静电消除器的制作方法

文档序号:8172724阅读:443来源:国知局
专利名称:静电消除器的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种静电消除器,特别涉及一种以过滤装置、调整装置及管接头相组合形成一体于本体内,又该本体设置有陶瓷绝缘接头,而可达到耐高温及耐臭氧腐蚀的功效,进而达到拆解简易、维修快速容易的目的的静电消除器。
背景技术
中国台湾专利公报公告号1357288,静电消除器,一般静电消除器是在半导体晶圆或液晶玻璃等的各种工件的处理制程,对因静电而带电的该工件的静电消除,而使用静电消除器,此静电消除器是凭借对电极针231施加正负的高电压,来产生电晕放电,将此时所产生的正负离子以空气喷吹至工件,来使静电中和,请参阅图1所示,其包含一本体1,该本体I 一端设有喷嘴10,又该喷嘴10内设有绝缘套筒101,该本体I另一端设有管接头11,又该管接头11可供外部气管110相连接使用,又该本体I内设有供气流道12,又该供气流道12与管接头11相连接贯通,该供气流道12与喷嘴10相连接贯通;一电极针匣2,该电极针匣2设于本体I内,又该电极针匣2内设有基板20,该基板20 —端设有电极针座23,又该电极针座23设有电极针231,该基板20设有高电压产生器201,又该基板20设有供电板22,该供电板22与高电压产生器201以端子连接部202相连接,又该供电板22与电极针座23相连接,而可使该电极针座23其电极针231达到产生正负离子的目的,该基板20设有受电连接器24,又该受电连接器24可与供电连接器241相连接,该供电连接器241可设有电源线242,以达到电源供应的功效,再者,请参阅图2所示,使用者可另外于该本体I的喷嘴10外设置有出气管3,又该出气管3上设置有过滤装置31及调整装置32,该过滤装置31内设有滤心311,而可使该喷嘴10所喷吹的气体可凭借该出气管3上的过滤装置31内的滤心311可达到气体杂质或灰尘过滤的功效,又可凭借该出气管3上的调整装置32达到出风量调整的功效。该“静电消除器”,其虽达到电极针座23其电极针231产生正负离子的目的,请参阅图2所示,因该本体I其管接头11与外部气管110相连接后,该外部气管110的气体即可凭借该管接头11使气体吹至供气流道12内,再凭借该供气流道12内的气体可使该电极针231所产生的正负离子可通过该供气流道12内的气体吹出于喷嘴10外,再凭借该喷嘴10处可设置有出气管3,又该出气管3分别设置有过滤装置31与调整装置32,然却因该过滤装置31内设有滤心311须定时更换,因此,当要更换该过滤装置31内的滤心311时,须将出气管3上的过滤装置31拆解取出后进行更换,并再将更换过后的过滤装置31装回出气管3,而使得使用者有滤心311更换繁杂,进而造成加工时间及更换速度变慢的缺失,再者,该出气管3其过滤装置31及调整装置32须于本体I外额外连接才可达到过滤空气及调整出气量的功效,因此,当该出气管3上的过滤装置31或调整装置32有损坏时,必须将出气管3与本体I分离后才可进行更换,而造成使用者维修时间增加的缺失,又,该喷嘴10内设有绝缘套筒101,却因该电极针231使用时易产生高温及臭氧的情形,虽该喷嘴10其绝缘套筒101可达到耐高温的功效,却因该喷嘴10无任何绝缘的功效因而易因臭氧而产生有腐蚀及衰减的缺失。因此,如何将上述等缺失加以摒除,即为本案实用新型设计人所欲解决的技术困难点的所在。
