时，会出现部分powerpc不能与上位机建立通讯的问题，此外，当其中某一块powerpc出现故障时，将会造成其他powerpc也不能实现复位的问题，只能通过人工方式复位剩余的powerpc板，操作繁琐、稳定性差、效果有待提高。

技术实现要素：

本发明为了克服以上不足，提供了一种有效针对特定powerpc进行复位或针对所有powerpc进行复位的powerpc远程复位系统及其复位方法。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种powerpc远程复位系统，包括与每个powerpc双向连接的远程复位板和与所述远程复位板双向连接的控制板卡，所述控制板卡与上位机双向连接，所述远程复位板内设有第一微控制单元和与所述第一微控制单元连接的地址编码单元；所述控制板卡内设有第二微控制单元和与所述第二微控制单元连接的操作与指示单元。

进一步的，所述远程复位板内还设有连接所述第一微控制单元和控制板卡的第一通讯单元、与所述powerpc连接的信息采集单元和复位单元。

进一步的，所述第一通讯单元包括与所述第一微控制单元连接的第一通讯模块和连接所述第一通讯模块和控制板卡的第一接口模块。

进一步的，所述操作与指示单元包括与所述第二微控制单元连接的全局复位按钮和指示灯。

进一步的，所述控制板卡内还设有与所述第二微控制单元连接的第二通讯单元和第三通讯单元，所述第二通讯单元与所述远程复位板连接，所述第三通讯单元与所述上位机连接。

进一步的，所述第二通讯单元包括与所述第二微控制单元连接的第二通讯模块和连接所述第二通讯模块和远程复位板的第二接口模块。

进一步的，所述第三通讯单元包括与所述第二微控制单元连接的第三通讯模块和连接所述第三通讯模块和上位机的第三接口模块。

本发明还提供一种powerpc远程复位系统的复位方法，包括以下步骤：

s1：地址编码单元对远程复位板的地址进行编码，第一微控制单元根据所述编码信息解析出该远程复位板的地址信息，并进行储存；

s2：远程复位板采集对应powerpc的状态信息，并将自身的地址信息和对应的状态信息发送至所述控制板卡；

s3：所述控制板卡中的第二微控制单元分析并储存该地址信息和对应的状 态信息，通过操作与指示单元进行提示，并将该地址信息和对应的状态信息发送至上位机；

s4：上位机根据接收的地址信息和对应的状态信息对控制板卡下发复位指令；

s5：控制板卡接收所述复位指令并将该指令发送至对应地址的远程复位板；

s6：远程复位板接收复位指令，核对地址信息，并对相应的powerpc进行复位操作。

进一步的，所述步骤s4中，上位机还对控制板卡下发查询指令，查询所有powerpc的状态信息。

进一步的，所述步骤s5中，还包括通过操作与指示单元触发全局复位指令，并将该指令发送至每个远程复位板。

进一步的，所述控制板卡与所述上位机之间通过rs232接口通讯，所述远程复位板与所述控制板卡之间通过rs485接口通讯。

本发明提供的powerpc远程复位系统及其复位方法，利用上位机中原有的串口扩展卡通道，实现上位机与控制板卡的通讯，无需增加硬件，结构简单；在远程复位板中设置地址编码单元，获取每个远程复位板的地址信息，并通过该地址信息准确获取相应的powerpc的状态信息，并有效实现了针对特定powerpc的复位控制；通过在远程复位板中设置第一微控制单元识别地址编码单元的地址信息，并与控制板卡进行高效通讯；在控制板卡中设置操作与指示单元，实时显示powerpc的状态信息，并对所有的powerpc实现全局复位控制。本发明成本低廉、操作简便、效果可靠，切实满足了实际应用的需要。

