技术编号：8100817
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要一种基板吸附载台，其包含一载台本体、一第一阻气模块及数个第二阻气模块。载台本体具有数个吸附孔。第一阻气模块设置于载台本体的一侧，以可选择地关闭至少一列X方向的吸附孔。数个第二阻气模块分别设置于载台本体的另一侧，各第二阻气模块可选择地关闭至少一排Y方向的吸附孔。由此，使用者可以依据实际基板的长宽大小，而选择性地关闭未被基板所遮蔽的X、Y方向的吸附孔，进而可有效地使基板吸附于载台上。专利说明基板吸附载台技术领域[0001]本实用新型涉及一种基板吸附载台，特别涉及一种可以依据基板的长宽大小，而选择性关闭X、Y方向...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。