基板吸附载台的制作方法
【专利摘要】一种基板吸附载台，其包含：一载台本体、一第一阻气模块及数个第二阻气模块。载台本体具有数个吸附孔。第一阻气模块设置于载台本体的一侧，以可选择地关闭至少一列X方向的吸附孔。数个第二阻气模块分别设置于载台本体的另一侧，各第二阻气模块可选择地关闭至少一排Y方向的吸附孔。由此，使用者可以依据实际基板的长宽大小，而选择性地关闭未被基板所遮蔽的X、Y方向的吸附孔，进而可有效地使基板吸附于载台上。
【专利说明】基板吸附载台
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种基板吸附载台，特别涉及一种可以依据基板的长宽大小，而选择性关闭X、Y方向的吸附孔的基板吸附载台。
【背景技术】
[0002]在印刷电路板的工艺中，必须将印刷电路板放置于吸附载台上，通过吸附载台上的各吸附孔，所产生的吸附力，使电路板固定于吸附载台上，借以便于进行后续相关工艺。然，在实务应用中，上述的电路板吸附载台，仍存在着诸多问题。其中又以吸附载台无法依据不同大小的电路板，而对应启闭吸附孔为最大的问题；因为，如果印刷电路板未充分被吸附于吸附载台，会导致印刷电路板在工艺中产生破裂、损坏或无法对准的问题，如此一来将造成印刷电路板的工艺良率下降，并且影响产品的品质。因此，如何使电路板吸附载台可以依据电路板大小，而关闭非电路板对应的吸附孔为当前业界急需解决的问题。缘此，本发明人有感上述问题的可改善，乃潜心研究并配合学理的运用，而提出一种设计合理且有效改善上述问题的本实用新型。
【发明内容】
[0003]本实用新型的主要目的在于提供一种基板吸附载台，其可以依据基板的长宽大小，而选择性地关闭至少一列X方向的吸附孔及至少一排Y方向的吸附孔，由此可解决习知电路板吸附载台，无法有效地依据电路板大小，而关闭其他非对应于电路板的吸附孔，进而造成吸附效果不佳的问题。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型提供一种基板吸附载台，其包含:一载台本体、一第一阻气模块及数个第二阻气模块。载台本体具有数个吸附孔。第一阻气模块设置于载台本体的一侧，以可选择地关闭至少一列X方向的该些吸附孔。数个第二阻气模块设置于载台本体的另一侧，各第二阻气模块可选择地关闭至少一排Y方向的该些吸附孔。
[0005]在本发明的基板吸附载台的一个实施方式中，所述基板吸附载台进一步包含:
[0006]一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔；
[0007]数个第一气道，各该第一气道分别与该主气道的各该主气孔相连通，且各该第一气道包含数个第一气孔；以及
[0008]数个第二气道，各该第二气道包含数个第二气孔，各该第二气孔分别对应与一排的该些吸附孔相连通，且各该第一气道的各该第一气孔分别对应与该第二气道相连通；
[0009]其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一主气孔，各该第二阻气模块分别设置于各该第二气道中，以可选择地关闭至少一该第二气孔。
[0010]在本发明的基板吸附载台的另一个实施方式中，各该第一气道平行于X方向设置，各该第二气道平行于Y方向设置。
[0011]在本发明的基板吸附载台的另一个实施方式中，各该第一气道平行于Y方向设置，各该第二气道平行于X方向设置。[0012]在本发明的基板吸附载台的另一个实施方式中，各该第二阻气模块包含一轴体及数个对应于该排的该些吸附孔数量的阻隔单元，各该阻隔单元间隔地设置于该轴体上，而每两个该阻隔单元间形成一连通空间。
[0013]在本发明的基板吸附载台的另一个实施方式中，各该第二气道包含数个与各该第二气孔错位设置的连通孔，各该连通孔分别与各该第一气孔相连通，且各该第二阻气模块的两两该阻隔单元的间距，大于或等于相邻的该连通孔与该第二气孔的间距。
[0014]为实现上述目的，本实用新型还提供一种基板吸附载台，其包含:一载台本体、一第一阻气模块及一第二阻气模块。载台本体具有数个吸附孔。第一阻气模块设置于载台本体的一侧，以可选择地关闭至少一列X方向的该些吸附孔。第二阻气模块设置于载台本体的另一侧，以可选择地关闭至少一排Y方向的该些吸附孔。
