一种高隔离度的压电声波双工器的制作方法

本发明涉及双工器，尤其涉及一种高隔离度的压电声波双工器。

背景技术：

1、双工器是现代智能通信设备的关键部件之一；双工器主要包括适用于发射频段的滤波器（发送滤波器）以及适用于接收频段的滤波器（接收滤波器）。随着技术的发展，现有无线通信设备对滤波器提出越来越高的要求，其中就包括需要滤波器具有高抑制度的同时又不能引入额外的损耗。

2、薄膜体声波双工器(film bulk acoustic wave resonator，fbar)以其小尺寸、高滚降以及低插损的特点，在通讯系统中得到了广泛的应用。现有技术中，为了提高双工器的带外抑制特性，通常采用增加谐振器的级数，改变串联谐振器和并联谐振器的阻抗比来改变滤波器级联；或在并联支路上串联电感，但其会恶化带内插损，增加器件尺寸；因此在不恶化器件插损且不增加器件尺寸的同时，改善发射信号与接收信号之间的泄露问题，即改善双工器的隔离度问题，仍然需要不断的探究。

技术实现思路

1、为解决上述现有技术问题，本发明提供了一种高隔离度的压电声波双工器，拟改善双工器的隔离度问题。

2、一种高隔离度的压电声波双工器，包括：

3、天线端；

4、发射端；

5、接收端；

6、其中，所述天线端到接收端之间连接有接收滤波器，所述天线端到发射端之间连接有发射滤波器：

7、所述接收滤波器包括多个串联谐振器和多个并联谐振器，其中并联谐振器并联在串联谐振器组与地之间；

8、所述发射滤波器包括多个串联谐振器和多个并联谐振器，其中并联谐振器并联在串联谐振器组与地之间；

9、还包括有可调电容，其中可调电容并联在发射滤波器的输入端与输出端之间。

10、作为本申请的一可选实施例，所述发射滤波器包括四个串联谐振器和四个并联谐振器；

11、其中四个串联谐振器包括第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器和第四谐振器；所述天线端、第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器、第四谐振器、发射端顺次连接；

12、四个并联谐振器包括第五谐振器、第六谐振器、第七谐振器、第八谐振器。

13、作为本申请的一可选实施例，所述第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器、第五谐振器为谐振器对，第一谐振器包括串联的谐振器ts1和谐振器ts1_1，第二谐振器包括串联的谐振器ts2和谐振器ts2_1，所述第三谐振器包括串联的谐振器ts3和谐振器ts3_1，第五谐振器包括并联的谐振器tp1和谐振器tp1_1。

14、作为本申请的一可选实施例，所述第一谐振器连接在天线端，第二谐振器连接第一谐振器、第三谐振器连接第二谐振器、第四谐振器连接第三谐振器，所述第五谐振器一端与所述第一谐振器连接并且另一端接地，所述第六谐振器一端与所述第二谐振器连接并且另一端接地，所述第七谐振器的一端与所述第三谐振器连接并且另一端接地，所述第八谐振器的一端与所述第四谐振器连接并且另一端接地。

15、作为本申请的一可选实施例，所述第五谐振器和所述第七谐振器共地，所述第六谐振器和第八谐振器共地。

16、作为本申请的一可选实施例，所述接收滤波器包括四个串联谐振器和四个并联谐振器；

17、其中四个串联谐振器包括第九谐振器、第十谐振器、第十一谐振器和第十二谐振器rs4；所述第九谐振器、第十谐振器、第十一谐振器和第十二谐振器、接收端顺次连接；

18、四个并联谐振器包括第十三谐振器、第十四谐振器、第十五谐振器、第十六谐振器。

19、作为本申请的一可选实施例，所述第九谐振器和第十六谐振器为谐振器对，所述第九谐振器包括串联的谐振器rs1和谐振器rs1_1，所述第十六谐振器包括串联的谐振器rp4和谐振器rp4_1。

20、作为本申请的一可选实施例，所述第九谐振器连接在天线端，第十谐振器连接第九谐振器，第十一谐振器连接第十谐振器、第十二谐振器连接第十一谐振器，所述第十三谐振器一端与所述第九谐振器连接并且另一端接地，所述第十四谐振器一端与所述第十谐振器连接并且另一端接地，所述第十五谐振器的一端与所述第十一谐振器连接并且另一端接地，所述第十六谐振器的一端与所述第十二谐振器连接并且另一端接地。

