技术编号:8172724
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种静电消除器,特别涉及一种以过滤装置、调整装置及管接头相组合形成一体于本体内,又该本体设置有陶瓷绝缘接头,而可达到耐高温及耐臭氧腐蚀的功效,进而达到拆解简易、维修快速容易的目的的静电消除器。背景技术中国台湾专利公报公告号1357288,静电消除器,一般静电消除器是在半导体晶圆或液晶玻璃等的各种工件的处理制程,对因静电而带电的该工件的静电消除,而使用静电消除器,此静电消除器是凭借对电极针231施加正负的高电压,来产生电晕放电,将此时所产生的正负离子以空气喷吹至工件,来使静电中和,请参阅图1所示...
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