一种mems麦克风的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及电子设备领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括：第一基板；第二基板，与所述第一基板固定连接，设置于所述第一基板上方，所述第二基板中设有贯穿所述第二基板的声孔；网孔层，贴覆于所述第二基板的上方，所述网孔层上设有多个网孔；传感器，与所述第二基板上的声孔连接，设置于所述第一基板与所述第二基板之间，所述传感器对声音进行识别；以及声音依次通过所述网孔、所述声孔进入所述传感器。
【专利说明】
一种MEMS麦克风
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及电子设备领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。
【背景技术】
[0002]目前的MEMS麦克风通常均具有一个声孔，该声孔是与外界接触的，所以，外界的灰尘会从这个声孔进入到传感器或者基板中，会造成麦克风中灰尘的加剧，导致麦克风不能有效的使用，若是在潮湿的环境中，电子设备的外界的水分会进入到麦克风中，同时，如果音量的频率较高的时候，传感器接收的音量就会有较多的杂音，传感器不能清楚的接收到外面的声音。
【实用新型内容】
[0003]针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种MEMS麦克风，能够防尘、防泼水，并且能够对音量进行调节。
[0004]本实用新型采用如下技术方案:
[0005]—种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括:
[0006]第一基板；
[0007]第二基板，与所述第一基板固定连接，设置于所述第一基板上方，所述第二基板中设有贯穿所述第二基板的声孔；
[0008]网孔层，贴覆于所述第二基板的上方，所述网孔层上设有多个网孔；
[0009]传感器，与所述第二基板上的声孔连接，设置于所述第一基板与所述第二基板之间，所述传感器对声音进行识别；以及
[0010]声音依次通过所述网孔、所述声孔进入所述传感器。
[0011 ] 优选的，所述MEMS麦克风还包括:
[0012]立柱；以及
[0013]所述第一基板与所述第二基板通过所述立柱固定连接。
[0014]优选的，所述MEMS麦克风还包括:
[0015]传感器，与所述第二基板固定连接，设置于所述声孔的下方，对声音进行识别。
[0016]优选的，所述第一基板和/或所述第二基板和/或所述立柱为PCB板。
[0017]优选的，所述网孔层为织布层。
[0018]优选的，所述网孔层为金属器。
[0019]本实用新型的有益效果是:
[0020]本实用新型提供的MEMS麦克风在第二基板的上方贴覆一层网孔层，该网孔层能够防尘，并且由于网孔层会遮挡住声孔，从而防止水分进入至声孔中，并且由于贴覆了一层网孔层能够对高频的声音调节至清晰的范围中。
【附图说明】
[0021]图1为本实用新型一种MEMS麦克风的结构示意图；
[0022]图2为本实用新型网孔层的结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]需要说明的是，在不冲突的情况下，下述技术方案，技术特征之间可以相互组合。
[0024]下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】作进一步的说明:
[0025]如图1所示，本实施例提供了一种MEMS麦克风，该MEMS麦克风包括:
[0026]第一基板；
[0027]第二基板，与所述第一基板固定连接，设置于所述第一基板上方，所述第二基板中设有贯穿所述第二基板的声孔；
[0028]网孔层，贴覆于所述第二基板的上方，所述网孔层上设有多个网孔；
[0029]传感器，与所述第二基板上的声孔连接，设置于所述第一基板与所述第二基板之间，所述传感器对声音进行识别；以及
[0030]声音依次通过所述网孔、所述声孔进入所述传感器。
[0031 ]本实用新型一个较佳的实施例中，MEMS麦克风还包括:
[0032]立柱；以及
[0033]第一基板与第二基板通过立柱固定连接。
[0034]本实施例中的第一基板和第二基板可以为PCB板，本实施例中的立柱也可以为PCB板。
[0035]本实用新型一个较佳的实施例中，MEMS麦克风还包括:
[0036]集成电路，分别于传感器和第二基板电连接，对声音进行处理。
[0037]如图2所示，图2中的网孔层上包括多个网孔，本实用新型一个较佳的实施例中，网孔层为高温布织布。
[0038]本实用新型一个较佳的实施例中，网孔层为高温金属器。
[0039]本实施例中的网孔层(mesh)可以通过人工的方式贴覆在第二基板上，网孔层上的目数可以根据实际的情况进行设置，网孔层能够对高频的声音进行调节，将声音调节至一个清晰的范围之内。
[0040]本实施例中网孔层中网孔的数量及网孔的大小可以根据实际的情况进行定制。
[0041]需要注意的是:本实施例中网孔层可以覆盖整个第二基板，特别是覆盖第二基板上的声孔，这会对声孔起到一定的防尘作用，同时覆盖声孔还会对外界传入传感器的声音起到一定的调节作用，网孔层能够对高频的声音调节至清晰的范围中，所以网孔层覆盖声孔不仅仅是一个结构上的简单的改进，同时在高频声音的调节上也有着重要的作用，可以看出网孔层集调音、防水、防尘三项作用。
[0042]进一步的，本实施例中的网孔层的一面贴覆在第二基板上之后，另一面可以完全的暴露在外界的环境中，当然也可以不完全覆盖，这可以根据实际情况进行设定，当网孔层可以完全的暴露在外界环境中的时候，其作用得到了更大程度的发挥。
[0043]进一步的，还可以在第一基板上设有盲孔，在第一基板与第二基板之间固定连接的时候，将第二基板上的传感器设置于第一基板的盲孔中，以减小麦克风的占用体积。
[0044]本实用新型提供的MEMS麦克风在第二基板的上方贴覆一层网孔层，该网孔层能够防尘，并且由于网孔层会遮挡住声孔，从而防止水分进入至声孔中，并且由于贴覆了一层网孔层能够对高频的声音调节至清晰的范围中。
[0045]通过说明和附图，给出了【具体实施方式】的特定结构的典型实施例，基于本实用新型精神，还可作其他的转换。尽管上述实用新型提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。
[0046]对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本实用新型的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本实用新型的意图和范围内。
【主权项】
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括: 第一基板； 第二基板，与所述第一基板固定连接，设置于所述第一基板上方，所述第二基板中设有贯穿所述第二基板的声孔； 网孔层，贴覆于所述第二基板的上方，所述网孔层上设有多个网孔； 传感器，与所述第二基板上的声孔连接，设置于所述第一基板与所述第二基板之间，所述传感器对声音进行识别；以及 声音依次通过所述网孔、所述声孔进入所述传感器。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括: 立柱；以及 所述第一基板与所述第二基板通过所述立柱固定连接。3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括: 传感器，与所述第二基板固定连接，设置于所述声孔的下方，对声音进行识别。4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一基板和/或所述第二基板和/或所述立柱为PCB板。5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述网孔层为织布层。6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述网孔层为金属器。
【文档编号】H04R19/04GK205454093SQ201521127719
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2015年12月29日
【发明人】叶菁华
【申请人】钰太芯微电子科技（上海）有限公司, 钰太科技股份有限公司