附图说明

图1是现有powerpc远程复位系统的结构示意图；

图2是本发明powerpc远程复位系统的结构示意图；

图3是本发明powerpc远程复位系统远程复位板的结构示意图；

图4是本发明powerpc远程复位系统控制板卡的结构示意图；

图5是本发明powerpc远程复位系统复位方法流程图。

图1中所示：1’、远程复位板；2’、控制板卡；

图2-4中所示：1、powerpc；2、远程复位板；21、第一微控制单元；22、地址编码单元；23、第一通讯单元；231、第一通讯模块；232、第一接口模块；24、信息采集单元；25、复位单元；3、控制板卡；31、第二微控制单元；32、操作与指示单元；321、全局复位按钮；322、指示灯；33、第二通讯单元；331、第二通讯模块；332、第二接口模块；34、第三通讯单元；341、第三通讯模块；342、第三接口模块；4、上位机。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作详细描述。

如图2-3所示，本发明提供了一种powerpc远程复位系统，包括与每个powerpc1双向连接的远程复位板2和与远程复位板2双向连接的控制板卡3，控制板卡3与上位机4双向连接，远程复位板2内设有第一微控制单元21(microcontrollerunit，mcu)和与第一微控制单元21连接的地址编码单元22，地址编码单元22为二进制编码器，用于对该远程复位板2的地址进行编码，并将该编码信息发送至第一微控制单元21进行解析，并将解析出来的地址信息进行储存；控制板卡3内设有第二微控制单元31(microcontrollerunit，mcu)和与第二微控制单元31连接的操作与指示单元32。远程复位板2与powerpc1一一对应，采集其状态信息，并将自身的地址信息和采集到的状态信息发送至控制板卡3进行解析和存储，控制板卡3根据上述信息进行提示，同时将上述信息发送至上位机4，上位机4具体为服务器，其根据接收到的地址信息和采集到的状态信息获得其中的异常状态信息及其对应的地址信息，对控制板卡3下发包含异常状态信息及其对应地址信息的复位指令，控制板卡3根据接收到的复位指令控制相应的远程复位板2对相应的powerpc1进行复位。通过上位 机4进行异常判断和复位指令下发准确度高，效果稳定可靠，避免因误判而影响系统的正常运行。

如图3所示，远程复位板2内还设有连接第一微控制单元21和控制板卡3的第一通讯单元23、与powerpc1连接的信息采集单元24和复位单元25，具体的，信息采集单元24为failure采集电路，采集powerpc1的状态信息，通常包括异常和正常两种状态，failure采集电路将采集到的状态信息发送至第一微控制单元21进行储存，同时第一微控制单元21将自身的地址信息和对应powerpc1的状态信息通过第一通讯单元23发送至控制板卡3。

优选的，第一通讯单元23包括与第一微控制单元21连接的第一通讯模块231和连接第一通讯模块231和控制板卡3的第一接口模块232，具体的，第一接口模块232为rs485接口，有效实现远程复位板2与控制板卡3之间的远距离通讯。

优选的，操作与指示单元32包括与第二微控制单元31连接的全局复位按钮321和指示灯322，在设备启动或中途出现中断时，通过人工操作，触发全局复位按钮321对全部powerpc1进行复位。当控制板卡3解析出的状态信息中出现异常状态时，便会通过指示灯322进行错误提示，便于操作人员在第一时间知晓状况。

如图4所示，控制板卡3内还设有与第二微控制单元31连接的第二通讯单元33和第三通讯单元34，第二通讯单元33与远程复位板2连接，第三通讯单元34与上位机4连接。优选的，第二通讯单元33包括与第二微控制单元31连接的第二通讯模块331和连接第二通讯模块331和远程复位板2的第二接口模块332，第三通讯单元34包括与第二微控制单元31连接的第三通讯模块341和连接第三通讯模块341和上位机4的第三接口模块342。具体的，第二接口模块332为rs485接口，与第一接口模块232进行对接，实现第一通讯模块231和第二通讯模块321之间的远程通信；第三接口模块342为rs232接口，与上位机4进行交互，实现第三通讯模块341与上位机4之间的短距离通讯。

