一种靶材拍摄装置及其拍摄方法与流程

1.本发明属于靶材检测技术领域，涉及一种靶材拍摄装置及其拍摄方法。


背景技术：

2.靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
3.目前，市场上通常采用的半导体靶材产品拍摄一体装置是通过人为拨动施力给支撑杆使产品转动来进行摄像的，这样就会造成摄像不连续，而且大大浪费了人力资源，此外，拍摄过程中的拍摄视野小，不能适用于大多数的靶材产品的摄像，实用性低，而且该装置在转动时，摄像机容易摔落，且不能适用于大多数的摄像机的夹紧，而且并没有发光板，使得拍摄的照片清晰度不高，影响使用者的后续使用。
4.cn113566748a公开了一种溅射靶材检测机构，包括输料装置以及检测装置；所述检测装置包括机械手、翻转组件、升降旋转组件以及拍摄组件，所述机械手安装于所述升降旋转组件的上方并能够在所述升降旋转组件的上方沿水平方向和纵向移动，所述翻转组件与所述升降旋转组件间隔设置，所述拍摄组件与所述升降旋转组件间隔设置，所述翻转组件翻转所述升降旋转组件上的物料，所述升降旋转组件旋转升降物料，所述拍摄组件拍摄检测物料表面的平整度。
5.因此，如何提供一种靶材拍摄装置，能够简化拍摄过程，适用于不同靶材和摄像机，成为目前迫切需要解决的技术问题。


技术实现要素：

6.针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种靶材拍摄装置及其拍摄方法，通过固定组件和调节组件对摄像机的位置和角度进行调整，进一步地结合补光模块配合，使调节稳定的摄像机对靶材进行全方位旋转拍摄，具有拍摄效率高、便于操作和灵活性高等特点。
7.为达此目的，本发明采用以下技术方案：
8.第一方面，本发明提供了一种靶材拍摄装置，所述靶材拍摄装置包括支架，所述支架包括支撑柱，所述支撑柱的顶部设置有载物台，所述支撑柱上套设有圆筒环，所述圆筒环上设置有第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆上设置有拍摄模块，所述第二支撑杆上设置有补光模块，所述第一支撑杆和第二支撑杆以圆筒环为圆心绕支撑柱转动。
9.所述拍摄模块包括摄像机，所述摄像机设置有调节组件和固定组件，所述调节组件调节摄像机的高度和角度，所述固定组件用于固定摄像机。
10.本发明通过设置调节组件和固定组件对摄像机的位置进行调节固定，避免人工拍摄过程中拍摄不稳定的问题发生，进一步地，通过设置补光模块对靶材补光，并配合摄像机和补光模块绕支撑柱转动，即绕载物台上的靶材转动，实现连续稳定的拍摄，有效减少人力浪费，适用于各种摄像机类型和不同靶材种类，具有实用性强、灵活度高和便于操作等特
点。
11.作为本发明的一个优选技术方案，所述补光模块包括设置于第二支撑杆上的y型支撑杆，所述y型支撑杆的开口结构上活动设置有发光板。
12.优选地，所述发光板的两侧均设置有转动销，所述发光板通过所述转动销活动设置于所述y型支撑杆上。
13.作为本发明的一个优选技术方案，所述调节组件包括设置于所述第一支撑杆上的调节柱，所述调节柱的柱槽内插设有伸缩杆，所述伸缩杆的伸出端连接所述的固定组件。
14.本发明通过设置伸缩杆结构对摄像机的高度进行调节，使得摄像机拍照的视野更广，且适合大多数的产品拍照，增加实用性。
15.优选地，所述伸缩杆沿长度方向设置有卡合齿，所述调节柱的外壁设置有调节件，所述调节件用于调节固定所述伸缩杆上的卡合齿，调整伸缩杆的伸出长度。
16.作为本发明的一个优选技术方案，所述调节件包括设置于所述调节柱外壁的连接块，所述连接块上设置有与卡合齿配合固定的卡紧销，所述卡紧销通过传动杆与拉杆传动连接，所述拉杆带动所述卡紧销卡合固定所述卡合齿的位置，所述传动杆插入所述连接块内与卡紧销连接，所述传动杆设置有位于连接块内部的滑动圆台，所述传动杆位于滑动圆台与连接块之间套设有弹簧，所述弹簧的两端分别抵住滑动圆台和连接块。
17.优选地，所述伸缩杆位于调节柱的一侧端部设置有防脱凸起，所述防脱凸起用于防止伸缩杆由调节柱脱离。
