技术特征：
技术总结
一种方法包括从多轴位置感测检测器(510)接收轴信号(520，530，540，550)，通过对轴信号求和产生参考信号(660)，基于多轴位置感测检测器的每个轴的波束位置误差(780，790)确定引导光束的镜(880)的镜位置，并致动镜移动到镜位置。每个轴信号指示入射在多轴位置感测检测器上的光束的波束位置(122)，每个轴信号对应于多轴位置感测检测器的轴。对于每个轴，该方法包括将轴的相位转换为与轴的信号具有90度的相位差，通过对轴信号求和产生轴相量信号(640，650)，并且将轴相量信号和参考信号进行比较以确定相位差。
技术研发人员：R.斯坦克劳斯;K.乌兰德
受保护的技术使用者：X开发有限责任公司
技术研发日：2017.04.27
技术公布日：2019.03.15