本发明还提供一种powerpc远程复位系统的复位方法，包括以下步骤：

s1：地址编码单元22对远程复位板2的地址进行编码，第一微控制单元21根据编码信息解析出该远程复位板2的地址信息，并进行储存；具体的，地址编码单元22采用二进制编码的方式对该远程复位板2的地址进行编码，并将该编码信息发送至第一微控制单元21进行解析，并将解析出来的地址信息进行储存。

s2：远程复位板2采集对应powerpc1的状态信息，并将自身的地址信息和对应的状态信息发送至控制板卡3；信息采集单元24可以使用failure采集电路，采集powerpc1的状态信息，powerpc1通常包括异常和正常两种状态，failure采集电路将采集到的状态信息发送至第一微控制单元21进行储存，同时第一微控制单元21将自身的地址信息和对应powerpc1的状态信息通过第一通讯单元23发送至控制板卡3，具体的，第一微控制单元21将上述信息发送至第一通讯模块231，并通过第一接口模块232发送至控制板卡3中的第二接口模块332，即rs485接口以实现与控制板卡3的信息传送。

s3：控制板卡3中的第二微控制单元31分析并储存该地址信息和对应的状态信息，通过操作与指示单元32进行提示，并将该地址信息和对应的状态信息发送至上位机4；具体的，控制板卡3通过第二通讯单元33接收远程复位板2发送的地址信息和对应的状态信息，并通过第二微控制单元31对上述信息进行分析，得到所有的powerpc1的状态信息，若其中出现异常状态，则控制板卡3通过操作与指示单元32中的指示灯322进行提示，便于操作人员及时知晓当前情况，同时第二微控制单元31将上述地址信息和对应的状态信息通过第三通讯单元34发送至上位机4，即将上述信息发送至第三通讯模块341，并通过第三接口模块342，即rs232接口发送至上位机4，实现信息传送。

s4：上位机4根据接收的地址信息和对应的状态信息对控制板卡3下发复位指令；上位机4对接收的地址信息和对应的状态信息进行再次解析，若发现 其中的异常状态信息，则将包含异常状态信息和对应的地址信息的复位指令发送至控制板卡3；优选的，上位机4还可以对控制板卡3下发查询指令，以查询所有powerpc1的状态信息。

s5：控制板卡3接收复位指令并将该指令发送至对应地址的远程复位板2；控制板卡3通过第三接口模块342，即通过rs232接口接收上位机4发出的包括异常状态信息和对应地址信息的复位指令，将该复位指令发送至第二微控制单元31进行处理和保存，并根据其中的地址信息通过第二通讯单元33的第二接口模块332发送至指定的远程复位板2，控制其对相应的powerpc1进行复位；在设备启动或中途出现中断时，通过人工操作，触发全局复位按钮321控制所有的远程复位板2对相应的powerpc1进行复位。

s6：远程复位板2接收复位指令，核对地址信息，并对相应的powerpc1进行复位操作，远程复位板2通过第一接口模块232接收控制板卡3的第二接口模块332发出的复位指令，并将复位指令中的地址信息与自身的地址信息进行核对，若核对一致则对相应的powerpc1进行复位操作。

综上，本发明提供的powerpc远程复位系统及其复位方法，利用上位机4中原有的串口扩展卡通道，实现上位机4与控制板卡3的通讯，无需增加硬件，结构简单；在远程复位板2中设置地址编码单元22，获取每个远程复位板2的地址信息，并通过该地址信息准确获取相应的powerpc1的状态信息，并有效实现了针对特定powerpc1的复位控制；通过在远程复位板2中设置第一微控制单元21识别地址编码单元22的编码信息，并与控制板卡3进行高效通讯；在控制板卡3中设置操作与指示单元32，对powerpc1的状态信息进行提示，并对所有的powerpc1实现全局复位控制。本发明成本低廉、操作简便、效果可靠，切实满足了实际应用的需要。

虽然说明书中对本发明的实施方式进行了说明，但这些实施方式只是作为提示，不应限定本发明的保护范围。在不脱离本发明宗旨的范围内进行各种省略、置换和变更均应包含在本发明的保护范围内。