18.需要说明的是，本发明中伸缩杆的一端设置防脱凸起，有效防止调整高度过程中，伸缩杆由调节柱中脱出，避免拉脱。
19.作为本发明的一个优选技术方案，所述连接块上设置有吊耳，所述拉杆通过旋转销与吊耳转动连接，所述拉杆上设置有限位滑动槽，所述传动杆上设置有滑动销，所述滑动销插设于所述滑动槽内。
20.按压所述拉杆绕吊耳转动，所述滑动销沿限位滑动槽移动并将传动杆由连接块拉出。
21.优选地，所述拉杆上远离吊耳的一侧设置有握把。
22.本发明中利用拉杆和吊耳转动连接，配合与传动杆的传动连接，实现杠杆作用，减轻调节难度。
23.作为本发明的一个优选技术方案，所述固定组件包括u型板，所述u型板内滑动设置有两个l型板，两个所述l型板相对设置夹合固定摄像机。
24.优选地，所述u型板与伸缩杆通过万向球头连杆连接。
25.本发明通过将u型板与伸缩杆通过万向球头连杆连接，从而保证了摄像机的角度调节，进一步地提高了装置的灵活性。
26.优选地，所述u型板内设置有滑槽，所述滑槽内设置有双向丝杠，所述l型板分别设置于所述双向丝杠的两个丝杠螺母上，转动所述双向丝杠，调节所述l型板之间的距离。
27.需要说明的是，双向丝杠从中间向两端的螺纹旋向相反，且在双向丝杠的两个螺纹段上均设置有丝杠螺母，通过转动双向丝杠，带动丝杠螺母反向移动，从而实现对l型板之间距离的调整，夹紧固定或松开取出摄像机。
28.优选地，所述双向丝杠的一端伸出u型板并设置有螺帽，另一端通过转动连接有固
定块，所述固定块设置于滑槽内。
29.优选地，所述双向丝杠的两个丝杠螺母上均设置有滑块。
30.优选地，两个所述l型板相对的一侧开设有连接槽，所述连接槽内设置有连接板。
31.优选地，两个所述l型板的连接槽的深度之和与连接板的长度相等。
32.作为本发明的一个优选技术方案，所述支撑柱上开设有凹槽，所述凹槽内设置有轴承，所述圆筒柱与所述轴承的外侧固定连接，所述轴承的外侧还固定设置有外齿轮环，所述外齿轮环与旋转电机传动连接，所述旋转电机带动所述外齿轮环转动，所述外齿轮环带动所述圆筒环转动。
33.优选地，所述旋转电机设置有传动轴，所述传动轴上设置有连接齿轮，所述连接齿轮与外齿轮环啮合。
34.本发明通过设置旋转电机带动第一支撑杆和第二支撑杆绕支撑柱转动，实现自动运转，进一步地，还可以通过调节旋转电机的功率，有效调整摄像机旋转速度，实现连续、清晰的拍摄。
35.优选地，所述支撑柱上设置有支撑板，所述旋转电机固定设置于所述支撑板上。
36.作为本发明的一个优选技术方案，所述靶材拍摄装置还包括底座，所述支撑柱设置于所述底座上。
37.优选地，所述底座设置有至少三个万向轮。
38.优选地，所述第一支撑杆和第二支撑杆中至少一个设置有配重块。
39.优选地，所述第二支撑杆上设置有配重块，所述配重块设置于所述第二支撑杆远离圆筒环的一端。
40.第二方面，本发明提供了一种靶材的拍摄方法，所述拍摄方法采用第一方面所述靶材拍摄装置，所述拍摄方法包括：
41.靶材放置于载物台上，摄像机通过固定组件固定，并通过调节组件调节摄像机的高度和角度，调整补光模块，并转动第一支撑杆和第二支撑杆绕圆筒环转动，转动过程中摄像机进行拍摄。
42.作为本发明的一个优选技术方案，所述拍摄方法具体包括以下步骤：
43.靶材放置于载物台，将摄像机放置于l型板之间，旋动双向丝杠，两个l型板夹紧固定摄像机，拉动拉杆带动传动杆移动，取消卡紧销对卡合齿的固定，调节伸缩杆的伸缩长度，收回拉杆，卡紧销与卡合齿啮合固定，完成摄像机的位置调整；
44.转动发光板，调节对靶材的补光情况，启动旋转电机，摄像机和发光板绕支撑柱转动，完成对靶材的拍摄。
45.与现有技术相比，本发明的有益效果为：
46.本发明通过设置调节组件和固定组件对摄像机的位置进行调节固定，避免人工拍摄过程中拍摄不稳定的问题发生，进一步地，通过设置补光模块对靶材补光，并配合摄像机和补光模块绕支撑柱转动，即绕载物台上的靶材转动，实现连续稳定的拍摄，有效减少人力浪费，适用于各种摄像机类型和不同靶材种类，具有实用性强、灵活度高和便于操作等特点。
