一种框体吊起治具及其吊装装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一框体吊起治具，所述治具包括半封闭式吊杆和吊钩，所述吊钩连接于所述半封闭式吊杆的一端，以及一种包括所述框体吊起治具的框体吊装装置。所述框体吊装装置的安装简单方便，便于将框体放入存放框体的设备中，减少了人力以及降低了操作人员的操作风险，安全性强。
【专利说明】一种框体吊起治具及其吊装装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到一种治具，尤其涉及一种框体吊起治具以及包含这种框体吊起治具的能吊运框体的吊装装置。
【背景技术】
[0002]在半导体制造或液晶面板生产领域，阵列工序中的PVD成膜工艺过程需要采用掩膜板对成膜区域进行控制，该掩膜板固定在设备中，生产时处于基板与成膜材料之间，掩膜板使用寿命到达之后需更换，更换动作现全部由人员手动完成。4.5代PVD成膜设备需频繁更换掩模板，每腔室每月至少更换一次，操作人员踩踏处高1M，掩模板载台高1.5M。
[0003]掩模板为一矩形框，铝合金材质，重约50kg。使用过的掩模板需要进行更换，在更换过程中拆除掩模板时，因掩模板使用过，重量增至70kg，移动掩模板时，两人分别站在设备两边，离地1M，将掩模板从载台上抬起后腾空横抬(高度约1.85M)，交给下方的两人，下方两人接过掩模板时将掩模板举过头顶，接稳后慢慢降至身前腰部高度，后竖放在地面进行检查；过程中需控制掩模板移动缓慢，不可碰到设备。
[0004]安装掩模板时，与拆卸时的顺序相反，下方两人需将掩模板举过头顶，才能让上方两人接收。
[0005]存在的问题:掩模板由于本身重量较重，特别是在使用过后重量增加较大，需从
1.5M高的载台由两人抬下，中间还有设备格挡；对操作人员的力量及运用，熟悉程度等要求相当高；若稍有疏忽，轻则损坏掩模板或者设备，重则造成安全事故，危害人身安全。
实用新型内容
[0006]本实用新型主要针对现有技术中掩模板更换过程对操作人员和掩模板产生的潜在危险，提供了一种框体吊起治具及包含这种框体吊起治具的框体吊装装置，将掩模板放入存放框体的设备中。
[0007]为了解决上述问题，本实用新型主要提供了下述技术方案:
[0008]本实用新型提供的一种框体吊起治具，所述治具包括半封闭式吊杆和吊钩，所述吊钩连接于所述半封闭式吊杆的一端，以及一种包含所述框体吊起治具的框体吊装装置。
[0009]该框体吊装装置能平稳吊起掩模板，并将掩模板放入存放掩模板的设备中，整个过程减少了人力以及避免了操作人员的操作危险，同时，也可避免掩模板受到损伤。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型一具体实施例一提供的一种框体吊起治具结构示意图；
[0011]图2为本实用新型具体实施例二提供的一种框体吊起治具结构示意图；
[0012]图3为本实用新型具体实施例三提供的一种框体吊起治具结构示意图；
[0013]图4(a)为本实用新型一具体实施例提供的紧固螺丝的结构示意图；
[0014]图4(b)为本实用新型一具体实施例提供的轴承滚轮的结构示意图；
[0015]图5为本实用新型具体实施例四提供的一种框体吊起治具结构示意图；
[0016]图6为运用本实用新型实施例提供的框体吊起治具的框体吊装装置的结构示意图；
[0017]图7为运用本实用新型实施例提供的框体吊起治具的另一框体吊装装置的结构示意图；
[0018]
【具体实施方式】
[0019]本实用新型提供了一框体吊起治具以及包括所述框体吊起治具的框体吊装装置，用以将掩模板放入设备中，整个过程减少了人力以及避免了操作人员的操作危险，同时，也避免掩模板受到损伤。
[0020]下面给出本实用新型具体实施例提供的技术方案的详细介绍，本实用新型包括但不限于下述实施方式。
[0021]实施例一
