具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件及其制备方法与流程

文档序号:15591144发布日期:2018-10-02 18:58阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明是关于一种具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件及其制备方法,其制备方法包括:将坯板进行清洁处理,酸蚀通孔,内表面清洁,化学抛光,脱水处理,热处理,得到具有超光滑反射壁的龙虾眼型成像元件。本申请通过对通孔和反射壁进行形貌调控,获得均方根粗糙度优于1.0nm的光滑反射壁结构,增加方孔反射壁的反射率,提高聚焦效率。

技术研发人员:薄铁柱;周东站;李庆;廉姣;王辰;蔡华;许阳蕾;刘辉
受保护的技术使用者:中国建筑材料科学研究总院有限公司
技术研发日:2018.04.27
技术公布日:2018.10.02
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