发明内容有鉴于现有的“静电消除器”,因其有更换繁杂的缺失,进而造成加工时间及更换速度变慢的缺失,因此本实用新型的目的在于提供一种静电消除器,其可凭借本实用新型以过滤装置、调整装置及管接头相组合形成一体于本体内,又该本体设置有陶瓷绝缘接头,而可达到耐高温及耐臭氧腐蚀的功效,进而达到拆解简易、维修快速容易的目的。为达成以上的目的,本实用新型提供一种静电消除器,其特征在于,包括一本体,该本体设有第一中空部,该第一中空部设有抵止部,该本体设有供气流道,又该本体设有第一凹槽,该本体设有第二凹槽,该第一凹槽与供气通道相贯通,该第二凹槽与供气通道相贯通,该本体内设有电极针座,该电极针座设有电极针,该电极针座设置于第一中空部内,该电极针座设有端子连接部,该本体内设有供电板;一过滤装置,该过滤装置设置于第一凹槽,该过滤装置设有滤心;一调整装置,该调整装置设置于第二凹槽,该调整装置一端穿设于供气流道内;一管接头,该管接头设有锁固元件,该管接头与本体以锁固元件相锁固,并设置于本体一侧;一陶瓷绝缘接头,该陶瓷绝缘接头设有第一设置部与第二设置部,该第一设置部设置于第一中空部内,该第二设置部与抵止部相抵止,该陶瓷绝缘接头设有气体喷口,该气体喷口内供电极针穿设,该陶瓷绝缘接头一端设有连接部;一侧盖,该侧盖设有透孔,又该透孔供陶瓷绝缘接头穿设,该侧盖与本体以数个固定元件相固定,又该侧盖设置于本体一侧。该第二凹槽内设有定位槽。该调整装置设有定位板。该过滤装置与调整装置都设有密封环。该管接头与第一设置部都设有密封环。该陶瓷绝缘接头设有定位线。该陶瓷绝缘接头设有凹槽。该透孔周围设有数个定位点。该侧盖设有定位孔。该定位孔设有插件,该插件设有固定孔。本实用新型凭借以过滤装置、调整装置及管接头相组合形成一体于本体内,又该本体设置有陶瓷绝缘接头,而可达到耐高温及耐臭氧腐蚀的功效,进而达到拆解简易、维修快速容易的目的。

图1是现有的剖面侧视示意图;图2是现有与外部出气管、过滤装置、及调整装置相组合的示意图;[0025]图3是本实用新型的立体分解示意图;图4是本实用新型的立体组合示意图;图5是本实用新型的剖面侧视示意图;图6是本实用新型与气管及出气管相组合的剖面侧视示意图;图7是本实用新型的调整装置调整示意图;图8是本实用新型欲更换滤心时将过滤装置取起示意图;图8A是本实用新型更换滤心的动作示意图;图9是本实用新型的另一实施例动作示意图。附图标记说明1_本体;10-喷嘴;101-绝缘套筒;11-管接头;110-气管;12-供气流道;2-电极针匣;20_基板;201-高电压产生器;202_端子连接部;22_供电板;23_电极针座;231-电极针;24_受电连接器;241_供电连接器;242_电源线;3_出气管;31_过滤装置;311-滤心;32_调整装置;33_出气口 ;4-本体;40_电极针座;401_电极针;402_密封环;41_第一中空部;42_抵止部;44_第一凹槽;45_第二凹槽;451_定位槽;46_供气流道;47_供电板;48_端子连接部;5_过滤装置;50_密封环;51_滤心;6_调整装置;60_密封环;61_定位板;7_管接头;70_密封环;71_锁固元件;8-陶瓷绝缘接头;80_连接部;81-气体喷口 ;82_第一设置部;821_密封环;83_第二设置部;84_定位线;85_凹槽;9-侧盖;90_透孔;91_定位点;911-定位孔;912-插件;913_固定孔;92_锁固元件。
具体实施方式
为使贵审查员方便简捷了解本实用新型的其他特征内容与优点及其所达成的功效能够更为显现,兹将本实用新型配合附图,详细说明如下请参阅图3、图4所示,本实用新型提供一种静电消除器,其包含一本体4,该本体4设有第一中空部41,又该第一中空部41设有抵止部42,该本体4设有供气流道46,而如图5所示,又该本体4设有第一凹槽44,该本体4设有第二凹槽45,又该第二凹槽45内设有定位槽451,该第一凹槽44与供气通道46相贯通,又该第二凹槽45与供气通道46相贯通,该本体4内设有电极针座40,又该电极针座40设有电极针401,该电极针座40设置于第一中空部41内,又该电极针座40设有端子连接部48,该本体4内设有供电板47,凭借该供电板47可与端子连接部48相连接,而可达到电极针座40其电极针401产生正负离子的功效;一过滤装置5,该过滤装置5设置于本体4的第一凹槽44,又该过滤装置5设有滤心51,该过滤装置5设有密封环50,而可达到过滤装置5不易从本体4其第一凹槽44掉落的缺失,又可达到该第一凹槽44气密及防尘的功效;一调整装置6,该调整装置6设置于本体4其第二凹槽45,又该调整装置6 —端穿设于供气流道46内,该调整装置6设有定位板61,又该定位板61设于第二凹槽45其定位槽451内,而可达到避免调整装置6于第二凹槽45脱落的功效,该调整装置6设有外螺纹,而可凭借该外螺纹达到省力旋转并调整的功效,又该调整装置6设有密封环60,而可达到该调整装置6不易从本体4其第二凹槽45掉落的缺失,可达到该第二凹槽45气密及防尘的功效;一管接头7,该管接头7设有锁固元件71,又该管接头7与本体4以锁固元件71相锁固,并设置于本体4 一侧,该管接头7设有密封环70,而可达到管接头7不易从本体4掉落的缺失;一陶瓷绝缘接头8,该陶瓷绝缘接头8设有第一设置部82、第二设置部83与凹槽85,请配合参阅图5所不,又该第一设置部82设置于第一中空部41内,该第一设置部82设有密封环821,而可达到该陶瓷绝缘接头8不易从本体4其第一中空部41掉落的缺失,又该第二设置部83与本体4其抵止部42相抵止,该陶瓷绝缘接头8设有气体喷口 81,又该气体喷口 81内可供电极针座40其电极针41穿设,该陶瓷绝缘接头8 一端设有连接部80,又该连接部80可供外部出气管801的被连接部802相连接使用,而如图6所示,再者,又因该陶瓷绝缘接头8是陶瓷材质,因此可达到耐高温及绝缘的功效,进而使该陶瓷绝缘接头8达到耐臭氧所造成的腐蚀及衰减的目的,再者,又该陶瓷绝缘接头8可包含有定位线84,该定位线84可供使用者达到使用时提醒定位的功效;一侧盖9,该侧盖9设有透孔90,又该透孔90可供陶瓷绝缘接头8穿设,该侧盖9与本体4以数个锁固元件92相固定,又该侧盖9设置于本体4 一侧,再者,该侧盖9其透孔90周围可包含有数个定位点91,又该定位点91可与该陶瓷绝缘接头8其定位线84达到相对应定位的功效,该侧盖9设有定位孔911,该定位孔911与侧盖9相贯通,又该定位孔911与透孔90相贯通,该定位孔911设有内螺纹,又该定位孔911可设有插件912,该插件912设有外螺纹,又该插件912设有固定孔913,该固定孔913可供外部工具相插设,又该插件912其外螺纹可与定位孔911其内螺纹相螺接,即可使该插件912与固定孔913可达到更紧固的功效,该插件912可于陶瓷绝缘接头8其凹槽85相插设抵止,俾使该陶瓷绝缘接头8达到锁固定位的功效,进而达到使用者方便辨识的功效,而如图9所示;请参阅图6所示,因本实用新型其过滤装置5与调整装置6设置于同一本体4上,当使用者使用本实用新型时,即可将该管接头7与外部气管72相套设,又该陶瓷绝缘接头8与外部出气管801相连接,而使该外部气管72内的气体即可凭借该外部气管72将气体输入至管接头7内,使得该气体可通过管接头7并于本体4其供气流道46内流动,而使该供气流道46内的气体可凭借供气流道46输出于陶瓷绝缘接头8外,进而使得该本体4其电极针座40的电极针401所产生的正负离子可凭借该气体一同于陶瓷绝缘接头8输出的功效,请参阅图7所示,当使用者欲控制出气管801的气体输出量时,即可凭借该本体4其第二凹槽45设置有调整装置6,又该调整装置6 —端穿设于供气流道46内,该调整装置6设有外螺纹,因此,即可凭借该外螺纹达到调整装置6可省力旋转并调整的功效,再者,请再参阅图8、图8A所示,凭借该本体4其第一凹槽44内设置有过滤装置5,又该过滤装置5内设有滤心51,因此,当使用者欲更换滤心51时,使用者只须将过滤装置5旋转拿起后,即可将使用过后的滤心51于第一凹槽44内取出,并将新的滤心51放入第一凹槽44内后,即可达到滤心51快速更换的目的,又可缩短加工时间的功效,进而达到拆解简易、维修快速容易的目的。