21、作为本申请的一可选实施例，所述串联谐振器组和并联谐振器组中的谐振器均包括：

22、衬底；

23、设置在衬底上的空气腔；

24、盖于空气腔上的底电极；

25、底电极远离空气腔的一端面重叠的压电层；

26、压电层远离底电极的一端面重叠的顶电极。

27、作为本申请的一可选实施例，所述顶电极远离所述压电层的一端面重叠有保护层。

28、本发明的有益效果体现在：

29、通过调整电容值来改善双工器的隔离度，并且在不引入额外损耗的情况下保持通带损耗不发生恶化。故本发明可以通过调整天线端与发射端、以及发射端与接收端之间的耦合来抵消双工器发射端与接收端之间的信号泄露，改善双工器的隔离度，在不增加额外体积及引入多余损耗的情况下，达到了提升隔离度的目的。

技术特征：

1.一种高隔离度的压电声波双工器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种高隔离度的压电声波双工器，其特征在于，所述发射滤波器包括四个串联谐振器和四个并联谐振器；

3.根据权利要求2所述的一种高隔离度的压电声波双工器，其特征在于，所述第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器、第五谐振器为谐振器对，第一谐振器包括串联的谐振器ts1和谐振器ts1-1，第二谐振器包括串联的谐振器ts2和谐振器ts2_1，所述第三谐振器包括串联的谐振器ts3和谐振器ts3_1，第五谐振器包括并联的谐振器tp1和谐振器tp1_1。

4.根据权利要求2所述的一种高隔离度的压电声波双工器，其特征在于，所述第一谐振器连接在天线端，第二谐振器连接第一谐振器、第三谐振器连接第二谐振器、第四谐振器连接第三谐振器，所述第五谐振器一端与所述第一谐振器连接并且另一端接地，所述第六谐振器一端与所述第二谐振器连接并且另一端接地，所述第七谐振器的一端与所述第三谐振器连接并且另一端接地，所述第八谐振器的一端与所述第四谐振器连接并且另一端接地。

5.根据权利要求4所述的一种高隔离度的压电声波双工器，其特征在于，所述第五谐振器和所述第七谐振器共地，所述第六谐振器和第八谐振器共地。

6.根据权利要求1所述的一种高隔离度的压电声波双工器，其特征在于，所述接收滤波器包括四个串联谐振器和四个并联谐振器；

7.根据权利要求6所述的一种高隔离度的压电声波双工器，其特征在于，所述第九谐振器和第十六谐振器为谐振器对，所述第九谐振器包括串联的谐振器rs1和谐振器rs1_1，所述第十六谐振器包括串联的谐振器rp4和谐振器rp4_1。

8.根据权利要求6所述的一种高隔离度的压电声波双工器，其特征在于，所述第九谐振器连接在天线端，第十谐振器连接第九谐振器，第十一谐振器连接第十谐振器、第十二谐振器连接第十一谐振器，所述第十三谐振器一端与所述第九谐振器连接并且另一端接地，所述第十四谐振器一端与所述第十谐振器连接并且另一端接地，所述第十五谐振器的一端与所述第十一谐振器连接并且另一端接地，所述第十六谐振器的一端与所述第十二谐振器连接并且另一端接地。

9.根据权利要求1到8任意一项权利要求所述的高隔离度的压电声波双工器，其特征在于，所述串联谐振器和并联谐振器均包括：

10.根据权利要求9所述的一种高隔离度的压电声波双工器，其特征在于，所述顶电极远离所述压电层的一端面重叠有保护层。

技术总结
本发明涉及双工器技术领域，尤其涉及一种高隔离度的压电声波双工器，包括天线端；发射端；接收端；其中，所述天线端到接收端之间连接有接收滤波器，所述天线端到发射端之间连接有发射滤波器，所述接收滤波器包括多个串联谐振器和多个并联谐振器，其中并联谐振器并联在串联谐振器组与地之间；所述发射滤波器包括多个串联谐振器和多个并联谐振器，其中并联谐振器并联在串联谐振器组与地之间；还包括有可调电容，其中可调电容并联在发射滤波器的输入端与输出端之间。基于本发明的技术方案，可通过调整电容值来改善双工器的隔离度，并且保持通带损耗不发生恶化。

技术研发人员：赵孟娟,董元旦,杨涛,马增红
受保护的技术使用者：成都频岢微电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13