一种最佳化曝光亮度的自动调节方法与流程

本发明涉及光学，具体涉及一种最佳化曝光亮度的自动调节方法。

背景技术：

1、在ic芯片制程工序中，众多工序都需要采用光学影像系统对ic芯片进行定位和检测工作。现有技术中，对电子芯片等器件进行拍照取像的时候，一般都是使用相同的拍照参数(比如亮度参数、白平衡参数等)进行拍照取像，拍好的影像用做进一步的计算检验和测量工作。但是，对于不同的器件产品进行拍照取像时，由于产品大小体积和周围环境的变化，导致成像的结果会略有不同，例如影像的亮度、白平衡等会有一定的差异，在后续检测或测量上会存在相应的变数，导致检测或测量的精度下降。

技术实现思路

1、本发明解决的技术问题是提供一种快速且方便的影像最佳化曝光亮度的自动调节方法。

2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种最佳化曝光亮度的自动调节方法，包括以下步骤：

4、s1：教读标准影像，获取所述标准影像的标准平均灰阶和标准灰阶偏差；

5、s2：量测取像，获取量测影像的量测平均灰阶和量测灰阶偏差；

6、s3：比较计算，比较所述标准影像所述量测影像的平均灰阶和灰阶偏差，并计算两幅影像的平均灰阶差值比和灰阶偏差差值比；

7、s4：判读，系统判读所述平均灰阶差值比和所述灰阶偏差差值比是否在预设值内；

8、s5：调整曝光时间，并重新量测取像、比较计算、判读，直到所述平均灰阶的差值比和所述灰阶偏差的差值比在所述预设值内，自动优化得到一幅与所述标准影像亮度近似的量测影像。

9、进一步的，所述步骤s1和所述步骤s2中的平均灰阶为影像区域中所有像素灰度值的总和比上该影像区域的平面面积得到该影像的平均灰阶。

10、进一步的，所述步骤s1和所述步骤s2中的灰阶偏差为影像区域中单个像素的灰度值与所述平均灰阶的差值的总和，在比上该影像区域的平面面积得到该影像的灰阶偏差。

11、进一步的，所述步骤s3中的平均灰阶差值比为所述标准影像中的平均灰阶减去所述量测影像中的平均灰阶，再比上所述标准影像的平均灰阶，取绝对值后，转化为百分比值。

12、进一步的，所述步骤s3中的灰阶偏差差值比为所述标准影像中的灰阶偏差减去所述量测影像中的灰阶偏差，在比上所述标准影像的灰阶偏差，取绝对值后，转化为百分比值。

13、优选的，所述步骤s4中的所述预设值为1％～10％。

14、进一步的，所述步骤s4还包括以下步骤：

15、s401：若所述平均灰阶差值比大于预设值，以所述平均灰阶差值比作为调整幅度，系统预设一调整系数，重新调整的曝光时间为平均灰阶差值比乘以调整系数；

16、s402：若所述平均灰阶差值比小于所述预设值，且灰阶偏差差值比大于所述预设值；以所述灰阶偏差差值比作为调整系数，重新调整曝光时间为灰阶偏差差值比乘以所述调整系数；

17、s403：若所述平均灰阶差值比和所述灰阶偏差差值比均小于所述预设值内，完成优化。

18、进一步的，所述调整系数为系统预设可调值。

19、本发明的有益效果是：

20、本发明通过一组标准影像的平均灰阶和灰阶偏差作为后续量测影像的校对标准，重复对量测过程进行取像、计算量测影像的平均灰阶和灰阶偏差，与标准影像比较平均灰阶和灰阶偏差，并计算出两幅影像的平均灰阶的差值比和灰阶偏差的差值比，进而判读平均灰阶的差值比和灰阶偏差的差值比是否处于预设值内，从而自动、且快速的调整影像系统的曝光时间，而优化得到一幅与标准影像亮度近似的量测影像，方便后续的检验和量测工作，以减少后续检验、量测计算的误差，提高后续检验、量测的效率，以及量测数据的准确度和有效性。

技术特征：

1.一种最佳化曝光亮度的自动调节方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的一种最佳化曝光亮度的自动调节方法，其特征在于：所述步骤s1和所述步骤s2中的平均灰阶为影像区域中所有像素灰度值的总和比上该影像区域的平面面积得到该影像的平均灰阶。

3.如权利要求1所述的一种最佳化曝光亮度的自动调节方法，其特征在于：所述步骤s1和所述步骤s2中的灰阶偏差为影像区域中单个像素的灰度值与所述平均灰阶的差值的总和，在比上该影像区域的平面面积得到该影像的灰阶偏差。

4.如权利要求1所述的一种最佳化曝光亮度的自动调节方法，其特征在于：所述步骤s3中的平均灰阶差值比为所述标准影像中的平均灰阶减去所述量测影像中的平均灰阶，再比上所述标准影像的平均灰阶，取绝对值后，转化为百分比值。

5.如权利要求1所述的一种最佳化曝光亮度的自动调节方法，其特征在于：所述步骤s3中的灰阶偏差差值比为所述标准影像中的灰阶偏差减去所述量测影像中的灰阶偏差，在比上所述标准影像的灰阶偏差，取绝对值后，转化为百分比值。

6.如权利要求1-5任一权利要求所述的一种最佳化曝光亮度的自动调节方法，其特征在于：所述步骤s4中的所述预设值为1％～10％。

7.如权利要求6所述的一种最佳化曝光亮度的自动调节方法，其特征在于：所述步骤s4还包括以下步骤：

8.如权利要求7所述的一种最佳化曝光亮度的自动调节方法，其特征在于：所述调整系数为系统预设可调值。

技术总结
本发明涉及一种最佳化曝光亮度的自动调节方法，包括以下步骤：S1：教读标准影像；S2：量测取像；S3：比较计算，并计算两幅影像的平均灰阶差值比和灰阶偏差差值比；S4：判读，系统判读平均灰阶差值比和灰阶偏差差值比是否在预设值内；S5：调整曝光时间，并重新量测取像、比较计算、判读。本发明通过一组标准影像的平均灰阶和灰阶偏差作为后续量测影像的校对标准，重复量测取像、比较计算、判读，从而自动、且快速的调整影像系统的曝光时间，而优化得到一幅与标准影像亮度近似的量测影像，方便后续的检验和量测工作，以减少后续检验、量测计算的误差，提高后续检验、量测的效率，以及量测数据的准确度和有效性。

技术研发人员：涂咏闳,吴伟传
受保护的技术使用者：禾洛半导体（徐州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17