[0015]在本发明的基板吸附载台的一个实施方式中，所述基板吸附载台进一步包含:
[0016]一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔；
[0017]数个第一气道，各该第一气道分别与X方向各列的该些吸附孔相连通，且各该第一气道分别与各该主气孔相连通；
[0018]一次气道，其与该抽气装置相连接，且该次气道包含数个次气孔；以及
[0019]数个第二气道，各该第二气道分别与Y方向各排的该些吸附孔相连通，且各该第二气道分别与各该次气孔相连通；
[0020]其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一该主气孔，该第二阻气模块设置于该次气道中，以可选择地关闭至少一该次气孔。
[0021]在本发明的基板吸附载台的另一个实施方式中，该第一阻气模块或是该第二阻气模块包含一轴体及数个对应于X方向各排的该些吸附孔或是Y方向各列的该些次气孔数量的阻隔单元，各该阻隔单元间隔地设置于该轴体上，而每两个该阻隔单元间形成一连通空间。
[0022]在本发明的基板吸附载台的另一个实施方式中，该第一阻气模块或是该第二阻气模块包含一阻气单元及一操作单元，该阻气单元可活动地设置于该主气道或是该次气道中，且远离该主气道或该次气道与该抽气装置相连接的位置；该操作单元与该阻气单元机械连接，以控制该阻气单元于该主气道或该次气道中的位置，以选择性地关闭其中一该主气孔或是其中一该次气孔。
[0023]本实用新型的有益效果为:通过可选择性移动以关闭至少一列X方向吸附孔的第一阻气模块，及可选择性移动以关闭至少一排Y方向吸附孔的第二阻气模块，以达到可依据基板长宽大小，关闭未被基板遮蔽的吸附孔，而仅保留被基板遮蔽的吸附孔，进而可使有效提升吸附基板的能力。
[0024]为了能更进一步了解本实用新型为达成既定目的所采取的技术、方法及功效，请参阅以下有关本实用新型明的详细说明、附图，相信本实用新型的目的、特征与特点，当可由此得以深入且具体的了解，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制者。
【专利附图】
【附图说明】
[0025]图1为本实用新型的基板吸附载台的示意图。[0026]图2为本实用新型的基板吸附载台的第一实施例的上视透视图。
[0027]图3为本实用新型的基板吸附载台的第一实施例的第一阻气模块的剖面示意图。
[0028]图4为本实用新型的基板吸附载台的第一实施例的第二阻气模块及载台本体的剖面示意图。
[0029]图5为本实用新型的基板吸附载台的第一实施例的第二阻气模块关闭一排Y方向吸附孔的剖视示意图。
[0030]图6为本实用新型的基板吸附载台的第一实施例的第二阻气模块导通一排Y方向吸附孔的剖面示意图。
[0031]图7为本实用新型的基板吸附载台的第一实施例的第一阻气模块及第二阻气模块相互连通的剖面示意图。
[0032]图8为本实用新型的基板吸附载台的第二实施例的示意图。
[0033]图9为本实用新型的基板吸附载台的第二实施例的上视透视图。
[0034]其中，附图标记说明如下:
[0035]1、I’:基板吸附载台
[0036]10、10’:载台本体
[0037]101、101’:吸附孔
[0038]11、11’:第一气道
[0039]111:第一气孔
[0040]12、12’:第二气道
[0041]121:第二气孔
[0042]122:连通孔
[0043]13:挡板
[0044]20、20’:第一阻气模块
[0045]21、21’:主气道
[0046]211、211，:主气孔
[0047]212、212’:抽气孔
[0048]22、22’:阻气单元
[0049]23、23’:操作单元
[0050]30:第二阻气模块
[0051]301:操作部
[0052]31:轴体
[0053]32:阻隔单元
[0054]33:连通空间
[0055]40、40，:基板
[0056]50:第二阻气模块
[0057]51:次气道
[0058]511:次气孔
[0059]512:抽气孔