[0022]如图1所示，本实用新型一具体实施例提供的一种框体吊起治具包括:半环形吊杆11、以及吊钩12，其中，吊钩12呈“U”型，且吊钩12包含两条平行边，具体为较长边12a及12b，其中，吊钩12的较长边12a连接于半环形吊杆11的下端，半环形吊杆11的开口朝向吊钩12的较短边12b，从而便于半环形吊杆11的操作，并能将掩模板准确地放入设备中，同时还能有效地避开设备的内部边沿。
[0023]可选地，半环形吊杆11可设定为半方形或者半菱形等，但不仅限于这几种形状，本实施例中的半环形吊杆11具有两个端部，并且所述的两个端部可由任意一种曲线连接，从而将掩模板放入设备时，能有效地避开设备的外部边沿即可。
[0024]可选地，吊钩12的两条平行边由一条曲线连接，但不仅限于这几种形状，该曲线为半方形或者半菱形等由两点连接的任意一种曲线。
[0025]实施例二
[0026]如图2所示，为本实用新型一具体实施例提供的一种框体吊起治具，包括:半环形吊杆21、吊钩22、安装孔23以及吊环24。其中吊环24由两部分组成，分别为吊圈24a和吊杆24b，在此，本实施例与实施例一相同的部分不再赘述，仅对不同点进行阐述。本实施例中，半环形吊杆21包括安装孔23，并且安装孔23位于半环形吊杆21上，且与半环形吊杆21与“U”形吊钩22的较长边22a相连的一端基本相对，通过安装孔23可进行位置调节，使掩模板在搬运过程中处于垂直状态，吊环24的吊杆24b为螺纹状，与安装孔23相配合，既可通过改变吊环24的位置进行位置调节，又可通过吊圈24a勾起整个治具，减少了搬运掩模板的人力。
[0027]其中，安装孔23可为过孔，便于用钢丝绳进行连接，吊圈24a可为方形圈体或菱形圈体等中空的封闭式物体。
[0028]可选地，半环形吊杆21可与所述吊环24为一体形成或者铆接等方式连接，但不仅限于这几种方式。
[0029]实施例三
[0030]如图3所示，为本实用新型的一具体实施例，包括:半环形吊杆31、吊钩32、安装孔33、吊环34、紧固螺丝35以及垫片36，其中，紧固螺丝及垫片的个数大于等于1，本实施例仅为举例说明。本实施例与前述实施例相同部分在此不再赘述，仅阐述不同部分。本实施例中吊钩32还包括紧固螺丝35及垫片36，紧固螺丝35与所述垫片36位于所述吊钩32的两边。具体地，紧固螺丝35在吊钩32的较长边32a上，垫片36在“U”形吊钩32的较短边32b上，两个紧固螺丝35分别位于垫片36的上部和下部，且位于上部的紧固螺丝35的螺丝头351高于吊钩32的较长边32a的端部，在紧固掩模板后，螺丝头351可支抵住掩模板的直角边，使搬运过程更为稳固，当将掩模板插入吊钩32后，可通过旋动紧固螺丝35来固定掩模板，防止在将掩模板放入设备过程中因晃动而受到损伤，且操作起来方便简单。
[0031]可选地，紧固螺丝35可设置在“U”形吊钩的较短边32b上，所述垫片36可设置在“U”形吊钩的较长边32a上。
[0032]可选地，如图4(a)所示，紧固螺丝35由三部分构成，包括螺丝头351，螺丝杆352和轴承滚轮353，如图4(b)所示，为轴承滚轮353的结构示意图，螺丝头351与轴承滚轮的外圈a相连，螺丝杆352与轴承滚轮的内圈b相连，这种结构在旋动螺丝杆352时，螺丝头351不会随着螺丝杆的转动而转动，从而当螺丝头351与掩模板接触时，不会与掩模板产生摩擦，保护了掩模板。
[0033]实施例四
[0034]如图5所示，为本实用新型的一具体实施例，包括:半环形吊杆51、吊钩52、安装孔53、吊环54，紧固螺丝55、垫片56以及防磨材料57。在此，本实施例中与前述实施例相同部分不再赘述，仅描述不同部分。本实施例包括防磨材料57，防磨材料57可选用橡胶材料等可防止紧固时对掩模板产生磨损的材料即可，可以进一步保护掩模板。
[0035]实施例五
[0036]如图6所示，为本实用新型的一个实施例提供的一种框体吊装装置，包括:框体吊起治具60、掩模板62以及行车吊钩63。其中掩模板62包括一个内表面62a和一个外表面62b，框体吊起治具60包括半环形吊杆61、紧固螺丝64以及垫片65。