附图说明
47.图1为本发明一个具体实施方式中提供的靶材拍摄装置的结构示意图；
48.图2为本发明一个具体实施方式中提供的靶材拍摄装置的侧视图；
49.图3为本发明一个具体实施方式中提供的靶材拍摄装置a-a剖视图；
50.图4为本发明一个具体实施方式中提供的靶材拍摄装置d处局部放大图；
51.图5为本发明一个具体实施方式中提供的靶材拍摄装置e处局部放大图；
52.图6为本发明一个具体实施方式中提供的靶材拍摄装置b-b剖视图；
53.图7为本发明一个具体实施方式中提供的靶材拍摄装置f处局部放大图；
54.图8为本发明一个具体实施方式中提供的靶材拍摄装置c处局部放大图。
55.其中，1-底座；2-万向轮；3-支撑柱；4-圆筒环；5-第一支撑杆；6-y型支撑杆；7-发光板；8-载物台；9-靶材；10-第二支撑杆；11-配重块；12-调节柱；13-拉杆；14-握把；15-连接块；16-伸缩杆；17-螺帽；18-u型板；19-l型板；20-摄像机；21-连接板；22-双向丝杠；23-固定块；24-滑槽；25-连接槽；26-转动销；27-轴承；28-外齿轮环；29-连接齿轮；30-传动轴；31-支撑板；32-旋转电机；33-限位滑动槽；34-传动杆；35-滑动销；36-弹簧；37-滑动圆台；38-卡紧销；39-卡合齿；40-柱槽；41-防脱凸起；42-吊耳；43-旋转销；44-丝杠螺母。
具体实施方式
56.需要理解的是，在本发明的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
57.需要说明的是，在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
58.下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
59.在一个具体实施方式中，本发明提供了一种靶材拍摄装置，如图1、图2和图3所示，所述靶材拍摄装置包括支架，所述支架包括支撑柱3，所述支撑柱3的顶部设置有载物台8，所述支撑柱3上套设有圆筒环4，所述圆筒环4上设置有第一支撑杆5和第二支撑杆10，所述第一支撑杆5上设置有拍摄模块，所述第二支撑杆10上设置有补光模块，所述第一支撑杆5和第二支撑杆10以圆筒环4为圆心绕支撑柱3转动。
60.所述拍摄模块包括摄像机20，所述摄像机20设置有调节组件和固定组件，所述调节组件调节摄像机20的高度和角度，所述固定组件用于固定摄像机20。
61.具体地，所述补光模块包括设置于第二支撑杆10上的y型支撑杆6，所述y型支撑杆
6的开口结构上活动设置有发光板7。进一步地，所述发光板7的两侧均设置有转动销26，所述发光板7通过所述转动销26活动设置于所述y型支撑杆6上。
62.具体地，如图4所示，所述调节组件包括设置于所述第一支撑杆5上的调节柱12，所述调节柱12的柱槽40内插设有伸缩杆16，所述伸缩杆16的伸出端连接所述的固定组件。本发明通过设置伸缩杆16结构对摄像机20的高度进行调节，使得摄像机20拍照的视野更广，且适合大多数的产品拍照，增加实用性。
63.进一步地，所述伸缩杆16沿长度方向设置有卡合齿39，所述调节柱12的外壁设置有调节件，所述调节件用于调节固定所述伸缩杆16上的卡合齿39，调整伸缩杆16的伸出长度。
64.具体地，所述调节件包括设置于所述调节柱12外壁的连接块15，所述连接块15上设置有与卡合齿39配合固定的卡紧销38，所述卡紧销38通过传动杆34与拉杆13传动连接，所述拉杆13带动所述卡紧销38卡合固定所述卡合齿39的位置，所述传动杆34插入所述连接块15内与卡紧销38连接，所述传动杆34设置有位于连接块15内部的滑动圆台37，所述传动杆34位于滑动圆台37与连接块15之间套设有弹簧36，所述弹簧36的两端分别抵住滑动圆台37和连接块15。所述伸缩杆16位于调节柱12的一侧端部设置有防脱凸起41，所述防脱凸起41用于防止伸缩杆16由调节柱12脱离。
