专利名称：气浮平面电机初始零位的定位方法
技术领域：
本发明涉及平面电机定位方法，特别涉及一种气浮支撑方式的平面电机初始零位的确定方法。
背景技术：
随着先进制造业的快速发展，在现代半导体加工装备、微立体光刻、纳米工作台及其他微细精密加工设备中，大行程运动由直线 电机实现，而高精度运动则由高精密平面电机来实现。高精度平面电机动子平台的轴承支撑方式有很多种，为实现高精度平面电机的快速准确定位，需实现动子平台的无摩擦悬浮支撑。目前无摩擦悬浮支撑技术主要有以下四种电动悬浮、超导悬浮、气体悬浮及磁悬浮。在实际系统中，无摩擦悬浮支撑能较好的实现快速定位，但由于动子平台在未受控前是属于自由状态，若考虑到线缆扰动的影响，动子平台的初始位置也会在一个未知的位置，考虑到很多精密测量设备的测试条件需要动子平台的初始零位在一个较小范围，因此，初始位置到初始零位的运动方法是需要考虑和解决的问题。
发明内容
本发明的目的提供一种气浮平面电机动子平台初始零点的确定方法，克服了气浮平面电机动子平台初始位置随机性的问题，为整个平面电机控制系统提供必要的基准位置，使测试设备能够正常运作。为达到上述发明目的，本发明采取的技术方案如下一种气浮平面电机初始零位的定位方法，所述气浮平面电机包括定子平台和动子平台，定子平台上方固定安装磁钢阵列，动子平台采用气浮轴承，动子平台下表面安装线圈阵列，以及两个结构相同的第一调整线圈组和第二调整线圈组，所述两个调整线圈组为三相线圈，星型连接方式，均沿X方向布置于同一直线上，所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无转角，其特征在于，所述定位方法包括以下步骤I)把所述第一调整线圈组的三相线圈和第二调整线圈组的三相线圈分别接入驱动器装置，所述驱动器装置包括六个线性驱动器；2)驱动器装置分别给第一调整线圈组的Al相线圈通入电流Ip BI相线圈通入电流I2和Cl相线圈通入电流I3，给第二调整线圈组的A2相线圈通入电流Ip B2相线圈通入电流I2和C2相线圈通入电流13，并且通入电流满足以下关系IjIjI3=O ；3)经过上述步骤I)到步骤2)，动子平台运动到初始零位的位置，系统每次上电工作前，依照步骤I)至步骤2)进行初始零位的确定，此时，系统的测量设备正常工作，驱动装置切换到平面电机正常工作状态下。本发明的技术特征还在于设平面电机所受到最大的线缆扰动转矩为Tn，动子平台的质心到线圈阵列中心受力力臂为L，线圈提供的驱动力为F，线圈能承受的最大持续电流为Imax，符合下列表达式
权利要求
1.一种气浮平面电机初始零位的定位方法，所述气浮平面电机包括定子平台(101)和动子平台(103)，定子平台(101)上方固定安装磁钢阵列(102);动子平台(103)采用气浮轴承(204)支撑，动子平台(103)下表面安装线圈阵列(201)以及两个结构相同的第一调整线圈组(202)和第二调整线圈组(203)，两个调整线圈组均为三相线圈，星型连接方式，两个调整线圈组的长边均沿X方向布置于同一直线上，所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无转角，其特征在于，所述定位方法包括以下步骤 1)把所述第一调整线圈组(202)的三相线圈和第二调整线圈组(203)的三相线圈分别接入驱动器装置(301 )，所述驱动器装置(301)包括六个线性驱动器； 2)驱动器装置(301)分别给第一调整线圈组(202)的Al相线圈(202a)通入电流IpBl相线圈(202b)通入电流I2和Cl相线圈(202c)通入电流13，分别给第二调整线圈组(203)的A2相线圈(203a)通入电流I1、B2相线圈(203b)通入电流I2和C2相线圈(203c)通入电流I3，并且通入电流满足以下关系Ii+^+Is=O ； 3)经过上述步骤I)到步骤2)，动子平台(103)运动到初始零位的位置，系统每次上电工作前，依照步骤I)至步骤2)进行初始零位的确定，此时，系统的测量设备正常工作，驱动装置切换到平面电机正常工作状态下。
2.根据权利要求I所述的一种气浮平面电机初始零位的定位方法，其特征在于，设受到最大的线缆扰动转矩为Tn，动子平台(103)的质心到线圈阵列(200)中心受力力臂为L，线圈提供的驱动力为F，线圈能承受的最大持续电流为Imax，符合下列表达式
全文摘要
气浮平面电机初始零位的定位方法，所述气浮平面电机包括定子平台和动子平台，定子平台上方固定安装平面磁钢阵列，动子平台采用气浮支承，且动子平台下表面固定安装两组结构相同的三相调整线圈，第一调整线圈组与第二调整线圈组均沿X方向。所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无夹角，所述定位方法包括采用驱动装置给两组线圈输入一定规律的电流，驱动动子平台运动，两组线圈达到平衡位置，最终实现动子平台定位到初始零位。本发明为气浮永磁平面电机系统提供了一种简单、便捷的初始零位确定方法，为动子平台控制系统测量设备的正常工作提供必要的工作条件。
文档编号G12B5/00GK102800369SQ20121024228
公开日2012年11月28日 申请日期2012年7月12日 优先权日2012年7月12日
发明者朱煜, 杨开明, 蒋毅, 成荣, 张鸣, 余东东, 李鑫, 尹文生, 胡金春, 穆海华 申请人:清华大学, 北京华卓精科科技有限公司