[0060]52:阻气单元[0061]53:操作单元【具体实施方式】
[0062]请参阅图1，其为本实用新型的基板吸附载台的示意图。如图所示，基板吸附载台
I包含:一载台本体10、一第一阻气模块20及数个第二阻气模块30。载台本体10包含数个规则排列的吸附孔101 ;载台本体10机械连接一抽气装置(图未示，较佳地可以是抽真空机)，以使各吸附孔101具有一吸附力。第一阻气模块20设置于载台本体10的其中一侧，且具有一操作单元23，用以选择性地关闭至少一列X方向的吸附孔101。各第二阻气模块30分别对应于Y方向的各排吸附孔101设置，以选择性地关闭相对应的该排吸附孔101。具体地说，使用者可以依据实际设置于载台本体10上的基板40的长宽大小，以将操作单元23移动至邻近基板X方向侧边的吸附孔101，由此关闭基板的该侧边以外的吸附孔101 ;相同地，可以通过按压邻近于基板40的Y方向侧边的第二阻气模块30，以关闭该侧边以外不被基板40所遮蔽的吸附孔101 ;由此可使载台本体10上该些被基板40所覆盖的吸附孔101具有吸附力，而其余未被覆盖的吸附孔101则不具有吸附力，进而可使载台本体10的吸附力集中于基板40所覆盖的范围。其中，所述的基板40例如可以是电路基板或是面板等，于此不多加限制。
[0063]〔第一实施例〕
[0064]请一并参阅图2至图7，其为本实用新型的基板吸附载台的第一实施例的示意图。如图2所示，其显示基板吸附载台I的上视透视图。基板吸附载台I包含一载台本体10、一第一阻气模块20及数个第二阻气模块30。载台本体10包含数个规则排列的吸附孔101、数个分别平行于X方向设置的第一气道11及数个平行于Y方向设置的第二气道12。第一气道11包含数个第一气孔111，第二气道包含数个第二气孔121，且各第二气孔121分别对应与一个吸附孔101相连通，且各列第一气道11的各第一气孔111分别对应与一排第二气道12相互连通，亦即各排第二气道12的各第二气孔121分别与其中一列的第一气道11相连通。
[0065]如图2及图3所示，第一阻气模块20包含一主气道21、一阻气单元22及一操作单元23，主气道21包含数个主气孔211及一抽气孔212，各主气孔211分别与各第一气道11相连通，抽气孔212与一抽气装置(图未示)相连接。阻气单元22可活动地设置于主气道21中；操作单元23外露于第一阻气模块20外，且与阻气单元22机械连接，由此控制调整阻气单元22于主气道21中的位置。其中，阻气单元22可以是活塞等，可完全密封阻隔气体的构件；第一阻气模块20可以是与载台本体10 —体形成，又或者可以是两个可拆卸的独立构件。
[0066]举例来说，阻气单元22可以是设置于与主气道21设置有抽气孔212的相反端，亦即阻气单元22的原始位置可以是设置于主气道21中，与抽气孔212相反的一端。当阻气单兀22未遮蔽任何主气孔211而设置于主气道21的一端时,各主气孔211与抽气孔212相连通，而使各个与主气孔211相连通的第一气道11所对应连通的各列X方向的吸附孔101呈现具有吸附力的状态；当阻气单元22受操作单元23操作，向抽气孔212移动，而遮蔽其中一主气孔211时，被遮蔽的主气孔211及位于阻气单元22后方而远离抽气孔212的主气孔211，受阻气单元22的阻隔，而无法与抽气孔212相连通，进而使其所对应的该列X方向的吸附孔101不具有吸附力，而达到关闭X方向吸附孔101的作用。
[0067]换言之，阻气单元22与抽气孔212分别设置于主气道21的两端时，在操作单元23未移动(设置于原始位置，而未遮蔽任何一个主气孔211)时，各列X方向的吸附孔101呈现具有吸附力的状态，而随着操作单元23逐渐向抽气孔212靠近的同时，相对应于操作单元23的该列X方向的吸附孔101被阻气单元22阻隔，而不具有吸附力，亦即操作单元23经过的各列X方向的吸附孔101皆被阻气单元22阻隔而不具吸附力。