65.具体地，再如图4所示所述拉杆13通过旋转销43与吊耳42转动连接，如图5所示，所述拉杆13上设置有限位滑动槽33，所述传动杆34上设置有滑动销35，所述滑动销35插设于所述滑动槽内。按压所述拉杆13绕吊耳42转动，所述滑动销35沿限位滑动槽33移动并将传动杆34由连接块15拉出。
66.具体地，所述拉杆13上远离吊耳42的一侧设置有握把14。本发明中利用拉杆13和吊耳42转动连接，配合与传动杆34的传动连接，实现杠杆作用，减轻调节难度。
67.具体地，如图6和图7所示，所述固定组件包括u型板18，所述u型板18内滑动设置有两个l型板19，两个所述l型板19相对设置夹合固定摄像机20。进一步地，所述u型板18与伸缩杆16通过万向球头连杆(图中未示出)连接。本发明通过将u型板18与伸缩杆16通过万向球头连杆连接，从而保证了摄像机20的角度调节，进一步地提高了装置的灵活性。
68.具体地，所述u型板18内设置有滑槽24，所述滑槽24内设置有双向丝杠22，所述l型板19分别设置于所述双向丝杠22的两个丝杠螺母44上，转动所述双向丝杠22，调节所述l型板19之间的距离。其中，双向丝杠22从中间向两端的螺纹旋向相反，且在双向丝杠22的两个螺纹段上均设置有丝杠螺母44，通过转动双向丝杠22，带动丝杠螺母44反向移动，从而实现对l型板19之间距离的调整，夹紧固定或松开取出摄像机20。
69.具体地，所述双向丝杠22的一端伸出u型板18并设置有螺帽17，另一端通过转动连接有固定块23，所述固定块23设置于滑槽24内。所述双向丝杠22的两个丝杠螺母44上均设置有滑块。两个所述l型板19相对的一侧开设有连接槽25，所述连接槽25内设置有连接板21。进一步地地，两个所述l型板19的连接槽25的深度之和与连接板21的长度相等。
70.具体地，如图8所示，所述支撑柱3上开设有凹槽，所述凹槽内设置有轴承27，所述圆筒柱与所述轴承27的外侧固定连接，所述轴承27的外侧还固定设置有外齿轮环28，所述外齿轮环28与旋转电机32传动连接，所述旋转电机32带动所述外齿轮环28转动，所述外齿轮环28带动所述圆筒环4转动。
71.进一步地，所述旋转电机32设置有传动轴30，所述传动轴30上设置有连接齿轮29，所述连接齿轮29与外齿轮环28啮合，所述支撑柱3上设置有支撑板31，所述旋转电机32固定设置于所述支撑板31上。本发明通过设置旋转电机32带动第一支撑杆5和第二支撑杆10绕支撑柱3转动，实现自动运转，进一步地，还可以通过调节旋转电机32的功率，有效调整摄像机20旋转速度，实现连续、清晰的拍摄。
72.具体地，所述靶材拍摄装置还包括底座1，所述支撑柱3设置于所述底座1上。所述底座1设置有至少三个万向轮2。所述第一支撑杆5和第二支撑杆10中至少一个设置有配重块11。所述第二支撑杆10上设置有配重块11，所述配重块11设置于所述第二支撑杆10远离圆筒环4的一端。
73.在本发明另一个具体实施方式中，本发明提供了一种靶材9的拍摄方法，所述拍摄方法采用上述靶材拍摄装置，所述拍摄方法具体包括以下步骤：
74.靶材9放置于载物台8，将摄像机20放置于l型板19之间，旋动双向丝杠22，两个l型板19夹紧固定摄像机20，拉动拉杆13带动传动杆34移动，取消卡紧销38对卡合齿39的固定，调节伸缩杆16的伸缩长度，收回拉杆13，卡紧销38与卡合齿39啮合固定，完成摄像机20的位置调整；
75.转动发光板7，调节对靶材9的补光情况，启动旋转电机32，摄像机20和发光板7绕支撑柱3转动，完成对靶材9的拍摄。
76.通过一个具体实施方式，本发明通过设置调节组件和固定组件对摄像机20的位置进行调节固定，避免人工拍摄过程中拍摄不稳定的问题发生，进一步地，通过设置补光模块对靶材9补光，并配合摄像机20和补光模块绕支撑柱3转动，即绕载物台8上的靶材9转动，实现连续稳定的拍摄，有效减少人力浪费，适用于各种摄像机20类型和不同靶材9种类，具有实用性强、灵活度高和便于操作等特点。
77.申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。