为使本实用新型更加显现出其进步性与实用性,兹与现有作一比较分析如下现有技术滤心更换繁杂的缺失。加工时间及更换速度变慢的缺失。喷嘴易因臭氧有腐蚀及衰减的缺失。[0048]本实用新型优点1、达到调整装置可省力旋转并调整的功效。2、滤心更换速度加快的目的。3、达到耐臭氧所造成的腐蚀及衰减的目的。以上说明对本实用新型而言只是说明性的,而非限制性的,本领域普通技术人员理解,在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下,可作出许多修改、变化或等效,但都将落入本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种静电消除器,其特征在于,包括一本体,该本体设有第一中空部,该第一中空部设有抵止部,该本体设有供气流道,又 该本体设有第一凹槽,该本体设有第二凹槽,该第一凹槽与供气通道相贯通,该第二凹槽与 供气通道相贯通,该本体内设有电极针座,该电极针座设有电极针,该电极针座设置于第一 中空部内,该电极针座设有端子连接部,该本体内设有供电板;一过滤装置,该过滤装置设置于第一凹槽,该过滤装置设有滤心;一调整装置,该调整装置设置于第二凹槽,该调整装置一端穿设于供气流道内;一管接头,该管接头设有锁固元件,该管接头与本体以锁固元件相锁固,并设置于本体 一侧;一陶瓷绝缘接头,该陶瓷绝缘接头设有第一设置部与第二设置部,该第一设置部设置 于第一中空部内,该第二设置部与抵止部相抵止,该陶瓷绝缘接头设有气体喷口,该气体喷 口内供电极针穿设,该陶瓷绝缘接头一端设有连接部;一侧盖,该侧盖设有透孔,又该透孔供陶瓷绝缘接头穿设,该侧盖与本体以数个固定元 件相固定,又该侧盖设置于本体一侧。
2.根据权利要求1所述的静电消除器,其特征在于该第二凹槽内设有定位槽。
3.根据权利要求1所述的静电消除器,其特征在于该调整装置设有定位板。
4.根据权利要求1所述的静电消除器,其特征在于该过滤装置与调整装置都设有密 封环。
5.根据权利要求1所述的静电消除器,其特征在于该管接头与第一设置部都设有密 封环。
6.根据权利要求1所述的静电消除器,其特征在于该陶瓷绝缘接头设有定位线。
7.根据权利要求1所述的静电消除器,其特征在于该陶瓷绝缘接头设有凹槽。
8.根据权利要求1所述的静电消除器,其特征在于该透孔周围设有数个定位点。
9.根据权利要求1所述的静电消除器,其特征在于该侧盖设有定位孔。
10.根据权利要求9所述的静电消除器,其特征在于该定位孔设有插件,该插件设有 固定孔。
专利摘要本实用新型提供一种静电消除器,其包含一本体,该本体设有第一中空部;一过滤装置,该过滤装置设置于本体;一调整装置,该调整装置设置于本体;一管接头,该管接头以锁固元件设置于本体一侧;一陶瓷绝缘接头,该陶瓷绝缘接头设置于第一中空部;一侧盖,该侧盖设有透孔,又该透孔可供陶瓷绝缘接头穿设;凭借本实用新型以过滤装置、调整装置及管接头相组合形成一体于本体内,又该本体设置有陶瓷绝缘接头,而可达到耐高温及耐臭氧腐蚀的功效,进而达到拆解简易、维修快速容易的目的。
文档编号H05F3/04GK202857119SQ201220477359
公开日2013年4月3日 申请日期2012年9月18日 优先权日2012年9月18日
发明者范扬立 申请人:海丰科技股份有限公司
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