[0068]相反地，在另外的方式中，阻气单元22亦可以是与抽气孔212设置于主气道21的同一端，亦即阻气单元22的原始位置位于抽气孔212上方，而遮蔽抽气孔212，而使得各吸附孔101呈现不具吸附力的状态。当阻气单元22受操作单元23操控，而远离抽气孔212时，操作单元23所经过的各列X方向的吸附孔101不再受阻气单元22阻隔，可与抽气孔212相连通而具有吸附力。简单地说，依据实际使用所需，可以通过阻气单元22与抽气孔212的相对应位置的设计(阻气单元22遮蔽抽气孔212或不遮蔽而远离抽气孔212)，以决定在阻气单元22未移动的原始位置上时，各吸附孔101的吸附状态(具有或不具有吸附力)。
[0069]如图4所示，各第二气道12可以包含有数个第二气孔121及数个连通孔122 ;各第二气孔121分别对应与一个吸附孔101相连通，而各连通孔122分别对应与一个第一气孔111相连通，且各第一气孔111又与第一气道11相连通，亦即各吸附孔101可与各第一气道11相连通。其中，各第二气孔121及各连通孔122可以是如图中绘示的错位地设置于第二气道12中，亦可以是设置于相对应的位置上，于此不加以限制。各第二阻气模块30包含一轴体31及数个间隔设置的阻隔单元32，而各个阻隔单元32间形成有一连通空间33。在实际应用中，第二阻气模块30的至少一端可以具有一操作部301 ;各阻隔单元32可以是与轴体31 —体成形，或是另外套设于轴体31上的独立构件，且各阻隔单元32更可以选择性地配合设置有密封橡圈。
[0070]如图5所示，其显示第二阻气模块30设置于第二气道12中，且第二阻气模块30的操作部301受压时的剖视图。如图所示，当第二阻气模块30的操作部301受压时，各阻隔单元32对应阻隔各第二气孔121与各连通孔122间的连通，而阻隔吸附孔101与第一气道11的连通，由此关闭第二阻气模块30所对应的该排Y方向的吸附孔101，使其不具有吸附力。
[0071]如图6及图7所示，当第二阻气模块30的操作部301受拉，而使轴体31及各阻隔单元32于第二气道12中移动，且使各阻隔单元32间的连通空间33对应位于第二气孔121与连通孔122间时，各第二气孔121可通过该连通空间33与其相对应的连通孔122相连通，而使各吸附孔101可与第一气道11及主气道21相连通，进而使各吸附孔101具有吸附力。在实际应用中，第二阻气模块30与第二气道12间可以对应设置有定位元件(例如各式卡榫或是凸点与凹槽的设计)，由此确使第二阻气模块30移动至预设的导通或阻隔各第二气孔121与各连通孔122的特定位置。
[0072]特别一提的是，于本实施例中，是以按压第二阻气模块30的操作部301为关闭对应的该排Y方向的吸附孔101，而以抽拉第二阻气模块30的操作部301为开启吸附孔101为例，但实际应用中，亦可以是配合第二阻气模块30的各阻隔单元32、各第二气孔121及各连通孔122的设计，改以按压操作部301时为开启吸附孔101，抽拉操作部301时为关闭吸附孔101。又，在另外的实施方式中，亦可以是使第二阻气模块30的两端皆外露于载台本体10夕卜，亦即第二阻气模块30具有两个外露的操作部301，由此使用者可以只通过按压的方式进行吸附孔101的启闭；例如，使用者可以先行按压其中一侧的操作部301以关闭该排Y方向的吸附孔101，而当使用者欲再次开启该排Y方向的吸附孔101时，则可以是按压第二阻气模块30另一侧的操作部301。
[0073]请复参图1及图2 (图中箭号表示气体流向)，当基板40设置于载台本体10上时，使用者可以将第一阻气模块20的操作单元23，移动至对应于与基板40侧边最近，而未被基板40遮蔽的吸附孔101的位置，由此关闭该列X方向的邻近于基板40而未被基板40所遮蔽的吸附孔101 ;同样地，使用者可以通过按压邻近于基板40侧边的第二阻气模块30，由此关闭邻近而未被基板40所遮蔽的Y方向的吸附孔101。简单地说，如图1所示，载台本体10上的吸附孔101，除了被基板40所覆盖的8个吸附孔101具有吸附力外，其余吸附孔101皆被第一阻气模块20或是第二阻气模块30所遮蔽，而不具有吸附力。
[0074]值得一提的是，本实施例图式中所绘示的吸附孔101的排列方式及其数量，以及第二阻气模块30的数量，可以是依据实际需求加以设计，并不局限于图式中的方式。另外，于本实施例中，主气道21为形成于第一阻气模块20内的通道,而各第一气道11及各第二气道12为形成于载台本体10内的通道，但实际应用中，主气道21、各第一气道11及各第二气道12亦可以是独立的气管，而非形成于载台本体10内部的通道。