[0037]将掩模板62插入框体吊起治具61中，旋动紧固螺丝64，使位于垫片65上部的紧固螺丝64顶住掩模板的直角边，紧固螺丝64与掩模板62的内表面62a相接处，垫片65与掩模板62的外表面62b相接触，最后由行车吊钩63将框体吊起治具61吊起。整个操作过程方便简单，只需1-2人操作即可完成，并且保障了操作人员的安全，同时也避免了掩模板受损伤的风险。
[0038]可选地，行车吊钩63可为钢丝绳等有一定承重能力并能吊起治具的物体即可。
[0039]实施例六
[0040]如图7所示，为本实用新型的一个实施例提供的一种框体吊装装置的侧视图和主视图，包括:框体吊起治具70、掩模板72、行车吊钩73、以及连接杆76。其中，掩模板72包括一个内包面72a和一个外表面72b在此，与前述实施例相同的部分不再赘述，仅阐述不同部分。本实施例中，框体吊装装置包括连接杆76，连接杆76保证了整个治具的稳定，从而也保证了掩模板在吊运过程中的稳定。整个框体吊装装置安装起来简单方便，操作简单，减少了人力，也避免了潜在的危险。
[0041]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和集合。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的集合之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种框体吊起治具，其特征在于，包括: 吊钩和半封闭式吊杆，所述吊钩连接于所述半封闭式吊杆的一端。
2.如权利要求1所述的治具，其特征在于，所述吊钩为“U”形吊钩，所述“U”形吊钩具有两个平行边和一个底部，所述两条平行边由所述底部连接。
3.如权利要求1所述的治具，其特征在于，所述治具还包括吊环，所述吊环与所述半封闭式吊杆相连。
4.如权利要求1所述的治具，其特征在于，所述半封闭式吊杆还包括安装孔，所述安装孔位于所述半封闭式吊杆上。
5.如权利要求2所述的治具，其特征在于，所述吊钩的所述两条平行边分别为一个较长边和一个较短边，所述较长边与所述半封闭式吊杆相连。
6.如权利要求5所述的治具，其特征在于，所述吊钩还包括至少一个紧固螺丝及至少一个垫片，所述紧固螺丝与所述垫片位于所述吊钩的较长边与较短边上。
7.如权利要求6所述的治具，其特征在于，所述吊钩的较长边的端部投影在所述较长边上的一个所述紧固螺丝的螺丝头上或者投影在所述较长边上的一个所述垫片上。
8.如权利要求6所述的治具，其特征在于，所述较长边上至少有两个紧固螺丝或者至少两个垫片，所述较短边上至少有一个紧固螺丝或者至少一个垫片，所述较长边上的紧固螺丝或者垫片分别位于所述较短边上的紧固螺丝或者垫片的上部和下部。
9.如权利要求6所述的治具，其特征在于，所述紧固螺丝在所述吊钩的所述较长边上，所述垫片在所述吊钩的所述较短边上。
10.权利要求6所述的治具，所述紧固螺丝包含轴承滚轮，所述轴承滚轮的外圈与所说紧固螺丝的螺丝头相连，所述轴承滚轮的内圈与所述紧固螺丝的螺丝杆相连。
11.如权利要求6所述的治具，所述紧固螺丝及所述垫片与所述框体接触的表面包括防磨材料。
12.如权利要求1-11中任一项权利要求所述的治具，其特征在于，所述半封闭式吊杆呈半圆形，半方形或者半菱形。
13.—种框体吊装装置，包括行车吊具和框体吊起治具，所述框体吊起治具为权利要求1-12中任一权利要求所述的治具，所述行车吊具为行车吊钩或钢丝绳，所述框体吊起治具通过所述行车吊钩或钢丝绳连接。
14.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述装置还包括一个连接杆，当所述框体吊起治具大于等于两个时，所述框体吊起治具由连接杆连接。
【文档编号】B66C1/34GK204111175SQ201420333837
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年6月20日 优先权日:2014年6月20日
【发明者】江平 申请人:上海天马微电子有限公司, 天马微电子股份有限公司