[0075]特别说明的是，于上述本实施例中，是以第一阻气模块20设置于载台本体10的Y方向的一侧，而与各个平行于X方向的第一气道11相连通；且第二阻气模块30是对应设置于各个平行于Y方向的第二气道12中为例,但实际应用中，并不局限于此,第一阻气模块20及各第二阻气模块30可以是相反设置。
[0076]〔第二实施例〕
[0077]请一并参阅图8及图9，其为本实用新型的基板吸附载台的第二实施例的示意图。如图8所示，基板吸附载台I’包含一载台本体10’、一第一阻气模块20’及一第二阻气模块50。第一阻气模块10’及第二阻气模块50分别设置于载台本体10’的两侧边，以分别对应启闭各列X方向的吸附孔101’，以及启闭各排Y方向的吸附孔101’。
[0078]如图9所示，载台本体10’包含数个平行于X方向设置的第一气道11’及数个平行于Y方向设置的第二气道12’，且各第一气道11’分别对应连通于各列X方向的数个吸附孔101’，而各第二气道12’分别对应连通于各排Y方向的数个吸附孔101’。其中，各第一气道11’及各第二气道12’可以是形成于载台本体10’内的通道，亦可以是设置于载台本体10’下方的独立气管。
[0079]第一阻气模块20’包含一主气道21’、一阻气单元22’及一操作单元23’。该主气道21’包含数个主气孔211’及一抽气孔212’，且各主气孔211’分别连通于各列X方向的第一气道11’。阻气单元22’设置于主气道21’中，且阻气单元22’与操作单元23’机械性连接。阻气单元22’受操作单元23’控制而可于主气道21’中移动，以选择性地阻隔其中一个主气孔211’。
[0080]第二阻气模块50包含一次气道51、一阻气单元52及一操作单元53。该次气道51包含数个次气孔511及一抽气孔512，且各次气孔511分别连通于各排Y方向的第二气道12’。阻气单元52与操作单元53机械性连接，而受操作单元53控制，以选择性地阻隔其中一个次气孔511。[0081]值得一题的是，第一阻气模块20’的阻气单元22’的原始位置可以是设置于抽气孔212’上方，而遮蔽抽气孔212’，以使得各第一气道11’的各列X方向的吸附孔101在初始未移动操作单元23’下呈现不具吸附力的状态；或者可以是如本实施例图中所示，阻气单元22’的原始位置是设置于主气道21’中与抽气孔212’相反的一端，而当操作单元23’在原始未被移动的情况下，各列X方向的吸附孔101皆呈现具有吸附力的状态。相同地，第二阻气模块50的阻气单元52及抽气孔512亦可以依据所需设计，于此不多赘述。
[0082]请参阅图9中所绘示的箭头标示，其显示了第一气道11’及第二气道12’中的气体流向；当基板40’设置于载台本体10’上时，使用者可以依据基板40’的长宽，对应将第一阻气模块20’的阻气单元22’及第二阻气模块50的阻气单元52，移动至邻近于基板40’侧边，而不被基板40’所遮蔽的吸附孔101附近，由此关闭该些不被基板40’所遮蔽的吸附孔101，由此使载台本体10’的吸附力集中于该些被基板40’所遮蔽的吸附孔101，而可有效地将基板40’吸附于载台本体10’上。
[0083]在实际应用中，载台本体10’更可以配合连接一倾斜装置(图未示)，且载台本体10’的其中一侧边更可以包含一挡板13。当基板40设置于载台本体10’时，其可以是先通过倾斜装置使载台本体10’向具有挡板13的方向倾斜，以使基板40’的一侧抵靠于挡板13上，再配合操作调整第一阻气模块20’及第二阻气模块50，以关闭该些未被基板40’所遮蔽的吸附孔101。当然，上述调整方式仅为其中一种实施方式，实际操作的流程及其先后顺序可以依据需求加以设计调整。
[0084]特别说明的是，请复参本实用新型的第一实施例，于该实施例中所载的由一轴体31及数个间隔设置的阻隔单元32所组成的第二阻气模块30，亦可以应用于本实施例所载的第一气道11’及第二气道12’中，亦即本实施例所述的第一阻气模块20’及第二阻气模块50可以置换为上述第一实施例中的第二阻气模块30。
[0085]惟以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，非意欲局限本实用新型的专利保护范围，故举凡运用本实用新型说明书及附图内容所为的等效变化，均同理皆包含于本实用新型的权利保护范围内，合予陈明。
【权利要求】
1.一种基板吸附载台，其特征在于，该基板吸附载台包含: 一载台本体，其具有数个吸附孔； 一第一阻气模块，其设置于该载台本体的一侧，以可选择地关闭至少一列X方向的该些吸附孔；以及 数个第二阻气模块，其设置于该载台本体的另一侧，各该第二阻气模块可选择地关闭至少一排Y方向的该些吸附孔。
2.根据权利要求1所述的基板吸附载台，其特征在于，所述基板吸附载台进一步包含: 一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔； 数个第一气道，各该第一气道分别与该主气道的各该主气孔相连通，且各该第一气道包含数个第一气孔；以及 数个第二气道，各该第二气道包含数个第二气孔，各该第二气孔分别对应与一排的该些吸附孔相连通，且各该第一气道的各该第一气孔分别对应与该第二气道相连通； 其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一主气孔，各该第二阻气模块分别设置于各该第二气道中，以可选择地关闭至少一该第二气孔。
3.根据权利要求2所述的基板吸附载台，其特征在于，各该第一气道平行于X方向设置，各该第二气道平行于Y方向设置。
4.根据权利要求 2所述的基板吸附载台，其特征在于，各该第一气道平行于Y方向设置，各该第二气道平行于X方向设置。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的基板吸附载台，其特征在于，各该第二阻气模块包含一轴体及数个对应于该排的该些吸附孔数量的阻隔单元，各该阻隔单元间隔地设置于该轴体上，而每两个该阻隔单元间形成一连通空间。
6.根据权利要求5所述的基板吸附载台，其特征在于，各该第二气道包含数个与各该第二气孔错位设置的连通孔，各该连通孔分别与各该第一气孔相连通，且各该第二阻气模块的两两该阻隔单元的间距，大于或等于相邻的该连通孔与该第二气孔的间距。
7.一种基板吸附载台，其特征在于，该基板吸附载台包含: 一载台本体，其具有数个吸附孔； 一第一阻气模块，其设置于该载台本体的一侧，以可选择地关闭至少一列X方向的该些吸附孔；以及 一第二阻气模块，其设置于该载台本体的另一侧，以可选择地关闭至少一排Y方向的该些吸附孔。
8.根据权利要求7所述的基板吸附载台，其特征在于，所述基板吸附载台进一步包含: 一主气道，其与一抽气装置相连接，且该主气道包含数个主气孔； 数个第一气道，各该第一气道分别与X方向各列的该些吸附孔相连通，且各该第一气道分别与各该主气孔相连通； 一次气道，其与该抽气装置相连接，且该次气道包含数个次气孔；以及数个第二气道，各该第二气道分别与Y方向各排的该些吸附孔相连通，且各该第二气道分别与各该次气孔相连通； 其中，该第一阻气模块可活动地设置于该主气道中，以可选择地关闭至少一该主气孔，该第二阻气模块设置于该次气道中，以可选择地关闭至少一该次气孔。
9.根据权利要求8所述的基板吸附载台，其特征在于，该第一阻气模块或是该第二阻气模块包含一轴体及数个对应于X方向各排的该些吸附孔或是Y方向各列的该些次气孔数量的阻隔单元，各该阻隔单元间隔地设置于该轴体上，而每两个该阻隔单元间形成一连通空间。
10.根据权利要求8所述的基板吸附载台，其特征在于，该第一阻气模块或是该第二阻气模块包含一阻气单元及一操作单元，该阻气单元可活动地设置于该主气道或是该次气道中，且远离该主气道或该次气道与该抽气装置相连接的位置；该操作单元与该阻气单元机械连接，以控制该阻气单元于该主气道或该次气道中的位置，以选择性地关闭其中一该主气孔或是其中一该次气孔。
【文档编号】H05K3/00GK203775535SQ201420025717
【公开日】2014年8月13日 申请日期:2014年1月16日 优先权日:2014年1月16日
【发明者】汪秉龙, 陈桂标, 陈信呈, 彭及盈, 郑明志 申请人:久元电子股份有限公司